Паста для металлизации анодной окиси алюминия

 

ПАСТА ДЛЯ МЕТАЛПИЗАЦИИ АНОДНСЙ ОКИСИ АЛЮМИНИЯ при пайке ее с металлом, содержащая окись молибдена и окись марганца, о тличающаяся тем, что, с целью снижения температуры металлизации , она дополнительно содержит окиси меди и никеля при следующем ° соотношении компонентов, мас.Х: Окись 4-6 марганца Окись меди 4-6 Окись 7-13 никеля § Окись молибдена Остальное

СОЮЗ QOBETCKHX

ООЮЮЛЮИЙ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ASTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ ь

7-13 фаиий

lsaaL (21) 3794585/25-27 (22) .15.08.84 (46) 07.10.85. Бюл: Ф 37 (72) E.Ï.: Игнашев и А.K. Кривоусова (71) Институт электроники АН БССР (53) 621.791.3(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

В 404818, кл. С 04 В 41/14, 1973.

Авторское свидетельство СССР ,. В 587133, кл. С 04 В 41/14, 1978.

Авторское свидетельство СССР

Р 1044617, кл С 04 В 41/14, 1983.

„„SU„„1183337 A

I (Я)4 В 23 К 35/24 С 04 В 41 5 (54) (57) ПАСТА ДЛЯ МЕТАЛПИЗАЦИИ

АНОДНОЙ ОКИСИ АЛЮМИНИЯ при пайке ее с металлом, содержащая окись молибдена и окись марганца, о тл и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью сникения температуры металлизации, она дополнительно содержит окиси меди и никеля при следующем соотношении компонентов, мас.X:

Окись марганца 4-6

Окись меди 4-6

Окись никеля

Окись молибдена Остальное

1183337

Изобретение относится к пайке, в частности к составам паст для металлизации керамики, и может быть использовано для получения паяных соединений в прОизводстве электровакуумных приборов, микросхем, вакуумных интегральных схем и других устройств.

Металлокерамические соединения широко используются в производстве микросхем, вакуумных интегральных : схем (ВИС),, электровакуумйых приборов и других устройств. Применение в качестве диэлектрического материала анодных пленок окиси алюминия обеспечивается некоторыми особенностями. Например, получение механически прочных соединений анодной окиси алюминия с металлом в приборах и микросхемах затруднено из-sa ограничения температуры нагрева, кото; ая не должна превышать 600 С для аморфной анодной окиси алюминия и 800 С для кристаллической, так

ràê дальнейшее повышение температуры приводит к необратимым изменениям физико-механических свойств анодной окиси и геометрических раз- меров диэлектрических деталей.

Цепь изобретения — снижение тем-, пературы металлизации.

Использование окиси никеля в состане пасты приводит к снижению температуры восстановления до металла с 550-600 до 200-300 С, чему способствует и присутствие металлической меди, восстанавливаемой в процессе нагрева нз окиси меди.

Предлагаемое соотношение компонентов пасты обеспечивает полное ее смачивание при нагреве в среде водорода припоями с температурой плавления 230-550 С и получение

0 вакуумно-плотных соединений.

Трехокись молибдена сама не смачивается расплавленным припоем, не способствует быстрому протеканию . реакции в процессе металлизации.

Присутствующие в пасте окислы Си и Ni начинают восстанавливаться уже при 200-300 С и обеспечивают хоро. шее смачнвание металлиэации оловом и припоями, содержащими в своем составе серебро, медь и олово.

Введение в состав пасты окислов марганца способствует увеличению эффективности сцепления покрьпия с подложкой из анодной окиси алюминия, что. вместе с отсутствием загрязнений приводит к образованию плотного механически прочного металлизационного слоя.

5 Компоненты пасты перед использованием растирают и смешивают между собой в течение нескольких минут до однородной массы в обычных условиях. Вязкость. пасты подбирается исходя из способа нанесения (кисточ кой, пульверизацией, через трафарет и др.). Пасту наносят на поверхность образца в места соединений, подсушивают и производят сборку с

15 .металлической деталью. Около мест ..спая размещают припой.

Примеры составов пасты представлены в табл. 1.

Таблица,1

«t

Содержание компонентов, мас.Ж в составе

Компо ненты

1111

1 2 3 4 5 и

Окись молибдена 75 84 82 80

Окись ,марганца

6 4

5 5

Окись меди

6 5.

5 4

Окись никеля

13 7

8 11

Пасты 1-4 готовят на биндере.

45 Исследования по получению паяных образцов с применением указанных паст проводят на пластинах. из анодного оксида алюминия размером 12 ° 5 0;54 мм с встроенными в его тела электрода50 ми. Металлизированную пластину соединяют с коваровой крышкой для получения металлокерамического корпуса ВИС. Для пайки используют припой Ag 42,5, Си 10, Sn 47,5 с тем55 пературой плавления 425-460 С. Результаты испытаний образцов на вакуумную плотность приведены в табл. 2.

3 1183337

Таблица 2

3,04

2, 67

2 91, Соста ите ь S.Полякова

Редактор С.Саенко Техред C.Мигунова

Корректоy В. Гир няк

Заказ 6210/17 Тирах 1085 Подписное .ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Уигород, ул. Проектная, 4

°,2 480 7,98 10 . .460 1,06 !О

4 500 2 66.10

Паста опробована при изготовлении металлометаллических корпусов для

ВИС.

Использование предлагаемого состава пасты позволяет избавиться от органических загрязнений, снизить температуру металлизации с 600-650 цо 450-500 С, улучшить качество полученных приборов -и обеспечить ва.куумную плотность металлокерамических спаев.