Способ смазки механизмов вакуумного технологического оборудования
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСГ1УБЛИН
150 4 F 16 N 17/06
g(сл ф г
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н ABTOPCHOIVIV СВИДЕТЕЛЬСТВУ йц„
i)
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3840479/25-08 (22) ll .01 .85 (46) 30.04.86. Бюл. Р 16 (71) МВТУ им. Н.Ç.Баумана (?2) Е.А.Деулин, В.В.Анисимов, В.П.Михайлов, А.Б.Усов, В.Н.Кеменов и Л.Н.Назаров (53) 621 ° 89 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
9 777332, кл. F 16 N 15/00, 1979.
Карагельский И.В. и др. Трение и износ в вакууме. М.: Машиностроение, 1973, с. 152.
„„SU„„1227900 А 1 (54) (57) СПОСОБ СМАЗКИ МЕХАНИЗМОВ
ВАКУУМНОГО ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ путем нанесения на трущиеся поверхности металла в виде пленки, о т л.и ч а ю шийся тем, что, с целью улучшения технологических свойств вакуумной среды, пленку нагревают .до плавления в зоне контакта трущихся поверхностей и охлаждают до затвердевания при выходе из зоны контакта.
1227900
Составитель Г.Иуренко
Техред N.Èàpãeíòàë Корректор А.Г)бручар
Редактор Н. Горват
Заказ 2278/39
Тираж 652 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
11303S, Москва, )K-35, Раушская наб., д.4!5
Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная,4
Изобретение относится к электроннаму машиностроению и приборострое- . нию и может быть использовано в особо чистых вакуумных системах технологического оборудования.
Цель изобретения — улучшение технологических свойств вакуумной среды путем ограничения выделения твердых продуктов износа в вакуумный объем.
На чертеже изображена схема устройства для реализации предлагаемого способа.
Устройство состоит из неподвижной гайки 1 с нагревателем 2 н подвижнога винта 3 с нанесенной на его трущуюся поверхность металлической пленкой 4 на основе легкоплавкой эвтектики индий-олово.
Способ смазки осуществляют следующим образам.
Нанесенную на трущуюся поверхность винта металлическую пленку 4 нагревают до температуры плавления в зоне контакта трущихся поверхностей винта 3 и гайки 1 нагревателем 2, винту сообщается вращательное движение, при этом расплавленная пленка металла служит эффективной смазкой трущихся поверхностей. Па мере выхода из зоны контакта трущихся поверхностей пленка охлаждается за счет теплоотвода через тело винта до затвердевания, замуровывая продукты износа и предотвращая тем самым рассеивание их в вакуумной камере.
П р и и е р. Проводилось смазывание трущихся поверхностей пары трения винт-гайка скольжения в вакууме
10 " Па. Металлическая пленка на трущихся поверхностях была образована на основе легкоплавкой эвтектики
S„(S < - 48,7X) с температурой плавления 117 С.
Перед началом испытаний неподвижная гайка 1 нагревалась спиральным резистивным нагревателем 2 до расплавления тонкой металлической пленки 4.
5 Температура эоны контакта контролировалась- с помощью термопарнога датчика, установленного в непосредственной близости от резьбы в теле гайки.
Винту 3 сообщалось вращательное движение с частотой 5 об/мин посредством герметичного сильфонного ввода, с валом которого винт связан телескопическим шлицевым соединением. По мере вы- хода из зоны кон гакта металлическая пленка 4 остывала и затвердевала, замуровывая продукты износа. Снижение температуры пленки происходило за счет теплоотвода через тело винта, соединенного с перемещаемым объектом. С
2б целью повышения эффективности теплоотвода возможно охлаждение винта посредством полупроводникового холодильника.
25 При работе устройства в течение
100 ч продуктов износа в вакуумной камере не обнаружено.
При работе устройства без нагрева с твердой металлической смазкой щ на основе индия при тех же режимах вес продуктов износа составил 210 мг.
При производстве ряда приборов попадание твердых продуктов износа в вакуумный технологический объем приводит к увеличению брака, снижению фактической производительности. Например, при производстве интегральных микросхем, где размеры элементов составляют единицы микрометров, попадание продуктов износа на полупроводниковую подложку приводит к неиспра-вимому браку.
