Проекционный объектив с увеличением - 1/30 @

 

ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ С УВЕЛИЧЕНИЕМ - I/ЗО, содержащий четьфе компонента, третий из которых - положительная двухсклеенная линза, четвертый - положительная линза, отл-и чающий.с я тем, что, с целью расширения спектрального диапазона и увеличения поля зрения, первьш компонент вьтолнен положительным склеенным из отрицательного мениска и двояковыпуклой линзы, второй - отрицательным, С1слеенный из двояковыпуклой и двояковогнутой линз, а четвертый - в виде двояковыпуклой линзы, при этом расстояние между первым и вторым компонентом составляет 0,46 фокусного расстояния объектива. /fffCftOcmb предметов

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„117040 (51)4 С 02 В 13/14-13/24

ВШ:ОВЧИН

В „,.„ . „.,„„13

БИБЛИОТЕКА

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ллааюслы реА етоЮ

rob

P4Y4 Ð" мий

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3703164/24-10 (22) 27.12.83 (46) 30.07.85, Бюл. Н - 28 (72) Э.С. Гуревич и Л.Д. Пигулевская (53) 778.22(088.8) (56) 1 ° Панков В.А., Андреев Л.Н.

Оптика микроскопов. Л.:"Машиностроение", 1976, с. 127.

2. Авторское свидетельство СССР

Ф 991346, кл. G 02 В 13/14, 19.02.81 (прототип) . г (54) (57) ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ

С УВЕЛИЧЕНИЕМ вЂ” 1/30., содержащий четыре компонента, третий из которых — положительная двухсклеенная линза, четвертый — положительная линза, о т л-и ч а ю шийся тем, что, с целью расширения спектрального диапазона и увеличения поля зрения, первый компонент выполнен положительным, склеенным из отрицательного мениска и двояковыпуклой линзы, второй — отрицательным, склеенный из двояковыпуклой и двояковогнутой линз, а четвертый — в виде двояковыпуклой линзы, при этом расстояние между первым и вторым компонентом составляет 0,46 фокусного расстояния объектива.

11704

Составитель В.Архипов

Редактор Н.Киштулинец Техред М.Гергель

Корр ектор Л. Пилипенко

Заказ 4701/43

Тираж 526 Подписное

ВНИИНИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к оптическим системам и может быть применено в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования °

Известен объектив для ультра- 5

f фиолетовой и видимой области спектра с увеличением -1/25", апертурой

0,35. Он состоит из трех компонентов: первый компонент — плосковыпуклая линза, а второй и третий - трех- 111 линзовые несклеенные компоненты jI j °,.

Однако этот объектив предназначен для .микроскопов, характеризуется малым рабочим отрезком и недостаточной коррекцией аберрации и поэтому не может быть использован в проекционных системах экспонирования.

Известен также проекционный объекХ тив с увеличением — 1/30, содержащий четыре компонента, третий из которых положительная двухсклеенная линза, четвертый — положительная линза ° Объектив рассчитан для длины волны ф = 337,1 нм, имеет апертуру 0,3 и поле зрения 25

2) = 7 мм (2).

Недостатком объектива является узкий спектральный диапазон, который обуславливает невозможность использования его для экспонирования в видимой области спектра из-за неисправленных аберраций в этой области спектр4. Кроме того, объектив характеризуется недостаточно большим полем .зрения.

- Цель изобретения — расширение спектрального диапазона и увеличение поля зрения.

Поставленная цель достигается тем, что в проекционном объективе с увеличением f/30 содержащем четыре компонента, третий из которых — положительная двухсклеенная линза, четвертый — положительная линза, первый компонент выполнен положительным, склеенным из отрицательного мениска и двояковыпуклой линзы, второй — отрицательным, склеенным из двояковыпуклой и двояко04 2 вогнутой линз, а четвертый — в виде двояковыпуклой линзы, при этом расстояние между первым и вторым компонентом составляет 0,46 фокусного расстояния объектива.

На чертеже приведена оптическая схема объектива.

Объектив состоит из четырех компонентов.

Первый компонент — положительная линза, склеенная из отрицательной

1 и положительной 2 линз, выполненных из кварца и флюорита, разность показателей .преломления которых составляет 0,0312.

Второй компонент — отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов и склеенный из положительной 3 и отрицательной 4 линз, выполненных из флюорита и кварца.

Третий компонент — положительная линза, склеенная из положительной 5 и отрицательной 6 линз, выполненных из флюорита и кварца, Четвертый компонент — двояковы( пуклая положительная линза 7, выполненная из флюорита с соотношением радиусов 1:1,476. Объектив имеет высокую степень коррекции аберраций для длин волн = 337, 1 нм и 9 = 546 нм. Предлагаемый объектив х имеет увеличение-<(>0 апертуру

А = 0,3, поле зрения 2у = 15 мм, фокусное расстояние P = 16,26 мм, рассчитан для видимой и ультрафиолетовой областей спектра при высокой степени коррекции аберраций, поле зрения увеличено до 2у = 15 мм.

При использовании объектива в установках ретуши фотошаблонов за счет совмещения плоскостей изображений в видимой и ультрафиолетовой области спектра отпадает необходимость в процессе перефокусировки луча лазера, что в конечном счете позволяет увеличить производительность труда приблизительно в 1,8 раза.