Устройство для подачи материала в испаритель

Авторы патента:

C23C14/28 - с использованием волновой энергии или облучения частицами (C23C 14/32-C23C 14/48 имеют преимущество)

1. Устройство для подачи материала в испаритель, содержащее водоохлаждаемый тигель и механизм продольного перемещения штабика из испаряемого материала в тигле, выполненный в виде водоохлаждаемого штока, кинематически связанного с приводом продольного перемещения, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности работы устройства за счет исключения примораживания поверхности расплава материала к стенкам тигля, оно снабжено приводом радиального качания штабика в тигле, который снабжен поводком, установленным на штоке.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что привод качания выполнен в виде кривошипно-кулисного механизма с кулисой в виде продольной направляющей с пазом, в котором расположен поводок, выполненный в виде шарнира.

Способ получения двухслойных структур на основе сплошных сверхтонких пленок // 717926

Способ получения аморфного твердого тела // 681982

Способ получения тонких пленок при помощи оптического квантового генератора // 646578

Способ изменения и стабилизации магнитных характеристик тонких магнитных пленок // 475670

Способ получения окисных пленок // 2110604

Способ и устройство нанесения покрытий методом плазмохимического осаждения // 2205893

Изобретение относится к области плазменной техники, связанной с вакуумной металлизацией поверхностей и синтезом неорганических пленок при распылении твердого вещества пучком заряженных частиц, и предназначено для нанесения упрочняющих покрытий на режущий инструмент, для синтеза неорганических покрытий, в том числе многокомпонентных и многослойных

Способ получения защитного покрытия на деталях // 2305034

Изобретение относится к покрытиям, защищающим детали от воздействия высоких температур, и может быть использовано в авиадвигателестроении, машиностроении, энергетике и других отраслях техники

Способ получения пленочных покрытий посредством лазерной абляции // 2316612

Изобретение относится к способу получения пленочных покрытий и может найти применение при изготовлении мелкозернистых порошков и других изделий с покрытиями

Очищенный лазерной обработкой и плавлением тугоплавкий металл и его сплав // 2333086

Изобретение относится к восстановлению распыляемой мишени из тантала и может быть использовано в производстве интегральных схем и других электрических, магнитных и оптических продуктов

Способ получения тонких пленок карбида кремния методом вакуумной лазерной абляции // 2350686

Изобретение относится к способу получения тонких пленок карбида кремния методом вакуумной лазерной абляции и может быть использовано для получения тонкопленочных покрытий и активных слоев тонкопленочных приемников УФ-излучения в микроэлектронике

Способ получения антифрикционных тонких пленок // 2365672

Изобретение относится к области технологии нанесения защитных антифрикционных покрытий, в частности к способу получения антифрикционных тонких пленок и может быть использовано в вакуумной, авиационной и космической технике, микромеханике, изготовлении металлорежущего и металлообрабатывающего инструмента

Способ получения анодной фольги // 2391442

Изобретение относится к области электротехники, в частности к способам изготовления анодной фольги, которая может быть использована в твердых электролитических конденсаторах с электролитом из проводящего полимера

Установка для нанесения покрытий в вакууме // 2404285

Изобретение относится к установке для нанесения покрытий в вакууме и может быть применено для вакуумного нанесения покрытий на рулонные материалы при производстве электродной фольги для алюминиевых оксидно-электролитических конденсаторов, суперконденсаторов, аккумуляторов и подобных изделий

Способ защиты лопаток газовых турбин // 2404286

Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано в энергетическом и авиационном турбостроении, преимущественно для защиты пера лопаток промышленных газотурбинных установок ГТУ от высокотемпературной коррозии