Градуировочная мера для рентгеновских рефлектометров и способ ее изготовления

 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано при контроле рельефа поверхности изделий высших классов шероховатости. Цель изобретения - повьшение точности воспроизведения градуировочной меры и упрошение ее переградуировки . Градуировочная мера с одержит пластину, по меньшей мере , одна грань которой полирована до заданного класса шероховатости, и охранное кольцо. Обработку поверхности грани осуществляют путем нагрева в потоке ультрафиолетового излучения. Градуировочная мера выполнена из монокристалла ниобата лития, полированная грань которого ориентирована по направлению оси с. Температура нагревания составляет 0,15-0,30 температуры плавления по шкапе Кельвина. 2 с.п. ф-лы, 1 табл. С/)

СООЗ СОЕЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (19) (И) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЬЙ НОЧИТЕТ СССР

IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ (21) 3843641/24-25 (22) 10.01.85 (46) 30.09.86 . Бюл. Н - 36 (?1) Всесоюзный научно-исследовательский проектно-конструкторский и технологический институт кабельной промышленности (72) А.Г.Турьянский (53) 62 1,386(088.8) (56) Синайский В.И. и Сиденко В.И.

Рентгеновская рефрактометрия. ПТЭ, 1974, Н- 6, т,5-13.

Авторское свидетельство СССР

Ф 1037067, кл. G 01 В 15/02, 1983.

Хусу А.П. и др. Шероховатость поверхностей, M. Наука, с.24-28.

Агеев В.П. и др. Нагрев металлов наносекундными импульсами излучения

ХеС1-лазера с образованием приповерх-! ностной плазмы.

Квантовая электроника, 1983, т.10, В 7, с.1466-69. (дц 4 С 01 и 23/20, G 01 В !5/04 (54) ГРАДУИРОВОННАЯ NEPA ДЛЯ РЕНТГЕНОВСКИХ РЕФЛЕКТОМЕТРОВ И СПОСОБ ЕЕ

ИЗГОТОВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано при контроле рельефа поверхности изделий высших классов шероховатости. Цель изобретения — повышение точности воспроизведения градуировочной меры и упрощение ее переградуировки. Градуировочная мера содержит пластину, по меньшей мере; одна грань которой полирована до заданного класса шероховатости, и охранное кольцо. Обработку поверхности грани осуществляют путем нагрева в потоке ультрафиолетового излучения. Градуировочная мера выполнена из монокристалла ниобата лития, полированная грань которого ориентирована по направлению оси "с". Температура нагревания составляет 0,15-0,30 температуры плавления по шкале Кельвина.

2 с,п. ф-лы, 1 табл.

1260783

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано при бесконтактном контроле качества обработки поверхности высших классов шероховатости.

Цель изобретения — повышение точности воспроизведения градуировочной меры и упрощении ее переградуировки.

Предлагаемое устройство содержит пластинку, снабженную защитным элементом в виде охранного кольца, по крайней мере одна из граней которой доведена до заданного класса шерохоI ватости,поверхности, Охранное кольцо обеспечивает защиту рабочей поверхно,сти от случайного повреждения.. Мера ,выполнена из монокристалла ниобата лития и ее рабочая грань перпендикулярна кристаллографической оси С.

1 гСвойства используемого материала обеспечивают не только надежную воспроизводимость класса шероховатости поверхности меры, но и возможность ее переградуировки достаточно простыми средствами, и состоящими в нагреве рабочей поверхности потоком ультрафиолетового излучения до температуры 0,15-0,30 Тпл К, где Тпл К— температура плавления ниобата лития.

В результате воздействия ультрафиолетового (УФ) излучения на поверхность монокристалла ниобата лития при указанных условиях облучения происходит монотонное снижение коэффициента зеркального отражения рентгеновских .пучей приблизительно линейно от величины УФ-экспозиции. Наведенные изменения рельефа поверхности и связанные с ними значения коэффициента отражения сохраняются после повторного

Нагрева поверхности градуировочной меры (без УФ-облучения) до 450 К, при экспонировании в потоке рентгеновского излучения с энергией 8 экВ

7 2 и плотностью 10 квант-см в течение 2 ч, при повышении влажности окружающей атмосферы до 90-95% в течение 1 ч. Монотонный характер изменения коэффициента отражения от экспозйции УФ-излучения позволяет получать заданные значения его и связанные с ним значения класса шероховатости с высокой точностью, ограниченной в основном только нестабильностью аппаратуры и статистическими шумами.

Отношепие К/К,%

Tí ITïü

11 образца!

0,1

0,1

20 3 01

4 0,2

5 0,2

6 0,25

7 0,4

30 8

0,4

0,4

Выход за пределы диапазона

35 (0,15-0,30)Тп4 приводит к неоднозначным для серии образцов изменения коэффициента отражения К от момента 1 окончания УФ-облучения до установления температуры монокристалла, равной комнатной.

Формула изобретения

1. Градуировочная мера для рентген8в ких рефлектометров, содержащих пластину, у которой,по меньшей мере, одна грань отполирована до заданного класса шероховатости поверхности, и защитный элемент, о т л и ч а ю—

50 щ а я с я тем, что, с целью упрощения переградуировки, пластина выполнена из монокристалла ниобата лития, цолированная грань которого ориентирована по направлению оси С.

2. Способ изготовления градуировочной меры для рентгеновских рефлектометров, включающий полировку, по крайней мере, одной грани пластиПример. Пластины ниобата лития обрабатывают до требуемой точности и помещают в защитное кольцо.

Облучение образцов производят ртут5 ной лампой ДРШ-1000 в течение 10 мин.

Расстояние фокус лампы — поверхность образца 18 см, Относительные изменения hK/К за 30 мин после окончания

УФ-облучения для образцов (0001)

ЬМЬО, нагретых до различной температуры T„ приведены в таблице.

Составитель Е.Сидохин

Техред М.Коданич Корректор Е.Рошко

Редактор И.Сегляник

Тирах 778 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР. по делам изобретений и открытий

113035» Москва, -35 Раушская наб., д.4/5

Заказ 5220/41

Производственно-полиграфическое предприятие, г.укгород,ул.Проектная,4

3 1260783 4 ны, ее бесконтактный нагрев в пото- произведения меры, используют пласке ультрафиолетового излучения H тину из монокристалла ниобата лития размещение пластины в защитном коль- и нагревают до температуры, составце, отличающийся тем» ляющей О, 15-0,30 температуры плавчто, с целью повышения точности вос- 5 ления по шкале Кельвина.