Устройство для очистки внутренней поверхности труб

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОЧИСТКИ ВНУТРЕННЕЙ ПОВЕРХНОСТИ ТРУБ, преимущественно диффузионных печей, содержащее резервуар с очищающей жидкостью, камеру испарения с входньм и выходным патрубками и расположенную эксцентрично внутри нее трубку с нагревателем с образованием забора, имеющего капилляр ньй участок, отличающ е е с я тем, что, с целью повышения эффективности очистки, резервуар с очищаиядей жидкостью расположен над камерой испарения, ось трубки с нагревателем расположена вьше оси камеры испарения для образования капиллярного участка зазора в ее верхней части, входной патрубок содержит клапан подачи жидкости и обратный клапан, а выходной патрубок расположен под углом к оси камеры испарения с обращением его выходного конца в направлении к оси камеры, при этом его входной конец расположен ниже капиллярного участка.

СОО3 СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ/ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

110 ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 361706 t/22-12 (22) 06.07.83 (46) 07.05.85. Бюл. Р 17 (72) М.А.Скоробогатов и В.Ф.Агафонов

)(53) 621.7 ° 024.02 (088.8) .(56) 1.Авторское свидетельство СССР Р 473903, кл. G 01 F 11/28, 1973. (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОЧИСТКИ ВНУТРЕННЕЙ ПОВЕРХНОСТИ ТРУБ, преимущественно диффузионных печей, содержащее резервуар с очищающей жидкостью, камеру испарения с входным и выходным патрубками и расположенную эксцентрично внутри нее трубку с нагревателем с образованием зазора, имеющего

ÄÄSUÄÄ 1154008 А

4(5t) В 08 В 9/02; F 28 G 1/16 капиллярный участок, о т л и ч а ю— щ е е с я. тем, что, с целью повышения эффективности очистки, резервуар с очищающей жидкостью расположен над камерой испарения, ось трубки с нагревателем расположена вьпае оси камеры испарения для образования капиллярного участка зазора в ее верхней части, входной патрубок содержит клапан по. дачи жидкости и обратный клапан, а выходной патрубок расположен под углом к оси камеры испарения с обращением его выходного конца в направлении к оси камеры, при этом его входной конец расположен ниже капиллярного участка.

1 1

Изобретение относится к области очистки от загрязнений, преимущественно внутренней поверхности труб д»»д>%уз»»оннь»х печей, где требуется высокая степень очистки при обработке изделий для полупроводниковых приборов и интегральньгх схем.

Целью изобретения является повышение эЛАективности очистки.

На чертеже изображено устройство, общий вид и разрез.

Устройство содержит резервуар 1 с очищающей жидкостью, расположенную под ним камеру 2 испарения с входным

3 и выходным 4 патрубками, клапан 5 подачи жидкости, обратный клапан 6, трубку 7 с нагревателем 8, расположенную эксцентрично внутри камеры 2 испарения с образованием зазора, систему регулирования температуры 9.

Ось трубки 9 расположена выше оси камеры 2 испарения, вследствие чего зазор в верхней части камеры испарения имеет капиллярньп» участок, Выходной патрубок 4 расположен под углом к оси камеры 2 испарения, при этом его входной конец расположен ниже капиллярного участка зазора.

Устройство работает следующим образом.

Иэ программатора команд ди*»»>уэионной печи подается сигнал для включения системы 9 регулирования температуры и подачи электрической мощности на нагреватель 8 и сигнал на открывание клапана 5 подачи жидкости.

Жидкость из резервуара 1 через входной патрубок 3 и обратный клапан 6 поступает в камеру 2 испарения и заполня ет ниж»»»о»о част ь з аз ора .

Как только уровень жидкостив каме- ре испарения достигнет уровня кагп»л154008

5

10 !

20 лярного участка зазора, на жидкость начинают действовать силы поверхностного натяжения, которые затягивают ее в капиллярный участок, где жидкость быстро прогревается и благодаря наличию там большого количества активных центров парообразования быстро закипает, создавая повышенное давление в верхней части камеры испарения. Пар давит на нижележащий слой жидкости, в результате чего последняя выбрасывается через выходной патрубок 4 в очищаемую трубу. Выброс жидкости в резервуар 1 через входной патрубок 3 при повьш»енин давления в камере испарения предотвращается посредством обратного клапана 6. После выброса жидкости из камеры испарения через выходной патрубок 4 давление в ней снижается и жидкость из резервуара 1 поступает в камеру 2 испарения, цикл повторяется, Выброшенный через выходной патрубок очищающий состав в виде капель жидкости и пара очищает внутреннюю поверхность труб комплексно от всех видов загрязняющих примесей. Очищающий состав в парообразном состоянии при термическом воздействии ввиду своей большой химической активности превращает частицы продуктов реакции в летучие вещества, а в виде движущихся капель жидкости — удаляет механические частицы.

Максимальная эффективность работы устройства в каждом конкретном случае достигается путем варьирования размерами камеры испарения, мощности нагревателя, расположением выходного патрубка и размерами выходного отверстия выходного патрубка.

1154008

Составитель В. Сльипкин

Редактор Н.Пушненкова Техред Л. Коцюбняк Корректор Е.Рошко .Заказ 2576/8 Тираж 580 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам иэобретений и открытий

113035, Москва, R-35, Раушская наб,, д.4/5

Филиал ППЦ "Патент", г.ужгород, ул.Проектная,4