Устройство для контактной фотопечати

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (З()4 G 03 В 27, 20 (®CEC((, year;p g

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

O3f г„. . fif

К)

CO (; О

4ь

Cb 3

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3697004/24-10 (22) 28.10.83 (46) 07.01.86. Бюл. ¹ 1 (72) В. Н. Кузнецов, Л. Б. Межанова, Б. Б. Новиков и В. Б. Смагин (53) 778.644 (088.8) (54) (57) УСТРОИСТВО ДЛЯ КОНТАКТНОИ ФОТОПЕЧАТИ, содержащее корпус, держатели эталонного и рабочего фотошаблонов, крышку, шарнирно закрепленную на корпусе и образующую с ним вакуумную камеру, и ориентирующие штыри эталонного фотошаблона, отлича ощееея тем, что, с целью повышения точности воспроизведения

ÄÄSUÄÄ 1203467 А рисунка топологии эталонного фотошаблона и увеличения срока его службы, держатель рабочего фотошаблона шарнирно закреплен на держателе эталонного фотошаблона с возможностью контактирования нерабочей поверкностью с размещенным на корпусе кронштейном, ориентирующие штыри которого установлены в единой координатной системе с вырезами держателя рабочего фотошаблона, превышая его толщину, при. этом ориентирующие штыри эталонного фотошаблона выполнены подпружиненными с переменным сечением и возможностью контактирования с плоскостью рабочего фотошаблона.

1203467

ВНИИПИ Заказ 8413/49 Тираж 447 Подписное

Филиал ППП «Патент», r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к полупроводниковому машиностроению, в частности к устройствам контактной фотопечати.

Цель изобретения — повышение точности воспроизведения рисунка топологии эталонного фотошаблона и увеличение срока его службы.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид в разрезе; на фиг. 2— то же, вид сверху.

Устройство содержит корпус 1, на котором закреплен держатель 2 с упругой манжетой 3, на которой установлен эталонный фотошаблон 4, образуя герметичную зону 5.

В корпусе 1 размещены подпружиненные штыри 6 ориентирования эталонного фотошаблона 4. На держателе 2 шарнирно закреплен держатель 7 рабочего фотошаблона с упругой манжетой 8, на которой установлен рабочий фотошаблон 9, образуя герметичную зону 10. Фотошаблон 9 сориентирован посредством штырей 11 кронштейна.

12, закрепленного на корпусе 1. Держатель 7 фотошаблона 9 в рабочей позиции зафиксирован зажимом 13. На корпусе! шарнирно закреплена крышка 14, образуя герметичную зону 15. Крышка 14 фиксируется зажимом 16.

Устройство работает следующим образом.

На манжету 3 держателя 2 устанавливается эталонный фотошаблон 4, ориентируемый средним диаметром штырей 6, затем создается вакуум в герметичной зоне 5, при этом фотошаблон 4 опускается за счет эластичности манжеты 3 и фиксируется. На манжету 8 держателя 7 ставится рабочий фотошаблон 9, ориентируемый штырями 11. Создается вакуум в герметичной зоне 10, фотошаблон 9 опускается за счет эластичности манжеты 8 и фиксируется.

Держатель 7 с фотошаблоном 9 поворачиваются и фиксируются зажимом 13. При повороте держатель 7 давит на торцы штырей 6, которые опускаются, прекращая контактировать боковой поверхностью с фотошаблоном 4. Фотошаблоны 4 и 9 оказываются в непосредственной близости. Крышку 14 закрывают и фиксируют зажимом 16.

В герметичной зоне 15 создается более низкий вакуум, чем в зонах 5 и 10, что обеспечивает плотный контакт фотошаблонов 4

2д и 9. Затем происходит экспонирование рабочего фотошаблона 9.