Устройство для переноса изделий

 

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АЗТОРСКОМЪГ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

4fjgJ g. д7р

Ф© ( фма1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3723782/29-33 (22) 05.04.84 (4б) 15.02.86. Бюл. И- 6 (72) Б.И.Хмыров и А.А.Цукерман (53) 666.1.032.5(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 257627, кл. Н 01 Ь 21/00, 1965, Авторское свидетельство СССР

М 735519, кл. В 65 G 47/74, 1980. (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕНОСА

ИЗДЕЛИЙ, содержащее соединенные через коллектор с источником сжатого воздуха изогнутые трубки с загерметизированными концами, на каждом из которых укреплен захват, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью снижения брака за счет исключения сколов при захвате хрупких пластин, SUÄÄ 1211228 A с59 4 С 03 В 35/20 Н 01 Ь 21/68 захваты выполнены в виде Г-образных упругих элементов, расположенных по окружности, диаметр которой определен из соотношения

6Х3 (В, -гГ) в<0„-0,4 — —, где D — диаметр окружности, на кото рой расположены захваты, мм;

Dq — диаметр пластины, мм;

Х вЂ” длина упругого элемента; мм;

Π— предельное напряжение .сжатия материала хрупкой пластины, кг/мм -

Y — момент инерции упругого элемента, мм ;

Š— модуль упругости материала упругого элемента кг/мм ;

f — максимальный ход упругого элемента, мм..1211228

20

35

50 Изобретение относится к промышленности строительных материалов,, в частности к транспортированию изделий, и может быть использовано для захвата и перемещения хрупких пластин в любой контролируемой атмосфере.

Цель изобретения — снижение брака

sa счет исключения сколов при захвате хрупких пластин.

На фиг. 1 изображено устройство для переноса хрупких пластин, общий вид; на фиг. 2 — вид А на фиг. 1.

Устройство содержит изогнутые трубки 1 плоской формы, один конец которых соединен с коллектором подачи сжатого воздуха. Свободные концы трубок 1 загерметизированы и на них укреплены захваты, выполненные в виде Г-образных упругих элементов, коллектор 2 с трубками 1 и захватами 3 помещен в корпусе 4, укрепленном на рычаге 5, который с помощью двигателя (не показан) осуществляет перенос пластины 6 с позиции на позицию.

Устройство работает следующим образом.

Рычаг 5 устанавливают над позицией обработки и опускают так, чтобы концы гибких элементов опустились на 1,5-2 мм ниже поверхности захватываемой пластины. При этом сжатый воздух, например под давлением

0,1 МПа, подается в коллектор 2 и трубки 1 разжимаются. Далее давле,ние воздуха в коллекторе 2 делается равным атмосферному или, если перенос происходит в среде с контролируемой атмосферой, давлению этой среды. За счет сил упругости трубки 1 возвращаются в исходное положение, упругие элементы мягко касаются пластины 6, так как давление, прикладываемое к пластине со стороны упругого элемента, гораздо меньше усилия, необходимого для скола пластины. Это обеспечивается за счет расположения захватов по окружнос,ти, диаметр которой определяется в соответствии с соотношением (D„-2f)4D

D — диаметр пластины, мм;

Х вЂ” длина упругого элемента, мм; о — предельное напряжение сжатия материала хрупкой пластины, кг /мм2 В

Y - -момент инерции упругого эле-, мечта, мм ":

E — модуль упругости материала упругого элемента кг/мм ;

f - максимальный ход упругого элемента, мм.

С помощью рычага 5 корпус 4 пере-. мещается и переносит пластину 6 без всяких повреждений. Затем в коллектор подается сжатый воздух, трубки 1 разжимаются и освобождают пластину.

Пример. Упругие элементы, выполненные в виде плоской пружины длиной I-15 мм, изготавливались из стали, имеющей модуль упругости

8=И 000 кг/мм . Максимальный ход элемента 8 — 10 мм. Переносилась кремниевая пластина (предельное напряжение сжатия кремния 40 кг/мм ) диаметром 76 мм в установке плазмохимической обработки в среде CF при давлении 5-100 Па, в которой возбуждался газовый разряд с частотой 13,56 мГп Загерметизированные концы трубок с жестко закрепленными упругими элементами располагаются на окружности, диаметром 56 — 59 мм.

Момент инерции плоской пружины

hb3

12 где h " ширина пружины, мм;

b — толщина пружины, мм.

Если h=5 мм, Ь=0,5 мм, 5 625 ° 10

Y= — — — — — = 0 26 мм

12

Э П1-5 10 3-10з

D

Э В„ -20, тогда 56<Р(59.

Предлагаемое устройство для переноса хрупких пластин позволяет повысить надежность захвата и исключить при этом сколы за счет того, что давление на пластину со стороны упругого элемента не превышает усилия, необходимого для скола пластины.

1211228

8ui7 A

Составитель В.Юдина

Редактор Т.Иитейко-Техред Ж.Кастелевич КорректорюИ.Эрдейи

Заказ 604/28 Тираж 458 Поднисное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам йзобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб. ° д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г.Ужгород, ул.Проектная, 4