Способ изготовления элементов керамических корпусов

 

1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ КЕРАМИЧЕСКИХ КОРПУСОВ интегральных схем, включающий прессование порошка стекла, его оплавление и соединение с керамической деталью, отличающийся тем, что, с целью интенсификации и упрощения процесса, а также снижения дефектов стекла по геометрическим параметрам и сколам, порошок припоечного стеклу содержа1ций 60-90 частиц размером 150-100 мкм и 10-40% частиц размером 60-30 мкм, наносят на керамическую деталь, а затем осуществляют прессование , спекание и оплавление стекла. 2. Способ ПОП.1, отличающийся тем, что прессование осуШ ществляют при удельном давлении 50-200 кгс/см.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5!)4 С 04 В 41/86

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3633509/29-33 (22) 12.08.83 (46) 07,10.85. Бюл. Р 37 (72) В.М.Репина, Н.И.Постнова и П.И.Литвинов (53) 666.762 (088.8) (56) Barta К. Шелкография в стекольном производстве. - Schara keramic, 1955, Ф 6.

Патент США Ф 3966449. кл. 65-43, опублик. 1976.

Патент CUA N- 4 165226, кл. 65-42, опублик. 1979 (прототип). (54)(57) 1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ КЕРАМИЧЕСКИХ КОРПУСОВ интегральных схем, включающий прессова„„SU„„1.183494 ние порошка стекла, его оплавление и соединение с керамической деталью, отличающийся тем, что, с целью интенсификации и упрощения процесса, а также снижения дефектов стекла по геометрическим параметрам и сколам, порошок припоечного стекла, содержащий 60-90 частиц размером

150-100 мкм и 1О-40Ж частиц размером

60-30 мкм, наносят на керамическую деталь, а затем осуществляют прессование, спекание и оплавление стекла.

2. Способ по п.1, о т л и ч а ющ н и с я тем, что прессование осуществляют при удельном давлении

50-200 кгс/см2.

1183494

Гранулометричес— кий состав

Количество дефектов в стекле

Пример мкм

По сколам, 7.

По смещению, Х

100-1 50 60

30-60 40

0 0

2 100-150 90

30-60

0 0

3 100-150

30-60

0 0

Составитель Н.Соболева

Редактор Н.Егорова Техред Т.Фанта Корректор М.Пожо

Заказ 6225/25 Тираж 604 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная,4

Йзобретение относится к производству керамических корпусов для герметизации схем (ИС) и, в частности стекла на керамические детали, а также на детали из других диэлектри- 5 ческих материалов., Целью изобретения является интенсификация и упрощение процесса, а также снижение дефектов стекла по геометрическим параметрам и сколам.

Пример ° Пресс-порошок, приготовленный смешиванием порошка припоечного стекла со связующим, состоящим иэ смеси 10-15Х раствора сополимера — бутилметакрилата в ксилоле с 1Х диметилфталата, с последующим пропусканием порошка через сито

200 меш, и имеющий гранулометрический состав: 100-150 мкм — 607, 3060 мкм — 40% помещают в гнездо мат- >0 рицы пресс-формы, на слой порошка устанавливают керамическую деталь и производят прессование при удельном давлении 50 кгс/см и 20 С. Кера. о мическую деталь с нанесенным слоем стекла выгружают из гнезда матрицы и помещают в печь где проводят одФ о новременно спекание при 320+20 С в течение 30 мин и оплавление при

410-420 С в течение 10 мин. 30

Пример 2. Процесс осуществляют аналогично примеру t, но при давлении прессования 200 кгс/см .

В таблице приведены данные по качеству получаемых изделий.

Время нанесения стекла предлагаемым способом вдвое меньше, чем известным, кроме того, исключена операция сборки хрупкой стеклозаготовки с керамической деталью,что упрощает процесс и исключает брак по сколам стекла.