Способ определения чувствительности тензорезистора и устройство для его осуществления

 

Способ и устройство относятся к полупроводниковой тензометрии и МОГУТ быть использованы для снятия градуировочных характеристик нитевидных кристаллов кремния. Цель изобретения расширение области применения способа определения чувствительности тензорезистора для нитевидных кристаллов кремния, что достигается за счет использова ния в качестве связующего для захватов и материала токовыводов сплава 2,0-2,4 мае.% кремния, 0,04- 0,06 мас.% алюминия, остальное - золото,.и перемещения одного из концов тензорезистора перпендикулярно его продольной оси. Устройство содержит станину, направляющие, микрометрические винты с гайками, каретки, элект-. роизоляционные прокладки и захваты с V-образными канавками, в которые вплавляется нитевидный кристалл кремния . Способ осуществляют перемещением одного из концов кристалла в направлении , перпендикулярном его оси. Снятие кристалла после определения чувствительности осуществляют расплавлением сплава.. 2 с.п. ф-лы, 1 ил.

514 А1

СОКИ СОВЕТСНИХ . СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (19) (1!) (51) 4 G 01 В 7/18

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ- НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ИСАНИЕ И БРЕТЕНИЯ 1 : - - !

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1. " (21) 3740499/25-28 . (22) 16.05.84 (46) 23.06.86. Бюл. ¹ 23 (71) Воронежский политехнический институт (72) С.В.Попов, А.И.Дрожжин, С.А.Антипов, Б..И.Паншнн, В.К.Бочарников, M.М.Пацак и А.Г.Мухутдинов (53) 531.781.2(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 317895, кл. G О1 В 7/18, 1969.

Авторское свидетельство СССР

¹ 194386, кл. G 01 В 7/18, 1965. (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ ТЕНЗОРЕЗИСТОРА И УСТРОЙСТВО

ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ (57) Способ и устройство относятся к полупроводниковой тензометрии и мо-. .гут быть использованы для снятия градуировочных характеристик нитевидных кристаллов кремния. Цель изобретения— расширение области применения способа определения чувствительности тензо- резистора для нитевидных кристаллов кремния, что достигается за счет использования в качестве связующего для .захватов и материала токовыводов сплава 2,0-2,4 мас.7 кремния, 0,040,06 мас.Ж алюминия, остальное — золото, и перемещения одного из концов тензорезистора перпендикулярно его продольной оси. Устройство содержит станину, направляющие, микрометрические винты с гайками, каретки, элект-. роизоляционные прокладки и захваты с V-образными канавками, в которые вплавляется нитевидный кристалл крем- Ж ния. Способ осуществляют перемещением ур одного из концов кристалла в направлении, перпендикулярном era оси. Снятие кристалла после определения чувствительности осуществляют расплавлени- Я ем сплава., 2 с.п. ф-лы, 1 ил.

9514

2 два микрометрических винта б и 7 с гайками 8 и 9, соединенными соответственно с каретками 4 и 5, две е электроизоляционные прокладки 10 и 11, установленные соответственно на каретках 4 и 5, и два захвата 12 и 13 для крепления концов тензорезистора 14, закрепленных соответственно на электроизоляционных проклад1О ках 10 и 11. Захваты 12 и 13 выполнены в виде стержней с канавками

V-образного профиля, стенки которых облужены сплавом, выполняющим роль связующего, а придонная часть запол15 иена им. -Устройство для определения чувствительности тензорезистора работает следующим образом.

Исследуемый тензорезистор 14, Ю представляющий собой нитевидный кристалл кремния, вплавляют концами в захваты 12 и 13. В качестве связующего используется сплав золота с кремнием и .алюминием. Концы кристалла при 5 этом располагаются в V --образных канавках захватов 12 и 13 на одной ли.нии с продольной осью кристалла.

Изолированные от станины 1 электроизоляционными прокладками 10 и 11

ЗО захваты 12 и 13 используют .в качестве токовыводов при измерении сопротивления тензорезистора. Деформацию .тензорезистора осуществляют перемещением одного из концов нитевидного кристалла, например конца, закреп35 ленного в захвате 12, в направлении, перпендикулярном продольной оси кристалла, на заданную величину с помощью микрометрического винта 6.

40 Микрометрический винт 7 служит для настройки устройства на требуемую величину исходного расстояния между захватами 12 и 13. Чувствительность тензорезистора рассчитывают по изве55

123

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к полупроводниковой тензометрии, и может быть использовано для экспресс-определения коэффициентов тензочувствительности нитевидных кристаллов кремния.

Цель .изобретения — расширение области применения способа для тензорезисторов на основе нитевидных кристаллов кремния, что достигается за счет использования в качестве связующего и материала токовыводов сплава золота с кремнием и алюминием, деформирования нитевидного кристалла путем перемещения одного из. его концов в направлении., перпендикулярном его продольной оси, а также выполнения устойства с двумя каретками, двумя наравляющими и двумя захватами с канавками V †.образного профиля, облуженными тем же сплавом.

На чертеже представлена схема устройства. для определения чувствительности тензореэистора.

Способ осуществляют следующим образом.

Тензорезистор с помощью связующего закрепляют в градуировочном устройстве, для чего концы нитевидного кристалла кремния вплавляют в связующее — сплав, содержащий 2,0-2,4 мас.7 кремния, 0,04-0,06 мас.Ж алюминия, остальное — золото. Участки контакта кристалла со связующим используют в качестве токовыводов .при измерении сопротивления тензорезистора.

После измерения исходных значений сопротивления тензорезистор деформируют на заданную величину, для чего один из концов нитевидного кристалла перемещают в направлении, перпендикулярном продольной оси кристалла. По измеренным значениям сопротивления до и после деформации и деформации кристалла в направлении продольной оси определяют чувствительность тензорезистора. Для снятия тензоре- зистора с градуировочного устройства изменяют его теМпературу до значений, соответствующих потере связующим адгезионных свойств, т.е. до температу.ры плавления сплава.

Устройство для определения чувств вительности тензорезистора содержит станину 1 с направляющими 2 и 3, расположенными перпендикулярно одна другой, установленные соответственно на направляющих 2 и 3 каретки 4 и 5, стным зависимостям, в которые входят изменение сопротивления и удлинение тензорезистора.

Для снятия тензорезистора с уст-ройства вновь расплавляют связующее в захватах 12 и 13 и снимают ните- видный кристалл.

Использование предлагаемых способа и устройства позволяет расширить область применения известного метода определения чувствительности тензорезистора для нитевидных кристаллов кремния. При этом по сравнению с известными методами определения чувст3 123951 вительности нитевидных кристаллов достигается экономия времени и более высокая точность определения градуировочной характеристики тензорезистора. 5

Формула из о брет ения

Составитель Н.Тимошенко

Редактор Н.Тупица, Техред О.Гортвай Корректор Е.Сирохман

Заказ 3384/39 Тираж 670 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная, 4.1. Способ определения чувствительности тензореэистора, заключающийся в том, что тензорезистор при помощи 1Q связующего закрепляют в градуировочном устройстве,. деформируют его, измеряют его сопротивление и деформацию и по окончании процесса деформирования тензорезистора изменяют его тем.пературу до значений, соответствующих потере связующим адгезионных свойств, а по измеренным значениям сопротивления и деформации определяют чувствительность тензорезистора, 20 отличающийся тем, что, с целью расширения области применения способа для тензорезисторов на основе нитевидных кристаллов кремния, в качестве .связующего используют д сплав, содержащий 2,0-2,4 мас. крем" ния, О, 04-0,06 мас. алюминия, остальное — золото, тензорезистор закрепляют путем вплавления в связующее концов нитевидного кристалла, участ- ки контакта кристалла со связующим используют в качестве токовыводов

4 4 при измерении сопротивления тензорезистора, а деформируют тензорезистор путем перемещения одного из концов нитевидного кристалла в- направлении, перпендикулярном его продольной оси.

2. Устройство для определения чувствительности. тензорезистора, содержащее станину с направляющими, каретку, установленную на направляю- . щих с возможностью перемещения, микрометрический винт с гайкой,. соеди- . ненный с кареткой, две электроизоляционные прокладки, одна из которых устаневлена на каретке, и два захвата для крепления концов тензорезистора, каждый из которых закреплен на одной из электроизоляционных прокладок, отличающееся тем, что, оно снабжено вторыми направляющими, выполненными на станине перпендикулярно первым направляющим, второй кареткой, установленной на этих направляющих, и вторым микрометрическим винтом с гайкой, соединенной со второй кареткой, вторая электроизоляционная прокладка установлена на второй каретке, а каждый из захватов выполнен-s виде стержня с канавкой Т-образного -профиля, стенки которой обпужены сплавом, выпол-. няющим роль связующего, а придонная часть заполнена им.