Отражательный электронный микроскоп

 

Ло )24990

Класс 21g, 37«

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Г. В. Дер- Ш вар ц

ОТРА)КАТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП

Заявлено 3 января 1958 е. за М 589339/26 в 1хомитет по делам изобр»теиий и открытий ири Говете Министров СССР

Опубликоваио в «11юллет»и» изобретений»,Хе 24 а !959 г.

Известны отража гельные -электронные микроскопы, Недостатком этих микроскопов является наличие в них хроматической аберрации юстировки.

Описываемый отражательный электронный микроскоп не имеет указанного недостатка. В нем для устранения хроматической ошибки юстировки применена установленная после линз микроскопа за апертурной диафрагмой электростатическая или электромагнитная призма, поле которой перпендикулярно оптической оси микроскопа и может меняться но величине и направлению. Меняя напряжение на электродах призлп1 (электростатическая призма) или ток в обмотках-(электромагнитная призма), можно менять ее корректирующее действие. Меняя ориентацию поля призмы в плоскости, перпендикулярной оптической оси, можно найти направление коррекции. Принцип работы призмы ясен из схем, при. веденных на фиг. 1 (электростатическая призма) и фиг. 2 (электрома1нитная призма) .

Предмет изобретения

Отражательный электронный микроскоп, отличающийся тем, что, с целью устранения хроматической аберрации юстировки, за его формирующими изображение линзами установлена электростатическая или электромагнитная призма, создающая поле, перпендикулярное оптической оси микроскопа, и корректирующая осесимметричное поле изображения.

¹ 124990

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Редактор Н. С. Кутафина Гр. 97

Типография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Петровка, 14.

Информационно-издательский отдел.

Объем 0 17 и. л. Зак,. 10648

Подп. к печ. 12.XII-59 г.

Тираж 740 Цена 25 коп.