Устройство для измерения сопротивлений омических контактов интегральных схем

 

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СОПРОТИВЛЕНИЙ ОМИЧЕСКИХ КОНТАКТОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, содержащее семиплечий резистивный мост, индикатор , одним выводом -соединенный с одной из вершин измерительной диагонали моста, источник питания и регулируемый резистор, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности, в него введен трехплатный уравновепшвакиций элемент с тремя наборами дискретных резисторов, причем два из них образуют первое и седьмое плечи семиплечего моста, а третий включен последова .тельно с источником питания (Л и регулируемым резистором в диагональ питания семиплечего моста, а с зажимы для подключения объекта измерения соединены соответственно с общим вьшодом третьего и шестого плеч моста, другим выводом индикатора первым плечом и седьмым плечом. О5 4 О5 оо

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИ4ЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

4(51) G 01 R 17/10 и й

ы

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ASTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3393839/18-21 (22) 17.02.82 (46), 30.06.85. Бюл. 11ы 24 (72) В.А. Кочан, P.À. Пеленский, Н.С. Галкина,С.П. Новосядлый, В.Г. Саваневский и И.Ф. Собенко (71) Львовский ордена Ленина политехнический институт им. Ленинского комсомола и Львовское производственное объединение "Микроприбор" им. 60-летия Советской Украины (53) 621.317.733(088.8) (56) 1. Пеленский P.À. Схемы для исследования параметров контакта.

Сб. "Контрольно-измерительная техника", 1981, Р 29.

2. Коган Л.В. О выборе схемы для поверки.и подгонки низкоомных термометров сопротивления. — "Теория и практика для преобразования электроизмерительной информации". Киев

"Наукова думка", 1966, с. 192, рис. 3.

ÄÄSUÄÄ 1164613 А (54) (57) 1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СОПРОТИВЛЕНИЙ ОМИЧЕСКИХ КОНТАКТ0В ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ, содержащее семиплечий резистивный мост, индикатор, одним выводом соединенный с одной из вершин измерительной диаго-. нали моста, источник питания и регулируемый резистор, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения производительности, в него . введен трехплатный уравновешивающий элемент с тремя наборами дискретных резисторов, причем два из них обра - . зуют первое и седьмое плечи семиплечего моста, а третий включен последовательно с источником питания и регулируемым резистором в диагональ питания семиплечего моста, а зажимы для подключения объекта измерения соединены соответственно с общим выводом третьего и шестого .плеч моста, другим выводом индикатора первым плечом и седьмым плечом.

11ьч613

2. Устройство по п. 1, о т л и— индикатора применен цифровой вольтч а ю щ е е с я тем, что в качестве метр.

1

Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь-. зовано на предприятиях электронной промышленности для контроля качества технологических процессов изготовления интегральных схем.

Известно устройство для измерения сопротивлений омических контактов интегральных схем, контакты которых включаются в схему. одинарного, 1о моста по четырехзажимной схеме.Последовательно с соединительными проводами включены сопротивления кристалла неизвестной величины. При измерении сопротивления контакта необ- 15 ходимо тройное уравновешивание моста с добавлением сопротивлений известной величины в.плечи, смежные с плечом, содержащим измеряемое. контактное сопротивление (11. 20

Недостаткам устройства является низкая производительность..

Наиболее близким по технической сущности является семиплечий резистивный уравновешенный мост, состоя- 25 щий. из плеч отношения r и r» плеча сравнения r«, плеча с измеряемым сопротивлением r„ второго плеча сравнения, в котором, кроме декад резисторов с сопротивлением х, спа- щ ренным с помощью двухплатного переключающего элемента с сопротивлением основного плеча сравнения, находится резистор с сопротивлением

r плеча с. сопротивлением величиной г — r>, перемычки, соединяющей узел, в котором соединяются плечи с сопротивлениями r> è г — r> с узлом, в котором соединены измеряемый объект с вторым плечом сравнения, гальванометра, источника питания и регулировочного резистора. Двухплатный переключающий элемент состоит из четырех двухплатных декадных переключателей с двумя наборами резисторов каждый. Уравновешивание семиплечего моста производится с помощью четырех двухплатных декадных

2 переключателей до установления нуля на гальванометре 21.

Недостатком семиплечего уравновешенного моста является низкая производительность вследствие того, что уравновешивание схемы производится с помощью четырех двухплатных декадных переключателей.

Цель изобретения — повышение производительности при измерении с помощью семкплечего моста сопротивлений омических контактов интегральных.схем.

Поставленная цель достигается тем, что в устройство для измерения сопротивлений омических контактов интегральных схем, содержащее семиплечий резистивный мост, индикатор, одним выводом соединенный с одной из вершин моста в измерительной диагонали моста, источник питания и регулируемый резистор, введен трехплатный уравновешивающий элемент с тремя наборами дискретных резисторов, причем два из них образуют первое и седьмое плечи семиплечего моста, а третий — включен последовательно с источником питания и регулируемым резистором в диагональ питания семиплечего моста, а зажимы для подключения объекта измерения соединены соответственно с общим выводом третьего и шестого плеч моста, другим выводом индикаI тора, первым плечом с седьмым плечом.

В качестве индикатора может быть применен цифровой вольтметр, На чертеже изображена схема устройства. Устройство содержит набор дискретных резисторов 1 первого плеча семиплечего моста, трехплатный уравновешивающий элемент 2, набор дискретных резисторов 3 седьмого плеча, набор дискретных резисторов 4 цепи питания моста, зонды 5, резистор 6 второго плеча моста, резистор 7 третьего плеча моста, изме613 4 зывает наборы дискретных резисторов 1, Зи4.

Резисторы 6, 7, 12 и 13 имеют следующие величины сопротивлений: резистор .6 — гз, резистор 7 — r<, резистор 12 — r — - r резистор

1 3 — тp

Принцип работы устройства состоит в том, что с помощью трехплатного уравновешивающего элемента 2 производится частичное уравновешивание схемы путем одновременного изменения величины сопротивлений наборов дискретных резисторов 1, 3 и 4. Уравновешивание производится до тех пор, пока показание цифрового вольтметра становится минимальным. Величина измеряемого сопротивления 8 находится по сумме показаний на шкале трехплатного уравновешивающего элемента 2 и цифрового вольтметра 14.

С помощью набора дискретных резисторов 4 осуществляется нелинейный закон регулирования тока питания семиплечего моста. Величина сопротивления набора дискретных резисторов 4 рассчитывается из условия, чтобы на каж- дом поддиапаэоне показание цифрового вольтметра 14 строго соответствовало неуравновешенной частисопротивления;

В процессе наладки прибора вели чину этого сопротивления можно подобрать для каждого подциапазона . экспериментально. В устройстве со-четается метод частичного уравновешивания схемы с помощью трехплатного уравновешивающего элемента, со шкалы которого считывается две первые цифры результата, с неуравновешенным методом измерения остальной части онтактного сопротивления с помощью цифрового вольтметра.

Таким образом, предлагаемое устройство позволяет повысить производительность, точность результата измерения и применять его в условиях массового производства интегральных схем, что увеличивает процент выхода годных изделий на предприятиях, вь пускающих интегральные схемы. ль В. Семенчук

Йовжий Корректор А. Тяско

1О

3 1164 ряемое сопротивление 8 омического контакта интегральной схемы, полу проводниковый кристалл 9, металлические токовыводы 10, перемычку 11, резистор 12 шестого плеча моста, резистор 13 седьмого плеча моста, цифровой вольтметр 14, источник 15 питания и регулируемый резистор 16.

Первое плечо моста состоит из набора дискретных резисторов 1 и зонда 5, второе и третье плечи— плечи отношения моста состоят из резисторов 6 и 7 соответственно.

Измеряемое сопротивление 8 образует четвертое плечо моста и находится f5 на границе раздела системы полупроводниковый кристалл 9 — металлический токовывод 10. Пятое плечо моста содержит перемычку 11, зонд 5, металлический токовывод 10 и полупровод- 2о никовый кристалл 9. Шестое плечо моста образовано резистором 12.

Седьмое плечо моста состоит из резистора 13, набора дискретных резисторов 3, зонда 5, металлического - 25 токовывода 10 и полупроводникового кристалла 9. На полупроводниковом кристалле 9 нанесены три металпических токовывода 10. С помощью четырех зондов 5 структура полупроводниковый кристалл — металлические токовыводы подключена в схему семиплечего моста по четырехзажимному методу включения. В измерительную диагональ моста между зажимом, образованным вторым и третьим плечами моста, и зондом 5, подсоединенным к среднему токовыводу структуры полупроводниковый кристалл — металлические токовыводы, включен цифро- О вой вольтметр 14.

В диагональ питания моста, соединяющую зажим, образованный первым и вторым плечами моста, с зажимом, Ъ образованным шестым .и седьмым плечами моста, последовательно включены набор дискретных резисторов 4, . источник 15 питания и регулируемый. резистор 16. Трехплатный уравнове, шивающий элемент 2 механически свяСоставите

Редактор Л. Пчелинская Техред С.

Заказ 41 81/4 1 Тираж 748 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва. Ж-35 ° Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4