Мера толщины пленок
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИН
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К ABT0PCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (61) 1004748 (21) 3744052/25-28 (22) 07.06.84 (46) 23.11.85. Бюл. К- 43 (71) Таллинский политехнический институт (72) P.À.Ëààíåîòñ (53) 351.717 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР II 1004748, кл. G 01 В 7/06, 1981. (54) (57) МЕРА ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК по авт. св. Ф 1004748, о т л и ч а ю щ а я— с я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей меры путем создания комбинаций пленок различ. ных толщин из различных материалов и „„SU„„1193450 А многослойных пленок, на подложке вынолнены дополнительные прямые пазы, аттестованные по глубине, имеющие глубину, большую глубины второго паза, и пересекающиеся с основным и вторым пазами под различными углами, в каждый дополнительный паз нанесен под- . слой пленки так, что верхняя поверхность пленки и-го паза совпадает с поверхностью дна (п-1)-ro паза, и дополнительные круговые пазы C различной аттестованной глубиной, меньшей глубины основного паза, в которые нанесены пленки из различных материалов, а верхние поверхности пленок совпадают с верхней поверхностью подложки. 1193450 Изобретение относится к метрологии, а именно к средствам для поверки и градуировки толщиномеров пленок и покрытий, и является усовершенствованием известной меры толщины пленок по авт. св. Р 1004748, Цель изобретения — расширение функ циональных возможностей меры путем создания комбинаций пленок различных толщин из различных материалов и . 10 многослойных пленок. На фиг.1 изображена мера толщины пленок, вид спереди; на фиг.2 — то же, вид сверху. Предлагаемое устройство содержит 15 подложку 1, аттестованные по глубине основной паз 2 с пленкой 3 и второй паз 4 с пленкой 5, пересекающийся с основным пазом 2 и имеющий глубину большую последнего, дополнительные 20 прямые пазы 6 и 7, аттестованные по глубине, имеющие глубину большую глубины второго паза 4 и пересекающиеся с .основным и вторым пазами 2 и 4 под различными углами, в каждый 25 дополнительный паз б и 7 нанесен подслой пленки 8 и 9 так, что верхняя поверхность пленки и-го паза (например 7) совпадает с поверхностью дна (n-1)-rr паза, например 6, и допол- ЗО нительные круговые пазы 10-12 с различной аттестованной глубиной, I меньшей глубины основного паза 4, в которые нанесены пленки 13-15 из различных материалов, а верхние 35 поверхности пленок 13- 15 совпадают с верхней поверхностью подложки 1. На верхней поверхности 16 подложки 1 имеются участки для настройки толщиномеров покрытий на ноль. 40 Дно основного паза 2 удалено от верхней поверхности подложки 1 на величину hä, равную требуемой толщине пленки, дно второго паза 4, пересекающегося с основным пазом 45 под углом Ы, удалено от верхней поверхности подложки 1 на величину h„ равную требуемой суммарной толщине пленки и первого подслоя, и дно последнего паза 7 удалено от верх- 5б ней поверхности подложки 1 на величину hg, где N — количество лодслоев. I„ Пленка 3 заполняет основной паз 2 так, что ее верхняя поверхность 55 совпадает с верхней поверхностью подложки 1. Первый подслой 5 заполняет второй паз 4 таким образом, что его верхняя поверхность под пленкой 3 совпадает с поверхностью дна основного паза 2, а в остальной части с верхней поверхностью подложки 1. Последний подслой 9 заполняет последний дополнительный паз 7 так, что его верхняя поверхность под последним подслоем совпадает с поверхностью дна предпоследнего паза 6, а в остальной части с верхней поверхностью подложки 1. На верхней поверхности подложки 1 выполнено еще М дополнительных круговых пазов, причем дно первого кругового паза10 удалено от верхней подложки 1 на величину Ь, равную требуемой к толщине первого покрытия на подслое из материала пленки 3, нанесенной в основной паз 2 пленки 5, нанесенной во второй паз 4 и т,д. Покрытие 13 заполняет первый дополнительный круговой паз 10 так, что верхняя поверхность его совпадает с верхней поверхностью подложки 1. Дно последнего кругового дополнительного паза 12 выполнено самым глубоким по сравнению с предыдущими и удалено от верхней поверхности подложки 1 на величину h, равную требуемой Км толщине M-ro покрытия на подслое из,материала пленки 3, нанесенной в основной, второй и в дополнительные прямые пазы 2,4,6 и 7 соответственно. Поверку и градуировку толщиномеров многослойных покрытий выполняют с помощью одной из двух мер с различными материалами падслоев и пленки. Нулевую точку шкалы толщиномера поверяют помещением датчика поверяJ емого толщиномера на любой участок 16 (фиг.2). Затем перемещают датчик на участок 17 покрытия (пленки) с послоями,, Показания толщиномера сравнивают с аттестованной толщиной, т.е. суммарной толщиной пленки 3 с подслоями 5,8 и 9 (фиг.l), При перемещении датчика толщиномера на участки 18 меры (фиг.2) можно проводить поверку толщиномеров двухслойных покрытий, а при перемещении датчика на участки 19 меры (фиг.2) можно проводить поверку толщиномеров однослойных покрытий с разными сочетаниями толщин и материалов покрытий, Изобретение позволяет проводить поверку и градуировку толщиномеров как однослойных, двухслойных, так 3 1193450 и многослойных покрытий, что одной мерой стала возможным поверка толщиномера на всем диапазоне измерения толщины покрытия при конкретном соче-. тании материалов основания и многослойного покрычия. Составитель И.Рекунова Техред Ж.Кастелевич Корректор Е,Сирохман Редактор M.Бланар Заказ 7304/41 Тираж 650 Подписное ВНИИПИ Государственного. комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП "Патент", r.Óæãoðoä, ул, Проектная, 4
