Установка для контроля герметичности полых изделий

 

УСТАНОВКА ДЛЯ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ПОШХ ИЗДЕЛИЙ по авт.св. 1033883, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности и достоверности контроля, она снабжена контрольной камерой, соедн;ненной с системой подачи и регулирования рабочего газа, а через запорный орган - с масс-спектрометрическим течеискателем, инди-. . каторной камере, сооСйцамцеЙся с.полостью изделия, причем индикаторная камера соединена через запорный орган с одной из полостей В1фавнива1ощей камеры , которая через запорный орган сообщена с атмосферой.

ае GD

13, „.13 вАблИ Лайк.

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ н автсюамому v

ГОСЗЩАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ЛИ В ЬТЮ (61) 1033883 (21) 3688141/22-03 (22) 10. 01. 84 (46) 15.06.85. Бюл. 9 22 (72) В.П.Травкин и М.С.Эдельман (53) 620.65.29(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство- СССР

Р 1033883, кл. G 01 М 3/02, 1982. (54)(57) УСТАНОВКА ДПЯ КОНТРОЛЯ

ГЕРМЕТИЧНОСТИ ПОЛЫХ ИЗДЕЛИЙ по авт.св. У 1033883, о т л и ч а ю— щ а я с я тем, что,. с целью повы- . у G 01 M 3/02 ф(p! p Q p A шения надежности и достоверности контроля, она снабжена контрольной . камерой, соединенной с системой подачи и регулирования рабочего газа, а через запорный орган — с масс-спектрометрическнм течеискателем, индикаторной камерой,- сообщающейся с.полостью изделия, причем индикаторная камера соедннена через запорный орган

: c одной из полостей выравнивающей ка,меры, которая через запорный орган сообщена с атмосферой.

1 1i 6183

Изобретение относится к контроль= но-измерительной технике, а именно к контролю герметичности полых.изделий, не допускающих контакта с инднкаторным газом. $

По основному авт,;св. Ф 1033883 известна установка, содержащая вакуумную камеру для контролируемого изделия, систему подачи и регулирования рабочего и индикаторного газов, масс-1р спектрометрический течеискатель, индикаторную камеру, сообщаемую с полостью изделия, а также соединенную через запорный .орган с масс -спектрометрическим течеискателем и.соединен- 1$ ную с системой подачи и регулирования рабочего газа, и выравнивающую камеру с эластичным разделителем, одна из полостей которой сообщается с полостью иэделия, а другая соединена с 2р системой подачи и регулирования индикаторного газа и сообщена через запорный орган с индикаторной камерой (1), 25

Недостатками известной установки являются невозможность оперативного контроля случайных натеканий индикаторного газа из элементов установки в полость изделия, что отрицательно сказывается на надежности установки, .недостоверный контроль герметичности изделия из-за влияния на показания масс-спектрометрического течеискателя индикаторного газа, накапливающегося в полости выравнивающей камеры, 3$ сообщаемой с иэделием.

Цель изобретения — повышение надежности и достоверности контроля.

Укаэанная цель достигается тем, что установка для контроля герметич- 4О ности полых изделий снабжена контрольной камерой, соединенной с системой подачи и регулирования рабочего газа, а через запорный орган— с масс-спектрометрическим течеис- 45 кателем, индикаторной камерой, со- общающейся с полостью изделия, причем индикаторная камера соединена через зайорный орган с одной иэ полостей выравнивающей камеры, которая $0 через запорный орган сообщена с атмосферой.

На чертеже представлена функциональная схема установки для контроля герметичности полых изделий. S$

Установка содержит вакуумную камеру 1,предназначенную для размещения;контролируемого изделия 2, инди1

4 2 каторную камеру 3, контрольную камеру 4, выравнивающую камеру 5 с эластичным разделителем 6 и двумя полостями 7 и 8, масс-спектрометрический течеискатель 9, систему подачи и регулирования рабочего газа, состоящую из балона 10 со сжатым рабочим газом, регулятора 11 давления и запорного органа 12, систему подачи и регулирования индикаторного газа, состоящую из баллона 13 со сжатым индикаторным газом, регулятора 14 давления и запорного органа 15.

Индикаторная камера 3 соединена через эапорный орган 16 с масс-спектрометрическим течеискателем 9. Контрольная камера 4 соединена с системой подачи и регулирования рабочего газа, а через запорный орган 17 — с масс-спектрометрическим течеискателем, кроме того, она сообщена с полостью изделия 2 и с индикаторной камерой 3 соответственно через запорные органы.18 и 19. Полость 7 выравнивающей камеры 5 сообщена через запорный орган 20 с индикаторной камерой 3, а через запорный орган 21 с атмосферой. Полость 8 выравнивающей камеры 5 соединена с системои подачи и регулирования индикаторного газа, сообщена через запорный орган

22 с индикаторной камерой 3, а через запорный орган 23 — с атмосферой.

Установка при контроле герметичности полого изделия работает следующим образом.

Исходное состояние установки: в вакуумную камеру 1 помещено контролируемое иэделие 2, все запорные органы закрыты, регуляторы 11 и 14 давления разгружены, баллоны 10 и 13 закачаны сжатым рабочим и индикаторным газом соответственно.

Открывают эапорные органы 15 и

23, настраивают регулятор 14 на давление Р„, соответствующее условиям работы изделия 2, и продувают индикаторным газом полость 8 выравнива-. ющей камеры 5, после чего закрывают эапорные органы 15 и 23.

Открывают запорные органы 12, 19.

20 и 21, настраивают регулятор давления 11 на давление Р и продувают рабочим газом контрольную камеру 4, индикаторную камеру 3 и полость 7 выравнивающей камеры 5. Открывают эапорный орган 17. При достижении нулевого уровня индикаторного газа в конСоставитель Л.Климов

Редактор К.Волощук Техред А,Кикемезей Корректор О.Тигор

Заказ 3963/45 Тираж 897 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент" ° г.ужгород, ул.Проектная, 4

3 1161 трольной камере 4 контролируемого масс-спектрометрическим течеискателем 9, закрывают запорные органы 17 и .21.

Открывают запорный орган 18 и посредством эластичного разделителя 6 выравнивающей камеры 5 прецизионно выравнивают давление в иэделии 2, индикаторной камере 3, контрольной камере 4 и в полостях 7 и 8 выравни-. ц) вакяцей камеры 5, после чего закрывают запорные органы 12 и 20.

Закрывают эапорные органы 18 и 19, открывают запорный орган 22 и создают диффузионное перетекание индикаторного газа из полости 8 выравнивающей камеры 5 в индикаторную камеру 3. Через время, обусловленное чувствительностью масс-спектрометрического течеискателя 9, эапорный орган 22 закрывается. Открывается запорный орган 16 и массспектрометрическим течеискателем

9 измеряется диффузионный фон д (ah ) индикаторного газа в индикатор-. ной камере 3, после чего запорный орган 16 закрывается.

После повторной продувки полости

8 выравнивающей камеры 5 индикаторным газом, а контрольной камеры 4, индикаторной камеры 3 и полости 7 выравнивающей камеры 5 — рабочим газом, установления в них давления

Р прецизионно выравнивают давление

35 в контролируемом изделии 2 и в перечисленных камерах и полостях откры834 4 тием запорного органа 18, после чего закрывают запорные органы 12 и

20.

Затем изделие 2 выдерживают в вакуумной камере 1 при разрежении, соответствующем условиям работы изде- лия, и закрывают Эапорные органы

17 и 18. Открывают запорный орган

22 и перепускают индикаторный газ. из полости 8 выравнивающей камеры 5 в индикаторную камеру 3.; Через время 3 запорный орган 22 закрывают.

Открывают запорный орган 16 и массспектрометрическим течеискателем 9 измеряют уровень (Mz) индикаторного газа в индикаторной камере 3, после чего запорный орган 16 закрывается.

По разности b,å - о -ой уровней индикаторного газа в индикаторной камере

3 судят о величине негерметичности изделия 2. Открывая запорный орган

17, масс-спектрометрическим течеискателем 9 контролируют отсутствие индикаторного газа в контрольной камере

4, а соответственно, и в изделии 2 °

Таким образом, предлагаемая установка позволяет .вести оперативный контроль случайных натеканий индика1 торного газа из элементов установки в полость изделия, а возможность сообщения полости выравнивающей камеры с атмосферой обеспечивает продувку ее рабочим газом, при которой удаляется накапливающийся в этой полости индикаторный газ, который влияет на достоверность контроля герметичности изделия