Устройство для обработки плоских поверхностей деталей

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕЙ, размещенных в носителях, установленных с возможностью перемещения относительно притирочного диска на осях, параллельных оси диска, и расположенных Ш Цз г-ШлА по его периферии, отличающееся тем, что, с целью повышения производительности и качества при двусторонней обработке, устройство , снабжено механизмом загрузки, несущим смонтированные по периферии дисков плоские накладки, мезкду которыми размещены с возможностью поворота носители, на одном конце которых выполнены отверстия под детали,, а на другом - утолщения, предназначенные для взаимодействия с рабочими поверхностями притирочных дисков, при этом высота утолщений равна зазору между накладками.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (l9) (I I1

4(51) В 24 В 37/04, Н 01 L 21/463

ГаИС()ВЗВАЛИ

1 „

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ " -::: ":

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И. OTHPblTHA (21) 3571742/25-08 (22) 04.04.83 (46). 15.07.85. Бюл. Р 26 (72) А.М. Копытин, В.И. Ситников, В.А. Маковкин и В.Ф. Ушаков (53) 621.923.5(088.8) (56) Космачев И,Г. Справочная книга по отделочным операциям в машиностроении. Лениздат, 1966, с. 269. (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ

ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕЙ, размещенных в носителях, установленных с B03MoxHOcTbio перемещения относительно притирочного диска на осях, параллельных оси диска, и расположенных по его периферии, о т л и ч а ю- щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности и качества при двусторонней обработке, устройство снабжено механизмом загрузки, несущим смонтированные по периферии дисков плоские накладки, между которыми размещены с возможностью поворота носители, на одном конце которых выполнены отверстия под детали,. а на другом — утолщения, предназначенные для взаимодействия а рабочими поверхностями притирочных дисков, при этом высота утолщений равна зазору между накладками.

1166975

Изобретение относится к абразивной обработке и может быть использовано в полупроводниковом производстве на операциях двусторонней шлифовки и полировки полупроводниковых пластин.

Цель изобретения - повышение производительности и качества при одновременной обработке за счет того, что устройство позволяет производить загрузку и выгрузку деталей, не останавливая процесса обработки, создавая тем самым предпосылки к автоматизации производства, а также устранить сколы на обрабатываемых поверхностях.

На фиг. 1 схематично показано предложенное устройство; на фиг. 2— разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3— устройство на позиции загрузки; на фиг. 4 - разрез Б-Б на фиг. 3; на фиг. 5 — схема носителя.

Предложенное устройство состоит из станины 1 верхнего 2 и нижнего

3 дисков с возможностью вращения в . обе стороны. Нижний диск 3 установлен на основании 4 через шарниры 5, которых не менее трех. Основание

4 жестко закреплено на оси 6, которая получает вращательное движение от электродвигателя 7 через червячный редуктор 8. Верхний диск 2 шарнирно закреплен на оси 9 с возможностью вертикального перемещения. На осях 10, размещенных вокруг дисков 2 и 3 и связанных с приводом поворота, закреплены с возможностью горизонтального перемещения плоские носители 11 (их в .данном случае три, может быть и больее) с отверстиями для размещения иэделий 12 на одном конце, а на другом выполнены утолщения 13 с двух сторон, имеющие скосы 14, обращенные в сторону отверстий для изделий (пластин).

Толщина носителей с утолщением . должна быть больще толщины загружаемых пластин на 0,1-0,15 мм. Носители выполнены овальной формы.

Скосы 14 выполнены на расстоянии

8-10 мм от края дисков, когда носители с.иэделиями находятся в рабочей зоне, а радиус овала больше расстояния их оси вращения до края дисков на 10-15 мм, что обеспечивает поддержание равномерного зазора между дисками и нахождение но" так как он определен всеми тремя

55 носителями, что обеспечивает свободный ввод изделий в этот зазор на всех трех рабочих позициях. При вращении носителей 11 (фиг. 4) изделия

35 сителей с утолщениями 13 в зазоре при положении выгрузки и загрузки пластин.

Носители 11 установлены между плоскими накладками 15, которые образуют щелевую направляющую полость, совмещенную с зазором между дисками 2 и 3. Нижняя накладка 15 имеет два полудиаметральных выреза 16 в зонах загрузки и выгрузки, центр которых совпадает с центром отверстия для изделий (пластин) на носителях 11. В зоне загрузки имеется столик 17 с плунжером, приводом 18 для подъема пластин в отверстия носителя. Пластины, поступают на сто .лик 17 по транспортеру 19 из кассет 20. Привод вращательного движения плоских носителей е фиксацией в зонах загрузки и выгрузки осуществляется от электродвигателя

21 через редуктор 22, систему ком пенсационных рычагов 23. Привод эксцентричного движения осуществляется от электродвигателя 24 черезременную передачу 25, редуктор 26, зубчатую пару с внутренним зацеплением 27 и 28, зубчатые пары с внешним зацеплением 29 и 30 и эксцентрика 31. Выгружаемые иэделия поступают в кассету 32 по транспортеру 33.

Устройство работает следующим образом.

Изделие 12 из кассеты 20 по транспортеру 19 поступает к месту загрузки на стол 17 до упора в полудиаметральный вырез 1б в нижней накладке 15. В это время плоские носители 11 находятся в положении . загрузки, при этом центры отверстий носителей 11 точно совпадают с центром радиуса полудиаметрального выре-, за в нижней накладке. Затем стол 17 с пластиной 12 с помощью пневмоцилиндра 18 (фиг. 3) поднимается и пластина вводится в отверстие носителя 11. В это время зазор между дисками 2 и 3 определяется суммой толщнн носителя 11 и утолщений -13 и должен быть на 0,1-0 15 мм больше толщины загружаемых изделий. Причем зазор поддерживается равномерным, 1166975 4 червячный редуктор 8, ось 6, основание 4 и шарнирные опоры 5, которые служат для выставления рабочей плоскости нижнего диска 3 в горизонтальной плоскости. Привод верхнего диска (не показан) .производится через ось 9. По окончании процесса обработки носители 11 выводят изделия 12 из эоны обработки по щелевой

- 10 направляющей, образуемой верхней и нижними накладками 15, в зону разгрузки. На фиг. 4 положение носи- телей 1 1 в зоне разгрузки показано пунктиром. При этом центр отверстия

15 в носителях 11 совпадает с центром радиуса полудиаметрального выреза в нижней накладке 15 и пластина падает на транспортер 33, по которому она доставляется в кассету 32, перемещаются на рабочую позицию по образуемой верхней и нижней накладками 15 щелевой направляющей ° Поскольку утолщения 13 носителей 11 имеют скосы 14, то по мере ввода изделий в зазор между дисками (фиг. 1 и 2) эта часть носителя свободно выходит из зазора и вводится при выгрузке и загрузке.

Затем осуществляют привод эксцент рикового движения от электродвигателей 24 через клиноременную передачу 25, редуктор 26, шестерни внутреннего зацепления 27 и 28, зубчатой пар» 29 и 30 на эксцентрик 31.

Качательное движение носителей 11 с изделиями 12 в рабочей зоне между дисками 2 и 3 осуществляется от электродвигателя 21 через червячный редуктор 22, компенсационные рычаги 23 на оси 10, на которых закреплены носители 11.

Привод нижнего диска 3 осуществляется от электродвигателя 7 через

Таким образом, предложенное устройство обеспечивает автоматическую загрузку и выгрузку пластины и исключает их сколы.

1166975

)166975

Устройство для обработки плоских поверхностей деталей Устройство для обработки плоских поверхностей деталей Устройство для обработки плоских поверхностей деталей Устройство для обработки плоских поверхностей деталей Устройство для обработки плоских поверхностей деталей 

 

Похожие патенты:

Притир // 2119422
Изобретение относится к технологии абразивной обработки и может быть использовано преимущественно на операциях доводки, а также шлифования и полирования плоских, плоскопараллельных, цилиндрических и сферических поверхностей

Изобретение относится к области отделочной обработки плоских прецизионных поверхностей, в частности к химико-механическому полированию пластин кремния большого диаметра

Изобретение относится к обработке шлифованием или полированием поверхности тонких хрупких пластин, применяемых, в частности, для производства электронных изделий, например кремниевых и сапфировых

Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано для притирки (доводки) плоских поверхностей деталей, например, уплотнительных поверхностей деталей запорной трубопроводной арматуры (золотника вентиля, клина задвижки) как в процессе производства, так и при ее ремонте

Изобретение относится к области полупроводниковых технологий и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых пластин, включающем механическую обработку и химическое травление
Изобретение относится к области шлифования и полирования, а именно к обработке монокристаллов

 

Наверх