Регулятор расхода газа

 

Изобретение относится к технике регулирования расхода и может быть использовано для высокоточного дозирования малых количеств газа в вакуумной технике, в аналитической химии в квантовой.технике, в радиоспектроскопии . Целью изобретения является повышение точности и улучшение эксплуатационных характеристик регулятора. Регулятор содержит корпус с входным и выходным каналами, между которыми установлен регулирующий орган, выполненный в виде седла и клапана с эластичным уплотнением, размещенных в обойме из эластичного материала. Полость обоймы соединена с каналом выхода. Клапан жестко соединен с подвижным элементом вибратора , основание которого через стойки связано с корпусом регулятора. При включенном вибраторе возбуждается вибрационное движение клапана в пределах упругости эластичного уплотнения с заданной амплитудой и частотой. Через один-два периода колебаний кла- Q « пана начинается расходное течение га (Л за через регулирующий орган. Величина расхода газа пропорциональна амплитуде колебаний. При большой частоте колебаний ( 100 Гц) клапана в сочетании с малым расходом газа через регулирующий орган обеспечивается повышение точности регулирования дозы газа. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК дц 4 С 05 0 7/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ к втоеСном СвиДКтидьСтвм

ИЬд ИОП,1. А ,;Х

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

flO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3655687/24-24 (22) 26.10.83 (46) 30.10.86. Бюл. У 40 (71) Институт технической механики

АН УССР (72) Н.Ф.Линский и В.Д.Скрябин (53) 621.536(088.8) (56) Физический энциклопедический словарь, т. 3. М.: Советская энциклопедия 1963, с. 363.

Авторское свидетельство СССР

11 947835, кл. G 05 D 7/03, 1982 ° (54) РЕГУЛЯТОР РАСХОДА ГАЗА (57) Изобретение относится к технике регулирования расхода и может быть использовано для высокоточного дозирования малых количеств газа в вакуумной технике, в аналитической химии, в квантовой технике, в радиоспектроскопии. Целью изобретения является повышение точности и улучшение эксплуатационных характеристик регулятора. Регулятор содержит кор„„SU„„1267 70 А 1 пус с входным и выходным каналами, между которыми установлен регулирующий орган, выполненный в виде седла и клапана с эластичным уплотнением, размещенных в обойме из эластичного материала. Полость обоймы соединена с каналом выхода. Клапан жестко соединен с подвижным элементом вибратора, основание которого через стойки связано с корпусом регулятора. При включенном вибраторе возбуждается вибрационное движение клапана в пределах упругости эластичного уплотнения с заданной амплитудой и частотой.

Через один-два периода колебаний клапана начинается расходное течение газа через регулирующий орган. Величина расхода газа пропорциональна амплитуде колебаний. При большой частоте колебаний (100 Гц) клапана в сочетании с малым расходом газа через регулирующий орган обеспечивается повышение точности регулирования дозы газа. 1 ил.

1 l

Изобретение относится к регулированию расхода и может быть использовано для обеспечения высокоточного дозирования малых количеств газа в вакуумной технике, в аналитической химии, в квантовой технике, в радиоспектроскопии..

Цель изобретения — повышение точности и улучшение эксплуатационных характеристик регулятора.

На чертеже изображена конструктивная схема регулятора расхода газа, Регулятор содержит корпус 1 с входным 2 и выходным 3 каналами, между которыми установлен регулирующий орган, выполненный в виде седла 4 и клапана 5 с эластичным уплотнением

6, размещенных в обойме 7 из эластичного материала. Полость обоймы 7 соединена с каналом выхода 3. Клапан

5 жестко соединен через верхнюю 8 и нижнюю 9 части разъемного штока и соединительной муфты 10 с подвижным элементом 11 вибратора 12, Корпус 1 жестко связан через стойки 13 и основание 14 с вибратором 12. Соединительная муфта 10 фиксируется контргайкой 15. Узел настройки выполнен в виде полой втулки 16, жестко соединенной с корпусом 1 через стойки

13 и сопряженной по резьбовому соединению с настроечной гайкой 17. Между настроечной гайкой 17 и клапаном

5 установлена пружина 18. Фиксация настроечной гайки 17 осуществляется контргайкой 19.

Регулятор работает следующим образом.

Перед включением вибратора освобождают верхнюю часть 8 штока от муфты 10 и, вращая гайку 17, перемещают клапан 5 к седлу 4 до создания герметичности в статическом состоянии.

Проверку регулирующего органа на герметичность проводят периодически после определенного времени работы регулятора. После проверки на герметичность регулирующего органа с помощью муфты 10 и контргайки,15 соединяют верхнюю 8 и нижнюю 9 части штока, т.е. обеспечивают жесткое соединение подвижного элемента,ll и клапана 5.

Включают вибратор !2 и возбуждают

267370 2

l0 !

50 вибрационное движение клапана 5 в пределах упругости эластичного уплотнения 6 с заданной амплитудой и частотой. Через один-два периода колебаний клапана. 5 начинается расходное течение газа через регулирующий орган, величина которого пропорциональна амплитуде колебаний. После подачи в вакуумированный объем заданного количества газа выключают вибратор 12.

Величина амплитуды колебаний клапана 5 не должна быть больше глубины погружения седла 4 в уплотнение 6 и зазора между обращенными друг к другу неконтактирующими жесткими поверхностями седла 4 и клапана 5. Выполнение этого условия повышает надежность и долговечность регулирующего органа.

При большой частоте колебаний (> !00 Гц) к.лапана 5 в сочетании с малым расходом газа через регулирующий орган обеспечивается повышение точности регулирования дозы газа, подаваемой в вакуумированный объем.

Формула изобретения

Регулятор расхода газа, содержащий корпус с входным и выходным каналами, между которыми установлен регулирующий орган, соединенный с вибратором, и узел настройки, о т л и— ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности и улучшения эксплуатационных характеристик регулятора, регулирующий орган выполнен в виде седла и клапана с эластичным уплотнением, размещенных в обойме из эластичного материала, полость которой соединена с выходным каналом, при этом клапан соединен с вибратором, жестко связанным с корпусом и обеспечивающим колебания клапана в пределах упругости эластичного уплотнения клапана, а узел настройки выполнен в виде полой втулки, жестко соединенной с корпусом и сопряженной по резьбовому соединению с настроечной гаЦкой, причем между настроечной гайкой и клапаном установлена пружина, обеспечивающая закрытие клапана в исходном состоянии, 1267370

13

12

Составитель Е.Долгий

Техред А.Кравчук

Редактор В.Ковтун

Корректор И.Муска

Тираж 836 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 5773/45

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4