Устройство для измерения геометрических параметров пучка лазерного излучения

 

Изобретение относится к измерительной технике, касается устройств измерения геометрических параметров Г пучков лазерного излучения и позволяет повысить точность измерения путем имитационного увеличения измерительной базы устройства при помощи имитатора трассы. Излучение проходит через имитатор 1 , выпoлнeниf lй из двух идентич шх телескопов 2 и 3, расположер1ньгк на одной оси по ходу пучка таким образом, что объектив телескопа 3 обращен в сторону объектива телескопа 2, и попадает па плоскопараллельную пластину 4, где происходит расщепление пучка на два. Затем два отраженных пучка создают интерференционную картину па фотос и пластине 5, на которой картина регистрируется . По расстоянию между полосами интерференционной картины определяется радиус волнового фронта излучения . 1 ил. w с /

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (111 (50 4

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ. (21) 3881839/24-28 (22) 02.04.85 (46) 23.10.86. Бюл. ¹ 39 (72) А.А.Мошенский, Б.А Мошенский и В.Д,Попело (53) 531.717.11 (088.8) (56) Власов Д.В. и др. Метод измерения геометрических параметров лазерных квазигауссовых пучков.-/Квантовая электроника. Т.5 1978. № Il. с.2457-2459.

Джеррард А., Берг Дж.N. Введение в матричную оптику. — М.; Мир, 1978. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ПУЧКА ЛАЗЕРНОГО

ИЗЛУЧЕНИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике, касается устройств измерения геометрических параметров

:пучков лазерного излучения и позволяет повысить точность измерения путем имитационного увеличения измерительной базы устройства при помощи имитатора трассы. Излучение проходит через имитатор 1, выполненный из двух идентичных телескопов 2 и 3, расположенных на одной оси цо холу пучка таким образом, что объектив телескопа 3 обращен в сторону объектива телескопа 2, и попадает на плоскопараллельную пластину 4, где происходит расщепление пучка на два.

Затем два отраженных пучка создают интерференционную картину па фотопластине 5, на которой картина реги- Ж стрируется, По расстоянию между поло- фу сами интерференционной картины определяется радиус волнового фронта из- ( лучения. 1 ил.

Составитель А.Гордеев

Редактор И.333улла Техред Л.Сердюкова Корректор А. Тяско

Заказ 5647/31 Тираж 670 Подписное

ВНИИНИ Государственного комитета СССР о делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Производственно-полиграфическое предприятие,. r.Óæãoðîä, ул. Проектная, 1 126

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения геометрических параметров пучка лазерного излучения.

Цель изобретения — повышение точности измерений путем увеличения измерительной базы устройства без увеличения его реальных габаритов при помощи имитатора трассы распространения пучка.

На чертеже представлена оптическая схема предлагаемого устройства.

Устройство содержит имитатор 1 трассы распространения пучка излучения, расположенный по ходу излучения и выполненный в виде двух идентичных телескопов. 2 и3, установленных на одной оси по ходу пучка с воэможностью измерения длины оптического промежутка между ними„ плоскопараллельную пластину 4, расположенную по ходу пучка за имитатором 1 трассы и

6 установленную под углом 45 к оси пучка, фотопластину 5, расположенную по ходу отраженных от плоскопа- . раллельной пластины 4 пучков излучения в плоскости, перпендикулярной осям этих пучков.

Устройство работает следующим образом.

Исследуемый пучок лазерного излучения проходит имитатор 1 трассы, при помощи которого обеспечивается необходимая длина измерительной базы с( путем изменения длины :оптического промежутка Х между телескопами 2 и 3 в соответствии с соотношением L=I Х, где à — угловое увеличение телескопа 2. Прошедший имитатор 3 пучок попадает на плоскопараллельную пластину 4 и при отражении от ее параллельных граней расщепляется на два пучка

5468 примерно равной интенсивности, оси

-которых параллельны и смещены одна относительно другой на расстояние

h = d(n - 0,5) /, где d u n — тол5 щина и показатель преломления пластины 4 соответственно. Отраженные от пластины 4 пучки направляются на фотопластину 5, с помощью которой регистрируют возникающую в ее плоскости интерференционную картйну в виде эквидистантных полос. По расстоянию между этими полосами 11, определяют радиус волнового фронта Д по формуле

h ), 15 3 где 3 — длина волны лазерного излучения.

Формула изобретения

Устройство для измерения геометрических параметров пучка лазерного излучения, содержащее плоскопарал25 дельную пдастину, расположенную по ходу пучка излучения под углом 45 к оси пучка, фотопластину, расположенную по ходу пучков излучения, отраженных от плоскопараллельной пластины в плоскости, перпендикулярной осям этих пучков, о т л и ч а ю— щ е е с я тем, что., с целью повышения точности измерений, оно снабжено имитатором трассы распространения пучка, расположенным по ходу

З5 пучка перед плоскопараллельной пластиной и выполненным в виде двух иден-. тичных телескопов, установленных на одной оси по ходу пучка с возмож-. нрстью изменении длины оптического

40 промежутка между ними и ориентированных таким образом,что окуляр второго телескона обращен в сторону окуляра первого телескопа,