Устройство для измерения параметров пленки в процессе вакуумного испарения вещества

 

Изобрете(П-:е, относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности и расширение функциональных возможностей устройства достигается благодаря тому, что в устройство, содержащее кварцевый резонатор 1 и измерительный генера-тор 2, введены цифровой частотомер 3, вычитающий счетчик 4, счетчик 7 толщины , схема 5 сравнения кодов, счетчик 8 скорости, схемы 9 и 10 индикации, схема 6 управления, включающая, двухвходовые элементы И-НЕ 11 и t5, элементы НЕ 12 и 21, формирователи 13 и 17 импульсов, одновибратор 14 блокировки , RS-триггеры 16 и 18, четырехвходовый элемент И-НЕ 19 и генератор 20 тактовых импульсов, с образованием новьЕх связей между элементами устройства. 2 ил. i СЛ 00

СОЮЗ ССВЕТСНИХ

СОЦИАЛ ИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУЬЛИН (51) 4 Н 03 М 1/50

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР го дел Ам изсБРетений и отнРытий (21) 3?09499/24-21 (22 13.03.84 (46) 07.09.86. Бюл. И 33

",7l) физико-технический институт низких температур АН УССР (72) М.Я. Фенстер (53) 621 398(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

9 255728, кл. Н 03 К 13/20, 1968.

Авторское свидетельство СССР

9 450344, хл. Н 03 К 13/20, 1974 ° (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗ1ЖРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ пГЕНКИ В ПРОЦЕССЕ ВАКУУМНОГО

ИСПАРЕНИЯ BFi!1ÊСТВА (5!) Изобрет".-.í:-;е. относится к измерительной технике, Цель изобретения повышение точности и расширение функ„„SU . 125 208 А1 циональных вазможностей устроиства достигается благодаря тому, что в устройство, содержащее кварцевый резонатор l и измерительный генератор

2, введены цифровой частотомер 3, вычитающий счетчик 4, счетчик 7 толщины, схема 5 сравнения кодов, счетчик

8 скорости, схемы 9 и 10 индикации, схема 6 управления, включающая двухвходовые элементы И-НЕ 11 и 15, элементы НЕ 12 и 2 1, формирователи 13 и

17 импульсов, одновибратор 14 блокировки, RS-триггеры 16 и 18, четырехвходовый элемент И-НЕ 19 и генератор

20 тактовых импульсов, с образованием новых связей между элементами устройства. 2 ил.

1 1256

Изобретение относится к измерительной технике °

Целью изобретения является повышение точности и расширение функциональных возможностей устройства.

На фиг. 1 представлена функциональная схема устройства; на фиг. 2 диаграммы, поясняющие его работу.

Устройство содержит кнарцевый резонатор 1, измерительный генератор 1п

2, цифровой частотомер 3, вычитающий счетчик 4, схему 5 сравнения кодов, схему 6 управления, счетчик 7 толщины, счетчик 8 скорости, первую схему

9 индикации, вторую схему 10 индикации, причем в блок 6 управления входят первый двухвходовый элемент И-НЕ

ff первый элемент НЕ 12, первый формирователь 13 импульсов, одновибратор 14 блокировки, второй двухвхо- 2б довый элемент И-НЕ 15, первый RSтриггер 16, второй формирователь 17 импульсов, второй RS-триггер 18, четырехвходовый элемент И-НЕ 19, гене" ратор 20 тактовых импульсон, второй 25 элемент НЕ 21.

Кварцевый резонатор 1 соединен с измерительным генератором 2, выход которого соединен с цифровым частотомером 3, выходы декад которого сое- 30 динены с установочными входами вычитающего счетчика 4 и с первыми входами схемы 5 сравнения кодов, вторые входы схемы 5 сравнения соединены с кодовыми выходами вычитающего счетчика 4, а выход схемы 5 сравнения — с первым входом схемы 6 управления.Первый выход схемы 6 управления соединен со счетными входами вычитающего счетчика 4, счетчика 7 толщины и счетчика 8 скорости, второй выход схемы 6 управления соединен с входом занесения вычитающего счетчика 4 и входом сброса счетчика 7 толщины, третий выход схемы б управления соединен со сбросовым входом счетчика .8 скорости, четвертый выход схемы б упранления . подключен к входам схем 9 и 10 индикации. Кодовые выходы счетчиков 7 и 8 соединены с входами схем 9 и 10 индикации.

Схема 6 управления содержит вход

"Пуск", соединенный с одним иэ входов первого двухвходового элемента

И-НЕ 11, второй вход которого соединен с управляющим выходом частотомера 3, выход которого соединен с входом первого элемента НЕ 12 и входом пер208 2 ного формирователя 13 импульсов,входом одновибратора 14 блокировки н сбросовым входом счетчика 8 скорости.

Выход первого элемента НЕ 12 соединен с входом второго двухвходового элемента И-НЕ 15, второй вход которого подключен к инверсному ныходу первого RS-триггера 16. Выход второго двухвходового элемента И-НЕ 15 соединен с установочным входом вычитающего счетчика 4, сбросовым входом счетчика 7 толщины и входом второго формироватегя 17 импульсон.

Выход первого формирователя f3 импульсов подключен к установочному входу первого RS-триггера 16 сбросовый вход которого соединен с входом

"Общий сброс" схемы 6 управления и сбросовым входом второго RS-триггера

18. Выход второго формирователя 17 импульсов соединен с установочным входом второго RS-триггера 18 выход ко-! торого подключен к одному из входов четырехвходового элемента И-НЕ 19, к второму входу которого подключен выход схемы 5 сравнения кодов, к третьему входу — выход генератора 20 тактовых импульсов. Выход одновибратора 14 блокировки соединен с четвертым входом четырехвходоного элемента

И-НЕ 19 и второго элемента HE 21. Выход четырехвходового элемента И-НЕ 19 подключен к счетным входам счетчиков

4, 7 и 8, а выход второго элемента

НЕ 21 соединен с входами управления схем 9 и 10 индикации.

Устройство работает следующюю образом.

В элемент И-НЕ 11 схемы 6 управления из цифрового частотомера посту-. пает импульс "Запуск ЦПИ" (цифропечатающего механизма), свидетельствующий о конце измерения н частотомере 3. Время измерения выбирают, кратным 1 с.

Преобразование числа импульсов в значение скорости и толщины пленки производится путем одновременной работы всех счетчиков.

После включения схемы 6 управления из первого импульса частотомера

3 в схеме 6 управления вырабатывается сигнал, который подается на вход

S (занесение) нычитающего счетчика

4. Вычитающий счетчик 4 по этому сигналу иэ схемы 6 управления принимает начальное значение кода частотомера

3, после чего в каждом цикле иэмерез 1256 ния (определяемом следующими импульсами частотомера "Запись ЦПМ") счетчик 4 отслеживает значение кода час-тотомера 3.

Схема 5 сравнения кодов анализиру- 5 ет коды, подходящие с частотомера 3 и вычитающего счетчика 4, и подает разрешающий сигнал в схему б управления на выдачу тактовых импульсов только в том случае, если код час- 10 тотомера 3 меньше кода счетчика 4.

В первом цикле коды частотомера 3 и счетчика 4 всегда равны. При увеличении толщины пленки частота измерительного генератора 2 уменьшается и f5 схема 5 сравнения кодов разрешает из устройства б управления выдачу. тактовых импульсов, которые поступают на счетные входы всех трех счетчиков. Это происходит до тех пор, 20 пока код вычитающего счетчика 4 не станет равным коду частотомера 3.

Счетчик 7 толщины сбрасывается только в начале работы, поэтому в нем фиксируется изменение кода час- 25 тотомера с момента запуска устройства, пропорциональное толщине пленки.

Счетчик 8 скорости сбрасывается с заданным временным интервалом,например, один раз в секунду, поэтому в нем фиксируется изменение кода частотомера, пропорциональное скорости напыления пленки.

Окончанию периода измерения частотомера соответствует сигнал "3aпуск ЦПМ", а накопление импульсов в счетчиках происходит до момента, определяемого схемой сравнения кодов частотомера 3 и счетчика 4 °

Формула изобретения

Устройство для измерения параметров пленки в процессе вакуумного испарения вещества, содержащее кварцевый резонатор, помещенный в зоне осаждения пленки, соединенный с измерительным генератором, о т л и— ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности и расширения функциональных возможностей, в него введены цифровой частотомер, вычитающий счетчик, схема сравнения кодов, счетчик толщины, счетчик скорости, 55 первая схема индикации, вторая схема индикации и схема управления, со держащая первый двухвходовый элемент

208 4

И-НЕ, первый элемент НЕ, первый формирователь импульсов, одновибратор блокировки, второй формирователь импульсов, второй двухвходовый элемент

И-НЕ, первый и второй RS-триггеры, четырехвходовый элемент И-НЕ, генератор тактовых импульсов и второй элемент НЕ, при этом вход "Пуск" схемы управления соединен через первый элемент И-НЕ, первый элемент НЕ и второй элемент И-HE с входом второго фор- мирователя импульсов, являющимся вторым выходом схемы управления, первым выходом которой является выход четырехвходового элемента И-НЕ, первый вход которого является первым входом схемы управления, вторым входом которой является второй вход первого лвухвходового элемента И-НЕ, третий выход схемы управления соединен с входом первого элемента НЕ, входом первого . формирователя импульсов и через одновибратор блокировки с четвертым входом четырехвходового элемента И-НЕ и входом второго элемента НЕ, выход которого является четвертым выходом схемы управления, вход "Общий сброс" которой соединен с входами сброса

1 первого и второго RS-триггеров, инверсный выход первого RS-триггера

> соединен с вторым вхбдом второго двухвходового элемента И-НЕ, установочные входы первого и второго RS-триггеров соединены соответственно с выходами первого и второго формирователей импульсов, прямой выход второro RS-триггера. соединен с вторым вхо-, дом четырехвходового элемента И-НЕ, третий вход которого соединен с выходом генератора тактовых импульсов,при этом к выходу измерительного генератора подключен цифровой частотомер, выходы декад которого соединены с установочными входами вычитающего счетчика и первыми входами схемы сравнения кодов, вторые входы которой соединены с соответствующими выходами декад вычитающего счетчика, а выход схемы сравнения кодов подключен к первому входу схемы сравнения, к второму входу которой подключен управляющий выход частотомера, первый выход схемы управления соединен со счетными входами всех счетчиков, второй выход соединен с входом занесения вычитающего счетчика и входом сброса счетчика толщины, третий выход под$ 3256 08 Ь ключен к входу сброса счетчика .-.ко- кадин, ныхолы .:.. силков скорости и рости, четвертый выход управления под- толщины соедин:: ..:хо;r;;:« . схем инключен к управляющим входам схем инди-. я цч!;

I, У".

&6 „д" Г Х4 —,М »

1 1=

ЬРРЬ Г A > 7.", 8 " 7Ф

/,У, „@

)7;ЖЬ .

f/7 Ã: .о(". е!:.!! ò<".!7, е-род, 3,; ° ° у

1 ецактор:!. 1 .!улла

Е: рр !!ò(1.! С. :. :рч :.

Заказ - !.ä36! 5 7 !,;!)еж Я с По)!:н::««н:.

В1.33И133! Гост,"нр! гневного комитета С(;СЕ но де и л" . -! i>6 ог тек "Й и 0 1 Р оытий

1! 30 35,, !!ослы „ l(- 35, я /П2ci;ëÿ нлб ..„. д. 4/5! роивводственно-!i ç.!!!ãð;!!!!è÷i.;-.ко lip ;,!-!p!.,ятие, г: Ужгоро;.„ул,, 33р. ек гния,