Устройство для перемещения и контактирования интегральных схем в климатической камере

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ И КОНТАКТИРОВАНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ В КЛИМАТИЧЕСКОЙ КАМЕРЕ, содержащее размещенные на основании и связанные с приводным механизмом транспортирующий ротор с гнездами для размещения интегральных схем, механизм поворота и фиксации транспортирующего ротора, механизм подачи интегральных схем на позицию контактирования и контактные колодки с механизмом их перемещения, отличающееся тем, что, с целью повыщения надежности в работе и упрощения конструкции, приводной меVJtEt M - -iKSA ханизм выполнен в виде однооборотного редуктора , механизм подачи интегральных схем и механизм перемещения контактных колодок выполнены в виде кулачкового вала, закрепленного внутри транспортирующего ротора, и подпружиненных толкателей, установленных. на основании с возможностью взаимодействия с кулачками, контактные колодки закреплены на установленных в основании ползунах, связанных между собой и с толкателями механизма перемещения контактных колодок шарнирно соединенными между собой рычагами , а механизм поворота и фиксации транспортирующего ротора выполнен в виде мальтийского механизма, поводок которого i закреплен на кулачковом валу, причем вал мальтийского механизма кинематически СО связан с транспортирующим ротором зубчатой передачей, а транспортирующий ротор , установлен на кулачковом валу с возможностью вращения. о Ci СО со

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИ)(РЕСПУБЛИК

„,Я0„„1166199

4C5D H 0l 1 21 66

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМ .Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ.1 1

rgn

Фиг. т

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3588031/24-21 (22) 26.04.83 (46) 07.07.85. Бюл. № 25 (72) В. И. Кормилкин и В. А. Филатов (53) 621.382 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 578666, кл. Н 01 1 21/66, 1976. (54) (57) УСТРОЛСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ И КОНТАКТИРОВАНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ В КЛИМАТИЧЕСКОИ КАМЕРЕ, содержащее размещенные на основании и связанные с приводным механизмом транспортирующий ротор с гнездами для размещения интегральных схем, механизм поворота и фиксации транспортирующего ротора, м еха низм подачи интегральных схем на позицию контактирования и контактные колодки с механизмом их перемещения, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности в работе и упрощения конструкции, приводной механизм выполнен в виде однооборотного редуктора, механизм подачи интегральных схем и механизм перемещения контактных колодок выполнены в виде кулачкового вала, закрепленного внутри транспортирующего ротора, и подпружиненных толкателей, установленных . на основании с возможностью взаимодействия с кулачками, контактные колодки закреплены на установленных в основании ползунах, связанных между собой и с толкателями механизма перемещения контактных колодок шарнирно соединенными между собой рычагами, а механизм поворота и фиксации транспортирующего ротора выполнен в виде мальтийского механизма, поводок которого закреплен на кулачковом валу, причем вал мальтийского механизма кинематически связан с транспортирующим ротором зубчатой передачей, а транспортирующий ротор. установлен на кулачковом валу с возможностью вращения.

1166199

Изобретение относится к технологическому оборудованию микроэлектронной техники, предназначенному для проведения климатических испытаний интегральных схем, в том числе и бескорпусных, заключенных в тары-спутники, и может быть использовано при производстве и входном контроле интегральных схем.

Цель изобретения — повышение надежности в работе и упрощение конструкции устройства.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 — схема устройства для перемещения и контактирования интегральных схем, разрез, на фиг. 3— разрез А — А на фиг. 2; на фиг. 4 — элементы тары-спутника интегральной схемы.

Устройство содержит(фиг. 1) климатическую камеру 1 с устройством 2 для перемещения и контактирования интегральных схем, установленную на основании 3, внутри которого расположен однооборотный редуктор 4 с электродвигателем 5 и отсчетным механизмом 6, соединенный с устройством 2 посредством карданного вала 7, а так же блок 8 измерения и блок 9 управления, соединенные между собой, с термокамерой 1, устройством 2, однооборотным редуктором 4 и отсчетным механизмом 6 посредством электрических кабелей 10 — 13 соответственно.

Устройство 2 (фиг, 2) содержит основание 14, внутри которого размещен транспортирующий ротор 15 с установленными в направляющие 16 гнезд бескорпусными интегральными схемами 17, заключенными в тарах-спутниках 18, механизм 19 контактирования с контактными колодками 20, кулачковый вал 21 с группой кулачков 22, взаимодействующих посредством подпружиненных толкателей 23 с тарами-спутниками 18, и кулачками 24, взаимодействующими посредством подпружиненных толкателей 25 с механизмом 19 перемещения контактных колодок 20, установленных на ползунах, связанных между собой и с толкателями 25 посредством шарнирно соединенных между собой рычагов 26.

На транспортирующем роторе 15 жестко закреплено зубчатое колесо 27, которое находится в зацеплении с шестерней 28, на валу 29 которой жестко установлен мальтийский механизм 30. Поводок 31 последнего жестко установлено на кулачковом валу 21, который своим нижним концом выведен на габариты климатической камеры 1 и посредством карданного вала 7 соединен с однооборотным редуктором 4 (фиг. 1) . Транспортирующий ротор 15 установлен на кулачковом валу 21 с возможностью вращения. Кулачки 22 с толкателями 23 образуют механизм подачи интегральных схем, а мальтийский механизм

30 с поводком 31 образуют механизм поворота и фиксации транспортирующего ротора 15.

Тара-спутник 18 содержит плату 32 с пазом 33 с установленной на ней бескорпусной интегральной схемой 17 и крышку 34, боковые поверхности 35 которой предназначены для установки в направляющие 16 гнезда транспортирующего ротора 15.

Паз 33 используется для размещения тангенциальной круглой рессоры 36, служащей для возврата тары-спутника 18 в исходное положение по окончании цикла измерения.

Устройство работает следующим образом.

Бескорпусные интегральные микросхемы 17 (фиг. 2), заключенные в тары-спутники 18, устанавливают поочередно в направляющие 16 гнезд транспортирующего ротора 15.

В начальном положении (фиг. 3) под действием кулачков 22 через подпружиненные толкатели 23 тары-спутники 18 радиально выдвинуты на позицию контактирования, контактные колодки сведены до момента соприкосновения их контактов с платами 32 (фиг. 4) тар-спутников 18. Происходит одновременное измерение и снятие параметров микросхем 17, находящихся в одном вертикальном ряду. При этом работает блок 8 измерения. По окончании всех измерений и регистрации результатов измерений блоком 8 измерения блок 9 управления выдает сигнал на смену позиций.

При этом электродвигатель 5 приводит во вращение однооборотный редуктор 4 и отсчетный механизм 6. Однооборотный редуктор 4 через карданный вал 7 приводит во вращение кулачковый вал 21.

В начале поворота кулачкового вала 21 кулачки 24 через подпружиненные толкатели 25 взаимодействуют с рычагами 26, которые отводят контактные колодки 19 от плат 32 тар-спутников 18. Затем при дальнейшем повороте кулачкового вала 21 кулачки 22 отходят от подпружиненных толкателей 23, и под действием рессоры 36 тары-спутники 18 возвращаются в исходное положение.

При дальнейшем повороте ведомого вала 21 поводок 31 входит в паз мальтийского механизма 30, приводя во вращение шестерню 28 и зубчатое колесо 27, осуществляя при этом поворот транспортирующего ротора 15 на необходимый угол.

После выхода поводка 31 (фиг. 2) из паза мальтийского механизма 30 поворот шестерни 28 прекращается и она стопорится от произвольного поворота радиусной поверхностью мальтийского механизма 30.

При дальнейшем повороте ведомого вала 21 кулачки 22, нажимая на подпружиненные

1166199 толкатели 23, заставляют перемещаться тары-спутники 18 в зону контактирования.

Перед завершением одного оборота кулачки

24 отходят от подпружиненных толкателей

25 и контактные колодки 20 смыкаются с платами 32 (фиг. 4) тар-спутников 18.

По завершению одного оборота ведомого вала 21 отсчетный механизм 6 выдает сигнал блоку 9 управления о завершении смены и кода позиции, а блок 9 управления выдает команду на начало измерений. В дальнейшем цикл повторяется. После полного оборота транспортирующего ротора 15 отсчетный механизм 6 дает команду об окончании процесса измерения блоком 8 измерения и блоком 9 управления, и отключает их. Производиться разгрузка транспортирующего ротора 15 и установка новых партий микросхем 17 в тарах-спутниках 18 для проведения климатических испытаний.

1166199

70 ГЯ

Составитель Г. Падучин

Реда кто р И. Дер6 а к Техред И. Верес Корректор И. Муска

Заказ 4316/48 Тираж 679 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий ! 13035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Устройство для перемещения и контактирования интегральных схем в климатической камере Устройство для перемещения и контактирования интегральных схем в климатической камере Устройство для перемещения и контактирования интегральных схем в климатической камере Устройство для перемещения и контактирования интегральных схем в климатической камере 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к технике контроля параметров полупроводников и предназначено для локального контроля параметров глубоких центров (уровней)

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к полупроводниковой технике и направлено на повышение точности измерения параметров эпитаксиальных слоев на изотипных проводящих подложках и применение стандартных образцов, изготовленных по технологии, обеспечивающей существенно более высокий процент выхода годных и более высокую механическую прочность

Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для выявления и анализа структурных дефектов (ростовых и технологических микродефектов, частиц второй фазы, дислокаций, дефектов упаковки и др.) в кристаллах кремния на различных этапах изготовления дискретных приборов и интегральных схем

Изобретение относится к области силовой полупроводниковой техники и может быть использовано при изготовлении тиристоров и диодов
Изобретение относится к неразрушающим способам контроля степени однородности строения слоев пористого кремния

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения электрофизических параметров материалов, и может быть использовано для контроля качества полупроводниковых материалов, в частности полупроводниковых пластин
Наверх