Способ изготовления высокотемпературного тензорезистора

 

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВЫСОКОТЕ/ППЕРАТУРНОГО ТЕНЗОРЕЗИСТОРА , заключающийся в том, что на подложку напыляют изолирующий слой жаростойкого окисла, формируют тензорешетку , приваривают ее концы к токовыводам , закрывают подложку с закрепленной на ней тензорешеткой теплоизолирующей рамкой с отверстием в области средней части тензорешетки, напыляют через отверстие жаростойкий окисел, убирают рамку и напыляют дополнительный слой жаростойкого окисла, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности метрологических характеристик тензорезистора относительно средних для данной партии значений и повыщения производительности способа, подложку закрепляют на технологическом носителе, устанавливают носитель с подлож кой в съемный блок формирования тензоpeiiiCTKH намоточного станка, один конец формируемой тензорещеткн приваривают к технологическому носителю до формирования , а другой - после формирования тензорешетки , снимают блок формирования с подложкой и тензорешеткой с намоточного станка, при закрывании подложки теплоизолирующей рамкой одновременно закрывают и блок формирования тензорешетки, а среднюю часть тензорешетки перекрывают поперечной пружинящей перемычкой, после напыления первичного слоя жаростойкого окисла извлекают технологический носитель с подложкой и тензорешеткой из съемного блока формирования тензорешетки и уста9 . навливают его в кассету, приваривают к корсл пусу кассеты токовыводы, прижимают их к подложке, экранируют периферийную часть подложки и прижимы токовыводов маской с окном и напыляют дополнительный слой окисла, затем перекрывают заслонкой часть окна маски, расположенную над. петлями тензорешетки и напыляют окончательный слой жаростойкого окисла на область расположения токовыводов, а концы О5 тензорешетки приваривают к токовыводам СП после приварки токовыводов к корпусу касоо сеты. -J

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

4(51) G 01 В 7/18!

I

I !

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АBTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3583706/25-28, 3583707/25-28 (22) 05.03.83 (46) 07.07.85. Бюл. № 25 (72) В. В. Поднебеснов (71) Институт машиноведения им. А. А. Благонравова (53) 53! .781.2 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 970091, кл. G О! В 7/18, !981.

2. А вто рс кое св идет ел ьст во С С С P № 247586, кл. G 01 В 7/16, 1968. (54) (57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ

ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОГО ТЕНЗОРЕЗИСТОРА, заключающийся в том, что на подложку напыляют изолирующий слой жаростойкого окисла, формируют тензорешетку, приваривают ее концы к токовыводам, закрывают подложку с закрепленной на ней тензорешеткой теплоизолирующей рамкой с отверстием в области средней части тензорешетки, напыляют через отверстие жаростойкий окисел, убирают рамку и напыляют дополнительный слой жаростойкого окисла, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности метрологических характеристик тензорезистора относительно средних для данной партии значений и повышения производительности способа, подложку закрепляют на технологическом

„„9(1„„ 165877 А носителе, устанавливают носитель с подлож кой в съемный блок формирования тензорешетки намоточного станка, один конец формируемой тензорешетки приваривают к технологическому носителю до формирования, а другой — после формирования тензорешетки, снимают блок формирования с подложкой и тензорешеткой с намоточного станка, при закрывании подложки теплоизолирующей рамкой одновременно закрывают и блок формирования тензорешетки, а среднюю часть тензорешетки перекрывают поперечной пружинящей перемычкой, после напыления первичного слоя жаростойкого окисла извлекают технологический но=итель с подложкой и тензорешеткой из съемного блока формирования тензорешетки и уста- Я навливают его в кассету, приваривают к корпусу кассеты токовыводы, прижимают их к подложке, экранируют периферийную часть подложки и прижимы токовыводов С маской с окном и напыляют дополнительный слой окисла. затем перекрывают заслон- Я кой часть окна маски, расположенную над. петлями тензорешетки и напыляют окончательный слой жаростойкого окисла на область расположения токовыводов, а концы тензоре петки приваривают к токовыводам после приварки токовыводов к корпусу кассетыи.

1165877

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к высокотемпературной тензометрии, и может быть использовано при изготовлении проволочных тензорезисторов с рабочим диапазоном температур до

700 С.

Известен способ изготовления высокотемпературного тензорезистора, заключающийся в том, что на подложку напыляют изолирующий слой жаростойкого окисла, формируют тензорешетку, приваривают ее кон цы к токовыводам, при помощи временных перемычек закрепляют тензорешетку с токовыводами к подложке, наносят слой жаростойкого цемента на участки подложки, свободные от временных перемычек, отверждают цемент, удаляют временные перемычки с тензорешетки и токовыводов, наносят окончательный слой жаростойкого цемента и отверждают цемент, а затем подвергают тензорезистор термообработке (1) .

Однако способ не позволяет получать стабильные метрологические характеристики тензорезисторов в данной партии, а процесс изготовления длителен и трудоемок вследствие нарушения исходной формы тензорешетки при использовании временных перемычек, Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к изобретению является способ изготовления высокотемпературного тензорезистора, заключающийся в том, что на подложку напыляют изолирующий слой жаростойкого окисла, формируют на намоточном станке с выдвижными иголками и съемной рамкой тензорешетку, приваривают ее концы к токовыводам, прижимают тензорешетку к подложке и закрывают подложку с закрепленной на ней тензорешеткой теплоизолирующей съемной рамкой с отверстием в области средней части тензорешетки, напыляют через отверстие жаростойкий окисел, убирают рамку и напыляют дополнительный слой жаростойкого окисла на всю подложку (2).

Однако известный способ не обеспечивает стабильности метрологических характеристик тензорезистора относительно средних значений для данной партии, а производительность способа ограничена вследствие трудоемкости процесса совмещения тензорешетки и подложки и получаемых при этом искажений формы петель тензорешетки.

Целью изобретения является повышение стабильности метрологических характеристик тензорезистора относительно средних для данной партии значений и повышение производительности способа..

Поставленная цЕль достигается тем, что согласно способу изготовления высокотемпературного тензорезистора, заключающемуся в том, что на подложку напыляют изо5

35 лирующий слой жаростойкого окисла, формируют тензорешетку, приваривают ее концы к токовыводам, закрывают подложку с закрепленной на ней тензорешеткой теплоизолирующей рамкой с отверстием в области средней части тензорешетки, напыляют через отверстие жаростойкий окисел, убирают рамку и напыляют дополнительный слой жаростойкого окисла, подложку закреп ляют на технологическом носителе, устанавливают носитель с подложкой в съемный блок формирования тензорешетки намоточного станка, один конец формируемой тензорешетки приваривают к технологическому носителю до формирования, а другой — после формирования тензорешетки, снимают блок формирования с подложкой и тензорешеткой с намоточного станка, при закрывании подложки теплоизолирующей рамкой одновременно закрывают и блок формирования тензорешетки, а среднюю часть тензорешетки перекрывают поперечной пружинящей .перемычкой, после напыления первичного слоя жаростойкого окисла извлекают технологическии носитель с подложкои тензорешетки и устанавливают его в кассету, приваривают к корпусу кассеты токовыводы, прижимают их к подложке, экранируют периферийную часть подложки и прижимы токовыводов маскои с окном и напыляют дополнительный слой окисла, затем перекрывают заслонкой часть окна маски, расположенную над петлями тензорешетки и напыляют окончательный слой жаростойкого окисла на область расположения токовыводов, а концы тензорешетки приваривают к токовыводам после приварки токовыводов к корпусу кассеты.

Способ осуществляют следующим образом.

На подложку из металлической фольги, закрепленную на технологическом носителе в виде пластины, напыляют способом газопламенного или плазменного напыления изолирующий слой жаростойкого окисла.

Затем технологический носитель с подложкой устанавливают в съемный блок формирования тензорешетки намоточного станка, выполненный в виде набора опускающихся иголок. Один конец проволоки формируемой тензорешетки приваривают к технологическому носителю контактной сваркой. Затем формируют тензорешетку путем огибания проволокой, последовательно опускаемых на подложку иголок, и после формирования тензорешетки приваривают к технологическому носителю другой конец проволоки тензорешетки, после чего проволоку обрезают.

Затем блок формирования тензорешетки снимают с намоточного станка вместе с установленным в нем носителем и имеющейся на нем подложкой с тензорешеткой. Закры1165877

Составитель Н. Тимошенко

Техред И. Верес Корректор В. Бутяга

Тираж 651 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП сПатент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор А. Шандор

Заказ 4298/32 вают подложку теплоизолирующей рамкой с отверстием в средней части тензорешетки, причем одновременно закрывают и блок формирования тензорешетки, в частности, набор иголок, удерживающих проволоку тензорешетки в заданном положении с заданным натягом, а среднюю часть тензорешетки перекрывают поперечной пружинящей перемычкой, дополнительно фиксирующей положение петель тензорешетки в средней части ее. Через отверстие рамки напыляют первичный слой жаростойкого окисла, закрепляющий тензорешетку на подложке.

После напыления первичного слоя жаростойкого окисла извлекают технологический носитель с подложкой и тензорешеткой из съемного блока формирования тензорешетки, для чего иголки поднимают от подложки. . Технологический носитель с подложкой и тензорешеткой устанавливают в, кассету с поворотной маской с окном, снабженным заслонкой. Токовыводы, изогнутые для большей устойчивости под прямым углом контактной сваркой приваривают в двух точках к корпусу кассеты, после чего приваривают к ним концы тензорешетки. Прижимают токовыводы к подложке с помощью прижимов. Экранируют периферийную часть подложки и прижим токовыводов маской с окном напыляют дополнительный слой окисла. Затем перекрывают заслонкой часть окна маски, расположенную над петлями тензорешетки и напыляют окончательный слой жаростойкого окисла на область расположения токовыводов.

Предлагаемый способ изготовления высокотемпературного тензорезистора позволяет существенно повысить стабильность метрологических характеристик (сопротивления, тензочувствительности, температурной характеристики сопротивления) тензорезистора относительно средних для данной партии значений, а производительность способа повышается за счет дифференциации операций и выполнения всех операций за минимальное время при наличии ссютветствующих приспособлений.