Ионный источник масс-спектрометра

Авторы патента:

H01J27/02 - ионные источники; ионные пушки (устройства для манипулирования частицами, например фокусирование, G21K 1/00; генерирование ионов, поступающих в незамкнутое газовое пространство, H01T 23/00; генерирование плазмы H05H 1/24)

союз советских социАлистичесних

РЕСПУБЛИН

{51) 5 H 01 1 27/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

М АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (46) 23.04.91. Бюл. Ф 15 (21) 3783666/25 (22) 08.06.84 (72) JI.Ë.Чилипенко и А.H.Êàòðóýîâ (53) 521.385 (088.8) (5á) M.Ñ. 1пдЬтат W.À. Chupka. Rev.

Scie Instrum. 1953, v.24, Р 7,р.518.

С.Brunnee, G.Kappua, Н.Rache, Е.Seiferr В.Winde1 . Amer. Lab.,1978, v. 10, У 2, р. 141. (54)(57) ИОННЫЙ ИСТОЧНИК МАСС-СНЕКТРОИЕТРА, содержащий ленточный ионизатор и испаритель с державкой> о тлич.ающ.ийс я тем, что, с целью упрощения конструкции и повьг,.БК, 1 А1 шения точности анализа, плоскость ленты иониэатора установлена перпендикулярно оптической оси источника, а испаритель выполнен в виде поверхности, размер которой выбран из условия минимума искажения злектрическо-. го поля s области ионизации, и рас- . положенной сбоку от ионизатора на расстоянии от него, не превыщакмцем линейного .размера поверхности испарителя, укрепленной на свободном . конце консольно закрепленной державки на равном расстоянии от концов ионизатора.

1233713

Составитель В.Спиридонов

Редактор Т.Иванова Техред Л.Олейник Корректор В Синицкая

Тираж 318 ПодпИоное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Заказ 1898

Пронэводствeннo- полн рафическое предприятие, г. Укгород, ул.Проектная,4

Изобретение относится к массспектрометрии и может быть использовано при иэотопнои анализе образцов твердой фазы.

Цель изобретения вЂ” упрощение конструкции источника и повышение точ-. (ности анализа.

На чертеже представлена конструкция,источника (ионно-оптическая система условно не показана). 16

На ни кием-стакане 1 источника. при помощи керамических стоек 2 установлена лента ионизатора 3 так, что плоскость ее перпендикулярна нормальной траектории ионов, показанной на рисунке стрелкой (т.е.перпендикулярна оптической оси источника). Испаритель 4 в виде, например, Г-образной ленты консольно закреплен на стойке 5 перпендикулярно 20 ионизатору сбоку от него так, что(ы отогнутая часть ленты была обращена к иониэатору, а расстояние от ионизатора до отогнутой части ленты не превышало размера отогнутой части.

Устройство работает следующим образом.

Иа отогнутую. часть ленты испарителя наносят исследуемый образец.

Источник вставляют.в масс-спектрометр и прибор выводят на рабочие параметры. За счет теплового излучения иониэатора происходит разогрев образца и его испарение, дальнейшие процессы аналогичны обычному массспектрометрическому анализу образцов твердой фазы. поскольку к ионизатору,обращеиа лишь незначительная (1 мм ) поверхность ленты испарителя, то это не вызывает заметных искакевий электрического поля s области иониэации.

Электродная система для источников электронов и ионов // 1144542

Источник многозарядных ионов для циклотрона // 1143249

Способ получения отрицательных ионов и устройство для его осуществления // 1107707

Источник радиоактивных ионов // 1091748

Ионный источник масс-спектрометра // 1074303

Способ получения отрицательных ионов // 1044187

Способ генерации ионов // 1040967

Изобретение относится к способам генерации ионов и может быть использовано при получении мощных направленных потоков многоразрядных ионов различных веществ

Ионный источник масс-спектрометра // 1029786

Искровой источник ионов // 957674

Источник ионов с периферийным магнитным полем // 2114482

Устройство для создания низкотемпературной газоразрядной плазмы // 2116707

Изобретение относится к газоразрядной плазменной технике и технологии, в частности к устройствам генерации низкотемпературной газоразрядной плазмы в больших объемах

Рамочный электрод // 2118868

Изобретение относится к ионно-оптическим ускорителям ионов и может быть использовано в ионных двигателях

Устройство для получения пучка ионов // 2119208

Изобретение относится к области ускорительной техники и может быть использовано для получения мощных, высокооднородных пучков ленточной геометрии

Источник многокомпонентных атомарных потоков // 2119730

Изобретение относится к электрофизике, в частности к системам, служащим для получения потоков частиц, используемых, например, для вакуумного нанесения тонких пленок

Ионный микропроектор и способ его настройки // 2126188

Изобретение относится к области электронной техники и может найти применение при изготовлении интегральных схем с большой информационной емкостью методом литографии, а также в других процессах прецизионной обработки поверхности материалов ионным лучом, например нанесение на субстрат рисунков с изменением в нем поверхностных свойств материалов, в частности изменение типа проводимости в полупроводниковых материалах путем внедрения легирующих ионов, изменение других физических свойств материала за счет внедрения одноименных и инородных ионов, создание на поверхности новых слоев в результате осаждения атомов вещества из окружающих паров облака под влиянием падающих ионов, удаление вещества с поверхности субстрата в результате его распыления

Ионная пушка // 2128381

Изобретение относится к технике получения импульсных мощных ионных пучков

Плазменный ионный источник // 2147387

Изобретение относится к ионным источникам и может быть использовано в масс-спектрометрии для элементного анализа жидкостей и газов, в ионной технологии и т.д

Ионный источник с закрытым дрейфом электронов // 2172536

Изобретение относится к ионным источникам с закрытым дрейфом электронов, которые могут быть использованы в качестве двигателей, в частности, для космических кораблей, либо в качестве ионных источников для промышленных операций, например нанесение покрытий напыления в вакууме

Ионный источник // 2176133

Изобретение относится к ионным источникам для циклотронов (внутренним, закрытого типа) и может использоваться в циклотронной технике