Контактное устройство для контроля электрических параметров компонентов микроэлектронной аппаратуры с планарными выводами

 

КОНТАКТНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ контроля ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ КОМПОНЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОННОЙ АППАРАТУРЫ С miAHAPHHMIi ВЬВОДАМИ, содержащее корпус, подвижное и неподвижное основания и зонды, выполненные в форме плавных кривых и расположенные в отверстиях оснований, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения технологичности и надежности в работе, оно содержит перфорированную эластичную мембрану, закрепленную на подвижном основании, диаметры отверстий которой меньше диаметра зондов, и эластичные трубки , расположенные в полости неподвижного основания, вьтолненного в виде сферической чаши, причем зонды расположены внутри эластичных трубок, а полость неподвижного основания заполнена электропроводящим связующим материалом, при этом радиус сферического основания R определяется из следукицего соотношения: Р« D .1 2l1i« где Р площадь поля контактируемой поверхности компонентов микроэлектронной аппаратуры , мм , (@ расстояние между контак« (Л тами на контролируемой поверхности компонентов радиоэлектронной аппаратуры , мм; расстояние между зондами «, по внутренней поверхности сферической чаши, MMJ сх - глубину сферической чаши, 1C мм. Од ;о

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (5Ц4 Н 05 К 1/18

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3660974/24-21 (22) 04.11.83 (46) 30.09,85. Бюл. У 36 (72) В.В. Бербасов и С.К. Горбачев (53) 621.382(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У- 481546, кл, Н 05 К 13/00, 1972.

Авторское свидетельство СССР

В 949860, кл. Н 05 К 1/18, 1982. (54)(57) КОНТАКТНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ

КОНТРОЛЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ

КОМПОНЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОННОЙ АППАРАТУРЫ С ПЛАНАРНЫМИ ВЫВОДАМИ, содерmagee корпус, подвижное и неподвижное основания и зонды, выполненные в форме плавных кривых и расположенные в отверстиях оснований, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения технологичности и надежности в работе, оно содержит перфорированную эластичную мембрану, закрепленную на подвижном основании, диаметры отверстий которой меньше диаметра зондов, и эластичные трубки, расположенные в полости непод„„Я0„„1182691 вижного основания, выполненного в виде сферической чаши, причем зонды расположены внутри эластичных трубок, а полость неподвижного основания заполнена злектропроводящим связующим материалом, при этом радиус сферического основания R определяется из следующего соотношения: р„а

R 1

27 ЬоР где Р— площадь поля контактируемой поверхности компонентов микроэлектронной аппаратуры, мм, а — расстояние между контактами на контролируемой поверхности компонентов радиоэлектронной аппаратуры, мм сф, - расстояние между зондами по внутренней поверхности сферической чаши, мм

Ъ вЂ” глубина сферической чаши, MM °

118

Изобретение относится к радиоэлектронике, в частности к устройствам для контроля электрических параметров комчонентов микроэлектронной аппаратуры с планарно расположенными выводами.

Цель изобретения — повышение технологичности и надежности в работе.

На фиг.1 схематически изображено предлагаемое устройство, разрез 10 на фиг.2 — то же, рабочее положение с контролируемым компонентом радиоэлектронной аппаратуры; на фиг.3 — узел 1 на фиг.1 (контактная часть зонда, исходное положение), на 15 фиг.4 — узел tÉ /на фиг.2,(то же, рабочее положение).

Контактное устройство содержит зонды 1, выполненные из упругих стержней, свободно пропущенных через отверстия подвижного 2 и неподвижного 3 диэлектрических оснований, плавно изогнутых диэлектрических трубок 4, установленных в радиально направленных отверстиях основания

5, выполненного в виде сферической чаши. Для уменьшения паразитных емкостей и индуктивностей в системе диэлектрические трубки 4 объединены и зафиксированы друг с другом и кор- ЗО пусом 6 электропроводящим связующим материалом, например контактором 7.

Лля обеспечения идентичных контактных давлений по всему полю контактирования стержневая часть каждого З5 зонда заканчивается 6 -образным пружинящим контуром 8, размеры которого определяются исходя из условия создания необходимого давления при контактировании. Зонды выполнены ф) из термообработанной бронзовой проволоки. При пропускании их через диэлектрические трубки 4 они принимают форму плавных кривых отрезка большой окружности с центром, рас- i5 положенным в плоскости подвижной направляющей 2, поэтому зонды направлены по нормам к контактным площадкам контролируемого компонента радиоэлектронной аппаратуры 9. Зон- Ю ды заканчиваются резьбовой опорой

10, установленной в основании 5. При увеличении числа контактов в изделии (преобразование малого шага между контактами (a 4 0,625 мм) в более 55 крупный шаг) для присоединения коаксиальных кабелей 11 увеличивает изгиб направляющих трубок 4 до 90 с

2691

При этом использование фторопластовых трубок 4 позволяет получить разницу усилий на зондах, не превышающую 5, что не отражается на надежности контактирования. Для обеспечения уравнения длин зондов и создания направленного плавного изгиба диэлектрических трубок 4 с зондом 1, основание 5 выполнено в форме сферической чаши (шарового сегмента).

Радиус сферы определяется из условия равенства длин центральных и периферийных зондов по полю контактирования исходя из формулы

Ри, 2 2Пbo

"где Р— площадь поля контактнруемой поверхности изделия; а — расстояние между контактными площадками на контролируемом изделии; а =А — расстояние между зондами на

1 основании 5; глубина сферической чаши— основания сегмента. Выбирается конструктивно при уравнивании длин центральных и периферийных зондов.

Для повышения технологичности установки зондов, регулировки их по высоте, а также создания возможности их простой замены в случае выхода из строя, каждый зонд оканчивается резьбовой опорой 10, установленной в основании 5. После регулировки зондов положение опор 10 фиксируется вследствие распайки на коаксиальный кабель 11, экран которого соединен с кожухом 12, заземленного корпуса 6. Помимо этого зонды с противоположной стороны по своей контактной части имеют беззазорное направление, обеспечиваемое эластичным уплотнением, выполненным в виде, например, полиамидной пленки ПМ-А ТУ6-19-121-79, имеющей отвер стия под зонды меньше их диаметра и закрепленной на подвижном основании

2. Наличие уплотнения вносит ряд пре. имуществ, повышающих надежность работы устройства при увеличении числа контактов, повышая точность совмещения зондов с контактными площадками контролируемого изделия и создавая начальное усилие на зондах, что повышает надежность электрического

Ъ контакта и служит для надежного возвращения зондов в исходное положение после окончания контактирования.

Подвижное основание 2 установлено на подпружиненных резьбовых упорах 13, путем изменения высоты которых обеспечивается регулировка величины начального усилия на зондах. Для технологичности сборки устройства основание 5 выполнено из двух половин. Для базировки контролируемого изделия на устройство служит ложемент 14. Для приведения устройства в действие служит йрижим

15, а для предохранения контактов от загрязнений и повреждений-мембрана 16.

Устройство работает следующим образом, При опускании прижим 15 воздей— ствует на компонент радиоэлектрической аппаратуры 9, опуская его на контактные части зондов 1, которые, 1182691

4 преодолевая воздействие мембраны 16, с определенным усилием и строго направленно попадают на контактные площадки контролируемого компонента радиоэлектронной аппаратуры 9.

При этом направляющая 2, опускаясь, достигает своего упора на корпусе

6, а каждый стержень зондов 1, перемещаясь вдоль диэлектрической трубки 4, воздействует на 5 -образный пружинящий контур 8, который деформируясь, создает надежное усилие контактирования, компенсируя перепады высот расположения контактных площадок на контролируемом изделии.

При подъе прижима 15 подвижная направляьдая 2 от воздействия подпружиненных упоров 13 поднимается в исходное состояние, вовлекая за счет кожуха 12 и распрямления

5-образного пружинящего контура, зонды 1 на подъем до исходного положения.

118269)

Составитель В.Коротков

Редактор С.Лисина Техред Ж.Кастелевич Корректор Г Решетник

Заказ 6122/56 Тираж 793 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР о делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4