Устройство для подачи абразивной суспензии

 

,.SU. 1279803

А1 дц 4 В 24 В 57/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К A Sl OPCHOMV СВМДЕТЕЛЬСТВУ госудАРстаенный номитет ссс

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНЯТИЙ (2!) 2363446/25-08 (22) 17,05,76 (46) 30,12.86, Бюл.Р 48 (72) А,Yi,Копытин, В.И.Ситников, В,Ф,.Паталов и В.Т,Комиссаров (53) 621,924,1,079(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

152185, кл, В 24 В 57/00, 1961 ° (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДАЧИ АБРАЗИВНОЙ СУСПЕНЗИИ, содержащее емкость с абразивной суспенэией, замкнутую напорную систему трубопроводов и приспособление для отбора фракций суспензии. о т л и ч а ю щ е е с я тем. что, с целью расширения технологических воэможностей путем обеспечения регулирования диапазона отбираемых фракций в процессе работы, при способление для отбора фракций суспензии состоит иэ дозирующего механизма и установленной в нем с возможностью перемещения гибкой трубки, один конец которой соединен с верхней частью системы трубопроводов, при этом устройство снабжено подвижным в всртикальном направлении кронштейном, на ко-ором закреплен дозирующий механизм, 127980

Изобретение относится к машиностроению и может быть исг,:ольэовано на шлифовально-доводачных станках, предназначенных, например. для обработки полупроводниковых материалов с применением абразивной суспенэии.

Известно устройство для подачи абразивной суспенэии,. содержащее ем-. кость с абразивной суспензией, замкнутую напорную систему трубогроводав 10 и приспособление для отбора фракций суспенэии, В известном устройстве невозможно изменять диапазон отбираемых фракций в тех случаях, когда зти изменения необходимо осуществлять непосредственно в процессе рабаты,, Целью изобретения является рас.:ширение технологических возможностей устройства путем обеспечения регулирования,диапазона отбираемых фракций в процессе работы, Указанная цель достигается тем, что в устройстве для подачи абразивной суспенэии, содержащем емкость с абразивной суспензией, замкнутую напорную систему трубопроводов и приспособление для отбора фракций суспенэии, приспособление для отбора фракций суспензии состоит иэ доэирующего механизма и ус" àíîâëåííîé в нем с возможностью перемещения гибкой трубки, один конец которой соединен с верхней частью системы трубопрово= ,цов, при этом устройство снабжено 35 подвижным в вертикальном направлении кронштейном, на котором закреплен дозирующий механизм, На ертеже схематически изображено устройство для подачи абразивной сус- @ пензии, Устройство содержит мешалку 1 (емкость с абразивной суспензией, снабженную приспособлением для пере- 45 мешивания), соединенную с насосом 2 (например, перистальтическим) через замкнутую систему 3 трубопроводов, К верхней части упомянутой системы 3 трубопроводов присоединена отводящая трубка 4„ направленная вверх относительно этой системы. Отводящая трубка 4 фиксируется дозирующим механизмом 5 (прижимным краном, выполненным в виде пружинки), закрепленным на кронштейне 6, взаимодействующим с микрометрическим винтом 7, установленным на стойке 8. Отводящая трубка устана;влена в дозирующем механизме 5

2 с воэможностью перемещения. Ее свободный конец направлен в зону 9 обработки деталей (на полировальник доводочного станка).

Устройство для подачи абразивной суспензии работает следующим образом, Абразивная суспензия иэ мешалки l с помощью насоса 2 транспортируется по замкнутой системе 3 трубопроводов, при этом эа счет избыточного давления она поступает в отводящую трубку ,цозирование абразивной суспенэии или ее расход регулируются дозирующим механизмом 5 путем пережима отводящей трубки 4 (гибкого шланга). диаметр отводящей трубки 4 выбирают с учетом расхода абразивной сус",eíçèè, необходимого для обеспечения технологического процесса обработки деталей.

Так, например, для полировки полупроводниковых пластин внутренний диаметр трубки выбирается равным l 82р2 мм, При подъеме кронштейна 6 микрометрическим винтом 7 в эластичной отводящей трубке 4 увеличивается статическое сопротивление суспенэии, в результате чего понижается скорость потока суспензии при постоянном напоре насоса 2, Частицы абразива, имеющие скорость осаждения ниже скорости упомянутого потока, не подаются на полировальник в зону 9 обработки деталей, оставаясь в замкнутой системе, Таким образом. для крупных и тяжелых абразивных "åðåí сопротивление протекания 1 ожет достичь такой величины, при котсрай зти зерна не проходят через место пережима отводящей трубки 4 доэирующим механизмом 5, В результате этого на полировальник подаются =-ерна более мелкой фракции, что обесгечивает заданную чистоту поверхности обрабатьсваемых пластин.

При опускании кронштейна 6 статическое сопротивление (сопротивление протекания) в отводящей трубке 4 снижается, скорость потока увеличивается и крупные абразивные зерна до"—тягают места пережима отводящей трубки 4, В результате этого повышается съем обрабатываемого материала, Таким образом, поднимая или опуская кронштейн б или изменяя место "-.ережима в отводящей трубке 4 дозирующим механизмом 5, можно регулировать технологический процесс обработки, 1279803

Составитель В,Рычагов

Техред Я.Ходанич

Корректор И.Эрдейк Редактор Н.Швь»дкая

Заказ 7003/13

Тираж 740 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д,4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г,ужгород, у:»,,"»1»îåêòíàÿ,4

Изменяя степень пережима,т,е, уменьшая кли увеличивая диаметр сечения в месте пережима отводящей трубки 4, соответственно уменьшают или увеличивают расход абразивной суспензии.

Необходимо учитывать, что при этом изменяется и состав суспензии, т,е. в ней появляются зерна крупной или мелкой фракции, При уменьшении проходного сечения отводящей трубки 4 в месте ее пережима скорость движения абразивной суспензии в ее вертикальной части уменьшается, Вследствие этого осуществляется отбор более мелкой фракции, И наоборот, при увеличе- .5

15 нии проходного сечения отводящей трубки 4 в месте ее пережима скорость движения абразивной суспензии в ее вертикальной части увеличивается, что благоприятствует выносу более крупных20 фракций суспензии, В это время осуществляется отбор суспензии с более крупными частицами, В тех случаях, когда необходимо изменить расход сус25 пензии при неизменном составе упомянутой ус„е»» »»»», 1 кбкую отводящую трубку 4»»î;»»:»»мак»т на высоту, обес— печиваюшую»»е:. з»енны»» состав суспензии, причем необходимую высоту пере жима подбирают практическкм путем, В предлагаемом устройстве для подачи абразивной суспенэии исклю »ается также застой абразивных микропорошков в отводя»»,ей трубке 4. так как отбор суспенэки производит я из верхней части з 3 трубопроводов, Вследствие этого повышается надежность доэирования и Нс ключается возможность засорения отводящей трубки 4, Использование данного устройства для подачи абразивной суспенз»лк на станках полировки»»»»»л»»фовки обеспечивает возможность отбора заданной фракции абразива иэ суспензкк, исключает воэможность засорения отводящей (дозирующей) трубки, т.е, расширяются технологкческке воз»ож»»ости устройства, » повышаются наде;-:,ность дозкрования и качество обработки,