Термопара и способ ее изготовления

 

Изобретение относится к термометрии , а именно к измерению высоких температур в нейтральных и агрессивных средах. Цель изобретения - повышение надежности и стабильности Метрологических свойств. Слой 2 электроизоляции размещен на всей цилиндрической поверхности внутреннего термоэлектрода 1 за исключением зоны рабочего спая 4. Слой 2 может быть вьшолнен из карбонитрида бора. Внешний электрод 3 получают осаждением поликристаллического слоя карбида с 6 кремния при давлении газовой смеси 20-40 мм рт.ст. и температуре по (Л верхности внутреннего электрода 11001300 С одновременно на слой 2 электроизоляции и участок электрода в зоне 4 рабочего спая до требуемой толщины . 2 с., 2 з.п. ф-лы, 1 ил.

СО1ОЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (59 4

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ

К ABTOPCHOIVIY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР пО ДЕ71АМ ИЗОБРЕТЕНИЙ V ОТНР11ТИй (21) 3798684/24-1 О (22) 23.06.84 (46) 15.10.86. Бюл. I 38 (71) Ивано-Франковский институт нефти и газа (72) П.С.Кислый, О.В.Заверуха, Я.О.Горичок, З.Д.Василечко, В.И.Мыхайлив, Н.М.Торбин, А.И.Курылив, В.И.Сухоребрый, Б.И.Гиль, И.П.Куритник и Б.И.Стадник (53) 536. 532 (088. 8) (56) Авторское свидетельство СССР

В 220563, кл." G 01 К 7/02, 1968.

Самсонов Г.В. Высокотемпературные неметаллические термолары и наконечники. Киев, Наукова думка, 1965, с ° 162.

Геращенко О.А. и др. Тепловые и температурные измерения. Справочник. Киев, Наукова думка, 1984, с. 224.

„„SU„„ I 26403 0 А 1 (54) ТЕРМОПАРА И СПОСОБ EE ИЗГОТОВПЕНИЯ (57) Изобретение относится к термометрии, а именно к измерению высоких температур в нейтральных и агрессивных средах. Цель изобретения — повышение надежности и стабильности метрологических свойств. Слой 2 электроиэоляции размещен на всей цилиндрической поверхности внутреннего термоэлектрода 1 за исключением зоны рабочего сная 4. Слой 2 может быть выполнен из карбонитрида бора. Внешний электрод 3 получают осаждением поликристаллического слоя карбида кремния при давлении газовой смеси

20-40 мм рт.ст. и температуре поверхности внутреннего электрода 11001300 С одновременно на слой 2 электроизоляции и участок электрода в soне 4 рабочего спая до требуемой тол2 с., 2 з.п. ф-лы, 1

1264010

Изобретение относится к термометрии, а именно к измерению Высоких температур в нейтральных и агрессивных средах.

Цель изобретения — повышение надежности и стабильности метрологических свойств

На чертеже схематически представлена термопара.

Термопара включает внутренний термоэлектрод 1, слой электроизоляции

2, внешний термоэлектрод 3. рабочий (горячий ) спай 4.

Термопара работает следующим образом.

Помещают рабочий спай термопары в измеряемую среду, возникающая в результате нагрева термо-ЭДС термопа." ры, по соединительным проводам поступает на прибор контроля термопары. Затем по известной градуировоч- ной зависимости термо-ЭДС от темпе-. ратуры и определяют последнюю.

Предложенный способ изготовления термопары реализуется следующим образом.

На внутренний термоэлектрод, выполненный из графита, наносят слой электроизоляции, например, из карбонитрида бора,, оставляя свободной от изоляции зону рабочего спая. Для подключения соединительного провода к холодному концу электрода оставляют свободным торец или часть цилиндрической поверхности. Затем помещают термоэлектрод с изоляцией в реакционную камеру в межэлек"родное пространство газоразрядного устройства. В камере создают разрежение

5 1О мм рт,ст., ; через. камеру в течение 15-20 мин пропускают чистый водород при давлении 2040 мм рт.ст., после чего включают газовый разряд с напряжением горения

500 В и удельной мощностью разряда г

5 — IО Вт/см и повышают температуру внутреннего электроца до !1ОО— о

1300 С, в течение 5 — 10 мин продолжают пропускать через камеру водород.

Затем в результате термического разложения металлоорганического соединения кремния, например метилтрихлорсилана, подают пары соединения кремния в камеру с водородом,,цоводя соотношение компонентов до 1:1 — l:!О при давлении в камере 20-40 мм рт.ст.. и расходе газовой смеси 1,5-10 л/ч„ При этих .параметрах ведут осаждение кубического карбида кремния из газоВой фазы на слой электроизоляции и участок графитового электрода, свободньй от изоляции в ..-.:оне рабочего спая 4, до получения внешнего электрода требуемой толщины. После окончания процесса осаждения внешнего электрода охлаждают графитовый электрод и при его температуре 200-300 С прекращают подачу водорода и выключают газовый,аэряд °

Формула изобретения

Уермопара, содержащая соединен ные в рабочий сг.-:.й коаксиальнс: расиложенные термоэлек."роды, разделенные

=:лаем электро..:-:аляции, причем внут-i ренний те:моэлектрод выполнен из графита, о т л и ч а ю щ а,я с я тем, что, с целью повышения надежности и стабильности метрологических свойств, слой электроизоляции расположен на всей цилиндрической поверхности внут25 реннего термоэлектрода за исключением зоны рабочего спая, а внешний электрод выполнен из поликристаллического слоя кубического карбида кремния.

2. Термопара по п. I о т л и " ч а ю щ а я с я тем, что слой электроизоляции выполнен иэ карбонитрида бора.

3. Способ изготовления термопаЗ5 ры по пп. и 2, заключающийся В последовательном нанесении на поверхность одного электрода электрической изоляции и материала второго электрода, отличающийся тем, Î ..То поликристаллический слой карбида кремния осаждают одновременно на слой электроиэоляции и на поверхность внутреннего электрода в..зоне рабочего спая терми:еским разложением ме-

45 таллоорганического соединения кремния из неравновесной газовой фазы, содержащей пары металлоорганического соединения кремния и водород в соотношении !: — 1:1О, причем процесс

50 ведут при давлении газовой смеси 2040 мм рт.ст,, расходе смеси 1,5I0 л/ч и температуре поверхности

Внутреннего электрода 1100-1300 С.

4. Способ по п. 3, о т л и ч а юшийся тем, что в качестве соединения Kpeìíèÿ используют метилтри хлорсилан.