Электронный испаритель
ЦаА4
Класс 2&68 № |26569
СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЙ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
В. Ф. Ульянов, М, И. Виноградов и P. Е. Рыбчинский
ЭЛЕКТРОННЫЙ ИСПАРИТЕЛЪ ДЛЯ ТУГОПЛАВКИХ И
ХИМИЧЕСКИ АКТИВНЫХ МЕТАЛЛОВ И ПОЛУПРОВОДНИКОВ
Заявлено 18 мая 1959 г, за ¹ 628609/22 в 1(омитет ио делам изобретений и открытий при Совете .Чииистров СССР
Опубликовано в «Бюллетене изобретений» ¹ 5 за 1960 г.
Известные испарители металлов в вакууме имеют оощнй недо"таток, заключающийся в том, что детали испарителя находятся з запылясмой металлом зоне. Зарастание этих деталей конденсирующимся на них металлом ограничивает количество металла, испаряемого за один прием (бсз чистки и перезарядки испарителя).
В предлагаемом испарителе для туIQII;IBEKHx и химически активных металлов исключает"я указанный недостаток.
На фиг. 1 схематически изображен предлагаемый электронньш испаритель в общем виде; на фиг. 2 — испаритель в разрезе.
Испаряемый металл (или полупроводник) 1, находящийся в охлаждаемом тигле 2, нагревается электронным лучом 8, повернутым íа угол больший 180" и сфокусированным поперечным магнитным полем, в качестве которого и.-пользуется поле рассеяния небольшого электромагнита. При этом электронная пушка 4, создающая электронньш пучок лучей, и полюса 5 расположены вне зоны запыления. Корпус испаритсля представляет собой охлаждаемый водой медный фланец 6, в который впаяны два патрубка. В боковом наклонном патрубкс размещена электронная пушка 7 с линейчатым катодом, смонтированным вместе с вакуумным электровводом о . В центральном патрубке, представляющем собой охлаждаемый медный цилиндр, помещается стержень 9 испаряемогс lòåòàëëà, Перемещение тержня в вертикальном направ,lcнип осу|цествляется при помощи охлаждаемого водой толкатсля 10, проходящего через вакуумное уплотнение 11 и приводимого в движс11нс поворотом маховичка 12. Электромагнит 18 укреплен на подвижном кольце 14 и может поворачиваться на небольшой угол в горизонтальной плоскости при наводке луча на центр испаряемого стержня.
При работе испарителя электронный луч наводится на центр торца испаряемого стержня, верхняя часть которого принимает при расплавПредмет изобретения
Электронный испаритель для тугоплавких и химически актиеных металлов и полупроводников, о т л и ч а ю щ и и я тем, что, с целью удаления электронной пушки из зоны запыления, электронный пучок при помощи поперечного магнитного поля поворачивают на угол более 180 .
3 4
I !
I
1 чанг 1
Стиг Z
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Редактор Л. М. Струве Гр 98
Подп. к печ. 19.1I-60 г.
Тираж 1,100 Цена 25 коп.
Информационно-издательский отдел.
Объем 0,17 и. л. Зак. 1604
Типография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, 11стровка, 14.
;IеHHH форму выпуклого MPHH KB. По мере испарения МеТН;1 1а стержень подается вверх с тем, чтобы поддерживать уровень расплавленного металла постоянным.
Скорость испарения регулируется мощностью электронного луча.
Испытанием установлено, что испаритель позволяет испарять любые тугоплавкие металлы и полупроводники, в том чи.ле: вольфрам, тантал, ниобий, цирконий, кремний, бор.
