Способ изготовления спая между стеклом и железоникельхромистым сплавом

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (5 )4 С 03 С 27/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Р

° ю

О ° с

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3767092/29-33 (22) 05.07.84 (46) 15,03.86.Бюл. В 10 (72) Л.В.Кондакова, В.А.Михайлова и P.Ñ.Êîðøóíîâà (53) 666.1.037.5 (088.8) (56) Гладков А.С. и др. Металлы и сплавы для электровакуумных .приборов, M.: Энергия, 1969, с.284.

Роус Б. Стекло в электронике. M.:

Сов.радио, 1969, с.141-143. (54) (57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СПАЯ

МЕЖДУ СТЕКЛОМ И ЖЕЛЕЗОНИКЕЛЪХРОМИС. TbIM СПЛАВОМ путем предварительного отжига детали из желеэоникельхромистого сплава при 900-1100 С в атмосфере водорода в течение 15-20 мнн

„„SU„„1217812 A и последующего соединения его со стеклом, отличающийся тем, что, с целью повышения качества получаемого спая и обеспечения устойчивости в работе при гелиевых температурах, в процессе предварительного отжига деталей иэ сплава поддерживают атмосферу водорода с точкой росы (-40)(- 50) G а соединение со стеклом осуществляют в инертной атмосфере ступенчато по следующему режиму: нагрев последовательно до 500+10, 600+10, 700+10, 800+10, 900+10 С, с 4-5-минутными выдержками при каждой температуре, при

1000+20 0 выдержку осуществляют в течение 15-20 мин, а охлаждение ведут в режиме выключенной печи.

1217812

Время предПоследующая ступенчатая обработка в инертной среде при температурах, С

Охлаждение

Время выде ржки при каждой

Качество спая ратура предварительного отросы водорода при предварительмер

У варительного отжига железоникельуказанной темжига желе эоникельпературе,мин !

) !

1 ном от жиге, С хромистой хро мистой детали,ос детали, мин (7 8 с печью Ровная чис5

15 -50

900

490, 590, 690, 790,890,1020 тая поверхность металлической

15 -40

510, 610, 710, 810, 910, 980

2 1100 детали и поверхности полученного спая. Спай 4,5

500, 600, 700, 800, 900

1000

17 -45

3 1000 вакуумно плотный обес.

Изобретение относится к соединению изделий из стекла с изделиями из других материалов, в частности к соединению стекла с металлом при изготовлении гермовводов и корпусов полупроводниковых приборов.

Целью изобретения является повышение качества получаемого спая и обеспечение устойчивости в работе при гелиевых температурах.

Способ иллюстрируется следуккцими примерами.

Пример 1. Подготовленный корпус и токовводы из сплава 47НХР предварительно проходят обработку в течение 10 мин в разбавленной соляной кислоте (1:1), промываются в дистиллированной воде и поступают на предварительный отжиг в водороо, о де с точкой росы -50 С при 900 С в течение 20 мин. Далее в графитовую кассету с отверстиями, количество которых соответствует количеству токовводов из сплава 47НХР помещают корпус прибора из сплава

47НХР .

В отверстия корпуса вставляют. стеклотаблетки из стекла марки

С95-2 и токовводы.

Собранный таким образом металлостеклянный узел в графитовой кассете помещают в ненагретую печь сопротивления, t

1

При — |Темпе- Точка з 4 S

Осуществляют продувку печного пространства инертным газом и нагрев печи. После достижения температур 490, 590, 690, 790,,890 С делают остановки при каждой темпе" " ратуре в течение 5 мин.

Далее температуру поднимают до

1020 С и делают выдержку в течео, ние 15 мин, после чего печь выключают и ведут охлаждение в режиме выключенной печи. После охлаждения полученный металлостеклянный спай направл.яют на химическую обработку дпя снятия окисной пленки, образованной в процессе предварительного отжига металла и при получении спая, Затем готовый металлостеклянный узел направляют на последующие операции. Для иллюстрации осуществления предлагаемого способа приведены дополнительные примеры, представленные в таблице.

Подготовительные операции во всех последующих примерах аналогичны приведенному, причем в примерах 1 и 2 металлические детали изготавливают из сплава 80 НКЕХЗ.

Предлагаемый способ позволяет изготовить многовводные спаи гермовводов (po 70-80 шт.), которые являются прочными и термически стойкими, выдерживающие многократное действие гелиевых температур, 1217812

Продолжение таблицы

1 г З

15 -40

5 1000

Составитель А, Борисов

Техред С.Мигунова

Редактор А.Долинич

Корректор И. Зрдейи

510, 610, 710, 4

810, 910

980 20

490, 590, 690, S

790, 890

1020 15

Заказ. 1077/28 Тираж 458 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", r.Óæroðîä, ул.Проектная, 4 печивал работу при температуре жидкого гелия