Ионизационный вакуумметр

 

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к измерению давления и паров в высоковакуумных системах. Цель изобретения - расширение диапазона измеряемых давлений в сторону низких при повьппении быстродействия вакуумметра путем форсирования процесса накопления ионов в межэлёктродном промежутке за счет ионизации остаточных газов как в положительный, так и в отрицательный полупериоды высокочастотного напряжения , приложенного между электродами манометрического преобразователя . Вакуумметр содержит манометри ческий преобразователь 1, подогревные электроды 2 и 3, подогреватели 4 и 5, генератор высокочастотного напряжения 6, прибор 7 для регистрации изменений электронного тока, генератор видеоимпульсов 9, источники .напряжения 10 и 11 для нагрева элек тродов . 2 з.п. ф-лы. 1 ил. / ш rz: // to ю О) о 00

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ, КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3815596/24-21 (22) 19.11.84 (46) 23.04.86. Бюл. № 15 (72) А.В.Кабин (53) 531.788 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 134475, кл. G 01 L 21/32, 1960. .Авторское свидетельство СССР № 855786, кл. Н 01 Л 9/42, 1981 ° (54) ИОНИЗАЦИОННЫЙ ВАКУУММЕТР (57) Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к измерению давления газов и паров в высоковакуумных системах. Цель изобретения расширение диапазона измеряемых давлений в сторону низких при повьппении

„,SUÄÄ 1226080 А (Я1)4 G 01 Ь 21/30, H 01 J 41/02 быстродействия вакуумметра путем форсирования процесса накопления ионов в межэлектродном промежутке за счет ионизации остаточных газов как ( в положительный, так и в отрицательный полупериоды высокочастотного. напряжения, приложенного между электродами манометрического преобразователя. Вакуумметр содержит манометри ческий преобразователь 1, подогревные электроды. 2 и 3, подогреватели

4 и 5, генератор высокочастотного напряжения 6, прибор 7 для региСтрации изменений электронного тока, генератор видеоимпульсов 9, источники

,напряжения 10 и 11 для нагрева элек .тродов. 2 з.п. ф-лы. t ил.

26080 1

13. следования видеоимпульсов устанав20

23

ЗО

Вакуумметр работает следующим образом.

56

Источники напряжения 10 и 11 для нагрева электродов разогревают электроды 2 и 3 с подогревателями 4 и 5.

Напряжение и частоту генератора высокочастотного напряжения 6 устанавливают такими, чтобы обеспечивалась эффективная ионизация молекул в межэлектродном промежутк» и длительное ко1 12

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к измерению давления газов и паров в высоковакуумных системах.

Цель изобретения — расширение диапазона измеряемых давлений в сторону низких при повышении быстродействия вакуумметра путем форсирования процесса накопления ионов в межэлектродном промежутке за счет ионизации остаточных газов как в положительный, так и отрицательный полупериодь! высокочастотного напряжения, приложенного между электродами манометрического преобразователя.

На чертеже приведена схема ионизационного вакуумметра.

Вакуумметр содержит двухэлектрод ный манометрический преобразователь 1, подогревные электроды 2 и 3, подогреватели 4 и 5,причем эмиттйрующие поверхности электродов 2 и 3 обращены друг к другу. К электродам 2 и 3 пос- ледовательно подсоединены генератор вы"окочастотного напряжения 6, прибор 7 для.регистрации изменений элект— ронного тока преобразователя 1, источник 8 постоянного напряжения и генератор видеоимпульсов 9. Подогре-. ватели 4 и 5 электродов 2 и 3 подключены соответственно к источникам напряжения 10 и 11 для нагрева электродов. Выходы источников 10 и 11 напряжения для нагрева электродов должны иметь высокбе сопротивление изоляции относительно общей точки, чтобы активная составляющая токов генератора высокочастотного напряжения 6 и генератора видеоимпульсов 9 через это сопротивление была пренебрежимо мала по сравнению с током через манометрический преобразователь.,Уменьшение емкостной связи между электродами 2 и 3 через подогреватели

4 и 5 источников 10 и 11 их питания достигается включением в цепи .питания подогревателей 4 и 5 развязывающих дросселей (не показаны). лебательное движение ионов в промежутке. Для этих целей амплитуда высокочастотного напряжения должна быть больше потенциала ионизации молекул а частота этого напряжения настолько велика, чтобы координата иона мало изменялась за период по сравнению с расстоянием между электродами. Амплитуду и длительность импульсов генератора видеоимпульсов 9 устанавливают такими, чтобы за время действия этого импульса подавляющее большинство ионов покинуло межэлектроннный промежуток преобразователя 1. Период лиВают таким, чтобы амплитуда пилообразной составляющей электронного тока была близка к максимально возможной. Постоянное напряжение источника, 8 выбирают таким, чтобы амплитуда пилообразной составляющей электронного тока и скорость изменения этой составляющей после окойчания видеоимпульса генератора 9 были наибольшими.

В процессе накопления ионов внутри межэлектродного промежутка преобразователя 1 внутреннее сопротивление преобразователя 1 постепенно уменьшается, а при лодаче видеоимпульса резко возрастает, что приводит к изменению электронного тока через

;преобразователь.

Давление определяют по градуировочным зависимостям показаний прибора 7 для регистрации изменений электронного тока преобразователя от давления газа.

Формула из обре те ния

1.Ионизационный вакуумметр, содержащий двухэлектродный ионизационный манометрический .преобразователь, первый электрод которого выполнен подогревным, источник напряжения для его нагрева, последовательно подсое-. диненные к электродам преобразователя генератор высокочастотного напряжения, прибор для регистрации изменений электронного тока преобразователя, источник постоянного напряжения и генератор видеоимпульсов, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измерений и повышения быстродействия, второй электрод преобразователя выполнен также подогревным и подключен к дополнительному источнику напря1226080

Составитель А.Перцев

Техред В.Кадар Корректор 6. Пилипенко

Редактор А.Козориз

Заказ 2112/30 Тираж 778 - Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4!5

Производственно-полиграфическое предприятие,г.ужгород,ул.Проектная,4 ження для его нагрева, а эмиттирующая поверхность его обращена в сторону эмиттирующей поверхности первого электрода.

2. Вакуумметр по п. 1, о т л и— ч а ю шийся тем, что оба электрода преобразователя выполнены торцовыми н расположены ка одной оси, проходящей через их центры.

3.Вакуумметр по п.1, о т л и— ч а ю шийся тем, что оба электрода преобразователя выполнены в виде коаксиальных цилиндров с эммитирукицей боковой поверхностью.