Способ измерения коэффициентов отражения на двухлучевых спектральных приборах и устройство для его осуществления

 

1. Способ измерения коэффициентов отражения на двзгхлучевых спектральных приборах, заключающийся в .том, что пучок излучения расщепляют на параллельные рабочий и опорный пучки, которые направляют, соответственно на измеряемый и эталонный образцы, сравнивают интенсивности отраженных от образцов пучков и расечитьшагот коэффициент отражения, отличающийся тем, что, с целью уменьшения трудоемкости измерений и расширения диапазона размеров измеряемого объекта, пучок, отраженный от измеряемого образца, направляют по оптическому пути опорного пучка, а пучок, отраженный от эталонного образца, направляют по оптическому пути рабочего пучка. 2. Устройство для измерения коэффициентов отражения на двухлучевых спектральных приборах, содержащее двухканальное кюветное отделение с размещенными в нем на пути рабочего и опорного оптических пучков входными окнами, отражающими элементами i и выходньми окнами, -отличающееся тем, что, с целью умень (Л шения трудоемкости измерений и расширения диапазона размеров измеряемых объектов, отражающие элементы у выходных окон рабочего и опорного пучков расположены параллельно отражающим поверхностям элементов у входных окон опорного и рабочего пучков соответственно, причем отра00 to сд жающие элементы установлены на связанных между собой направляющими рычагами переменной длины поворотных узлах, по крайней мере один из которык выполнен с возможностью перемещения вдоль оптических каналов кюветного отделения.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (l l) (sl)4 0 01 N 21/55

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ:;

H ABTOPCH0MY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3600346/24-25 (22) 31.05.83 (46) 15.08.85. Бюл. № 30 (72) В.И.Науменко, А.А.Муравский и С.Е.Яковенко (71) Научно-исследовательский инсти-. тут прикладных физических проблем им. акад. А.Н.Севченко (53) 621.378 (088.8) (56) Раков А.В. Спектрофотометрия тонкопленочных полупроводниковых структур. М.: Советское радио, 1975.

Dechaut. J. Frigpe К. Exeter

Techn.der Phys. 17, ¹ 3-4, 1969, с. 221-226. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ КОЭФФИЦИЕНТОВ

ОТРАЖЕНИЯ НА ДВУХЛУЧЕВЫХ СПЕКТРАЛЬНЫХ ПРИБОРАХ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО

ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ. (57) 1. Способ измерения коэффициентов отражения на двухлучевых спектральных приборах, заключающийся в. ,том, что пучок излучения расщепляют на параллельные рабочий и опорный пучки, которые направляют . соответ-. ственно на измеряемый и эталонный образцы, сравнивают интенсивности отраженных от образцов пучков и рассчитывают коэффициент отражения, отличающийся тем, что, с целью уменьшения трудоемкости измерений и расширения диапазона размеров измеряемого объекта, пучок, отраженный от измеряемого образца, направляют по оптическому пути опорного пучка, а пучок, отраженный от. эталонного образца, направляют по оптическому пути рабочего пучка.

2. Устройство для измерения коэффициентов отражения на двухлучевых спектральных приборах, содержащее двухканальное кюветное отделение с размещенными в нем на пути рабочего и опорного оптических пучков входными окнами, отражающими элементами и выходными окнами, о т л и ч а ю— щ е е с я тем, что, с целью уменьшения трудоемкостй измерений и расширения диапазона размеров измеряемых объектов, отражающие элементы у выходных окон рабочего и опорного пучков расположены параллельно отражающим поверхностям элементов у входных окон опорного и рабочего пучков соответственно, причем отражающие элементы установлены на связанных между собой направляющими рычагами переменной длины поворотных узлах, по крайней мере один из которых выполнен с воэможностью перемещения вдоль оптических каналов кюветного отделения.

l)732?5

Изобретение относится к технике спектроскопии и предназначено для измерения коэффициентов зеркального и нарушенного полного внутреннего отражения на двухлучевых спектральных 5 приборах.

Пелью изобретения является уменьшение трудоемкости измерений и расширение диапазона размеров измеряемого объекта. 10

На фиг. 1 схематически представлено предлагаемое устройство, вид сверху, на фиг.2 — разрез А-А на фиг.1; на фиг.3 — - схема поворотного узла; на фиг.4 — схема хода оптических лучей 15 в кюветном отделении прибора.

Устройство состоит из устанавливаемой в кюветном отделении подставки 1 (фиг. 1 и 2), на которой укреплены две неподвижные стойки 2, а так- 20 же планки 3, удерживающие снабженный накатанной головкой винт 4, который проходит через отверстие с резьбой в каретке 5, .несущей подвижные стойки 6.

На подвижных 6 и неподвижных 2 25 стойках расположены идентичные поворотные узлы 7, перекрестно соединенные направляющими рычагами 8, изменяющими свою длину благодаря телескопической конструкции. 30

Поворотный узел 7 (фиг.3) представляет собой поочередно надетые на стойку 2 или б обойму 9 с шариками ведущую шайбу 10, ведомуо обойму .11 с шариками, закрепленные с возможностью проворота при помощи гайки 12 и контргайки 13. К ведущей обойме 10 с помощью переходника 14 прикреплен направляющий рычаг 8, а на ведомой обойме 11 укреплен столик 15, на ко- 40 тором находится отражающий элемент 16.

Устройство содержит кюветное отделение 17 с входными 18 и 19 и выходными 20 и 21 окнами рабочего и опорного каналов соответственно и отражающие элементы 22-25. Прохождение рабочего и опорного пучков показано сплошными линиями 26 и 27.

Выходящие из окон 18 и, 19 (фиг.3) кюветного отделения двухлучевого спектрального прибора рабочий 26 и опорный 27 пучки попадают на первую пару отражающих элементов 22 и 23.

Указанные отражающие элементы направляют рабочий 26 и опорный 27 пуч->> ки на вторую пару отражающих элеменI тов 24 и 25, причем рабочий пучок 26 попадает на отражающий элемент 24, установленный на продолжении первоначального оптического пути опорного пучка 27 и, соответственно, опорный пучок 27 попадает на отражающий элемент 25, установленный на продолжении первоначального оптического пути рабочего пучка 26. Отражающие элементы 24 и 25 направляют пучки 26 и

27 в выходные окна 20 и 21 кюветного отделения прибора, и далее пучки идут по оптической схеме спектрального прибора. Таким образом, рабочий 26 и опорный 27 пучки меняются местами.

Это не сказывается на работе прибора вследствие идентичности оптических путей обоих каналов прибора. Образец (или образец в контакте с элементом НПВО) устанавливается в качестве одного из отражающих элементов. Конкретное место расположения образца определяется схемой фотометрирования прибора — так, чтобы на выходе прибора получался коэффициент отражения образца относительно коэффициента отражения соответствующего элемента в параллельном канале.

Для изменения угла падения излучения на образец (и, соответственно, на все отражающие элементы) вращают за накатанную головку винт 4 (фиг.1), благодаря чему передвигается каретка

5 (фиг.1 и 2), а вместе с ней и подвижные стойки 6. При этом благода— ря кинематической связи с помощью телескопических рычагов 8 на соответствующий угол поворачиваются ведущие шайбы 10 (фиг.3) поворотных узлов 7.

Через ведомые обоймы 11 поворот шайб

10 передается на столики 15 с отра-, жающими элементами 16. Тем самым сохраняется необходимая оптическая связь между оптическими элементами устройства и, соответственно, с оптической схемой прибора.

Изобретение позволяет измерять коэффициенты как нарушенного полного внутреннего, так и зеркального отражения образцов различных размеров, причем при переменных углах падения излучения не требуется вмешательства в оптическую схему прибора вне кюветного отделения и поэтому изобретение применимо для любого двухлучевого спектрального прибора.

1173275 фиг. 2

ФсбГ. 3

17

Составитель В, Кравцов

Редактор С,Тимохина Техред И.Асталош Корректор 0.Òèãîð

Заказ 5042/41 Тираж 897 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушскан наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4