Способ испытаний на герметичность изделий с помощью масс- спектрометрических течеискателей
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК
y(gt) G 0l М 3/02 у.е .,".!л:.къ:... ю;.! !э !! -(е с
c&! -j ь
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ где Ч
-.,= 50—
Р
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
AO ДЕЛЮ4 ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ. (21) 3633019/25-28 (22) 12.08.83 (46) 30.04.85. Бюл. И !б (72) В. Ю. Бронфман, В. П. Зайцев и Г. И. Андрианова (53) 620.165.29(088.8) (56) l, ОСТ !1293.031-77, с. 23-24.
2. Ланис В. А., Левина Л. Е.
Техника вакуумньм испытаний. М.-Л., Гос !нергоиздат, 1963 с. 241 (прото. тип ). (54) (57) СПОСОБ ИСПЫТАНИЙ НА ГЕРМЕТИЧНОСТЬ ИЗДЕЛИЙ С ПОМОЩЬЮ МАСССПЕКТРОИЕТРИЧЕСКИХ ТЕЧЕИСКАТЕЛЕЙ, заключающийся в том, что изделие помещают в камеру, откачивают его и соединяют с течеискателем, регистрируют фоновый сигнал, заполняют камеру пробным газом, производят выдержку в течение заданного времени, а о герметичности судят по изменению сигнала течеискателя по сравнению с фоновым, отличающийся тем, что,. с целью повьипеиия надежности испытаний, перед заполнением камеры газом измеряют давление в на„„SU „„1153245 иболее близкой и наиболее удаленной от течеискателя точках изделия, выдержку производят в течение времени, выбираемого из соотношения
V Р
7„= 20—
U P 1 — объем внутренней полости изделия;
U — проводимостть внутренней полости изделия;
Р и Р— давления в наиболее близ1 кой и наиболее удаленной от течеискателя точках изделия, а регистрацию изменения сигнала осуществляют в течение времени Т . выZ бираемого иэ соотношения где U U Р„и Р имеют указанные значения.
1153245
Изобретение относится к испытаниям на герметичность, в частности к испытанию протяженных изделий с малой проводимостью внутренних полостей, 5
Известен способ испытаний изделия на герметичность с помощью массспектрометрического течеискателя, заключающийся в том, что изделие помещают в камеру, камеру откачивают, 10 соединяют с течеискателем, регистрируют фоновый сигнал, заполняют иэделие смесью газов, содержащей пробный газ, производят выдержку в течение заданного времени, а о герметичности судят по изменению сигнала течеискателя по сравнению с фоновым 113
Недостатком этого способа является низкая надежность испытаний изделий, предназначенных для работы под откач- о кой, поскольку условия испытаний отличаются от рабочих.
Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является способ испытаний на герметичность изделий с помощью масс-спектрометрических течеискателей, заключающийся в том,, что изделие помещают в камеру, откачивают его и соединяют с течеискателем, регистрируют фоновый сигнал, заполняют камеру пробным газом, производят выдержку в течение заданного времени, а о герметичности судят по изменению сигнала течеискателя по сравнению с фоновым (2g.
Недостатком известного способа является малая надежность испытаний, связанная с тем, что не учитывается реальная проводимость внутренней полости изделия и связанное с ней вре-. мя достижения сигнала течеискателя определенной величины. При большой протяженности изделия это время может быть значительным, что может привести к пропуску течей
Цель изобретения — повышение на дежности испытаний.
Указанная цель достигается тем, что согласно способу испытаний на герметичность изделий с помощью масс-спектрометрических течеискателей, заключающемуся в том, что изделие помещают в камеру, откачивают
его и соединяют с течеискателем, регистрируют фоновый сигнал. заполняют, камеру пробным газом, производят выдержку в течение заданного времени а о герметичности судят по изменению сигнала течеискателя по сравнению с фоновым, перед заполнением камеры газом измеряют давление в наиболее близкой и наиболее удаленной от течеискателя точках изделия, выдержку производят в течение времени ь выбираемого из соотношения
V P
С= 20—
Р (1) а объем внутренней полости изделия;
U — проводимость внутренней полости изделия;
Р„ и Р— давления в наиболее близкой и наиболее удаленной от течеискателя где V точках изделия, а регистрацию изменения сигнала осушествляют в течение времени выбираемого из соотношения „1
Г =50
1 г 11 Р (2) где V U Р, и P имеют указанные значения.
На чертеже изображена схема устройства, реализующего предлагаемый способ.
Устройство содержит камеру l для размещения иэделия 2, вспомогательный насос 3 для предварительной откачки изделия 2, течеискатель 4, коллектор 5 для соединения изделия 2 со вспомогательным насосом 3 и с течеискателем 4, калиброванную течь б для калибровки течеискателя 4, ма— нометрический преобразователь 7, установленный на коллекторе 5, для измерения давления в наиболее близкой к течеискателю точках изделия 2 и манометрический преобразователь 8, установленный на иэделии 2, для измерения давления в наиболее удаленной точке изделия 2.
Способ осуществляется следующим образом.
Проверяемое изделие 2 с известными объемом V и проводимостью U его внутренней полости помещают в камеру
1. С помощью насоса 3 изделия 2 откачивают от атмосферного до форвакуумного давления и соединяют с течеискателем 4. Регистрируют фоновый сигнал течеискателя 4 и с помощью калиб- рованной течи б проводят калибровку
Составитель Л. Муравьева
Редактор Е. Копча Техред Л.Коцюбняк Корректор М. Максимншинец
Тираж 897 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Заказ 2498/36
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 з 1153245 4 течеискателя 4. Измеряют с помощью по сравнению с фоновым с учетом прео р и еоб азователя 7 давление Р и с результатов калибровки и коэффициен1 помощью преобразователя 8 — давление та К полноты сигнала, учитывающего
P . Заполняют камеру 1 пробным газом потери пробного газа в объеме изделия
z ° Ф производят выдержку в течение време- и соединительных коммуникациях.
5 ни С„, выбираемого из соотношения Значение коэффицйента К выбирают (1). Если в течение времени „ не на- на основании экспериментальных данных, чалось приращение показаний течеис- устанавливающих зависимость К от врекателя 4 над фоновым, то изделие мени выдержки для конкретного типа считается герметичным. Если после вы- 10 изделий. держки в течение времени „ начинается приращение показаний течеискате- Иэобретение позволяет повысить наля 4, регистрируют изменение сигнала дежность испытаний эа счет учета вретечеискателя 4 в течение времени Г мени выдержки изделия в среде пробновыбираемого из соотношения (2). го газа и времени регистрации сигнала
Величину негерметичиости определя-. течеискателя и исключения тем самым ют по изменению сигнала течеискателя вероятности пропуска течей.
