Аппарат для получения фосфида магния

 

СОЮЭ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

09) (!1) (5)) 4 В 01 J 19/28

4 10 (21) 3798819/23-26 (22) 05.07.84 (46) 23.02.86. Бюп. Ф 7 (71) .Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений (72) Е.Н.Лебедев, А.Ю.Кискачи, В.В.Богданов, А.И.Ковтанюк, И.Й.Темош, В.В,Хромов и В.И.Панков (53) 66.023 (088.8) (56), Авторское свидетельство СССР

В 889089, кл. В 01 J 19/28, 1969.

Z.Phyz. сЬев, В.21. 138, 1933. (54) (57) 1.АППАРАТ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ

ФОСФИДА МАГНИЯ, содержащий две соединенные разделительной стенкой горизонтально расположенные и автономно обогреваемые камеры для порошкообразного фосфора и магния, о т— л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения производительности и надежности аппарата в работе, он установлен с возможностью осевого вращения и снабжен коаксиально закрепленной в разделительной стенке цилиндрической обечайкой с двумя расположенными в ее торцах пористыми мембранами.

2. Аппарат по п, 1, о т л и ч a— ю шийся тем, что мембраны выполнены из инертного к фосфору и магнию материала.

1212556

Составитель А.Лиханов

Редактор С.Патрушева Техред Т.Тулик Корректор И. Эрдейи

Заказ 673/12 Тираж 527 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная,4

Изобретение относится к аппаратам химической технологии, а более конкретно к аппаратам для получения фосфида магния, предназначенного для использования в технологии получения фосфина, применяемого в виде газовых смесей с водородом и аргоном для легирования .пластин из полупроводниковых материалов и выращивания монокристаллов полунроводников.

:.Цель изобретения — йовышение производительности и надежности аппарата.

На фиг. 1 представлен аппарат, общий вид.

Аппарат содержит горизонтальный цилиндрический корпус 1, включающий камеру для фосфора (испарительную камеру) 2, камеру 3 для магния (реакционную камеру), две пористые мембраны 4 и 5, расположенные между камерами 2 и 3, нагревательную печь 6.

Аппарат установлен на катках 7, нечь имеет отдельно обогреваемые зоны 8 и 9, пористые мембраны 4 и 5 закреплены в торцах камеры для фосфора (обечайки) 2, камера для фосфора за- креплена внутри торцовой стенки 10.

Аппарат работает следующим образом. !

В камеру 2 загружают порошкообразный фосфор, s камеру 3 — порошкообразный магний, затем камеры 2 и 3 герметизируют. Аппарат устанавливают в печь на катки 7 и соединяют с валом привода вращения аппарата. Включают вращение аппарата и нагрев

10 печи 6. По достижении в зоне 8 температуры 500+70 С включают зону 9.

В дальнейшем процесс ведут при 540+

70 С. Пары фосфора, проходя через две пористые мембраны 4 и 5, реаги15 руют с порошком магния с образованием фосфида магния. В процессе вращения происходит перемешивание магния, в результате чего обеспечивается равномерное протекание реакции

20 по всему объему порошка, две порис-, тые мембраны обеспечивают термоизоляцию камеры- 2 фосфором от реакционной камеры 3, в результате чего не происходит неконтролируемого нагрева

25 фосфора за счет тепла реакции, что привело бы к спонтанному протеканию реакции с интенсивным разогревом и, как следствие, к спеканию продукта.