Стекло для изоляции приборов
Изобретение позволяет снизить температуру размягчения и температуру варки стекла. Согласно изобретению стекло содержит, мас.%: РЬО 22-23,5; , 22-23,5; SiO 9,5- 10,5; ZnO 41-42; 2,. Тем- ;пература размягчения 380-390 С, а температура варки - 1000 С,1 табл.
СОЮЗ СОВЕТСних
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИК
А1 (19) (И) (59 4
Щ Г"
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTMPblTN4 (21) 3902063/29-33 (22) 04.04.85 (46) 23.01.87. Бюл. Ф 3 (71) Институт неорганической и физической химии АН АЗССР (72) С.А.Панах-заде (53) 666 ° 117.9(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
И 381619, кл. С 03 С 3/10, 1971..
Авторское свидетельство СССР
9 326144, кл. С 03 С,З/074, 1970. (54) СТЕКЛО ДЛЯ ИЗОЛЯЦИИ ПРИВОРОВ (57) Изобретение позволяет снизить температуру размягчения и температуру варки стекла. Согласно изобре тению стекло содержит, мас.Е: РЪО
22-23,5; В Оз 22-23,5; SiO 9,510,5; ZnO 41-42; В Оз 2,5-3 5. Температура размягчения 380-390 С, а температура варки — 1000 С, 1 табл.
4957
1 128
Изобретение относится к составам легкоплавких стекол, используемых в микроэлектронике для стабилизации и защиты полупроводниковых приборов.
Целью изобретения является снижение температуры размягчения и температуры варки стекла..
Технология варки стекла следующая.
Состав стекла
Показатели г J з
Компоненты стекла, мас.7
22,65
22,75
22,00
22,00
10,50
42,00
23,50
23,50
Pb0
sion
10,00
9,50
41,60
41,00
Zn0
À1 0э.
Zr 0
Sn0
Вх 0
3,00
2 50
3 50
1000
1000
1000
380
390
385
440+10 440+10 440+10
50
9 10
5 10 7 10
Как видно из таблицы, синтезированные стекла обладают более низкой температурой начала размягчения, что дает возможность проводить термообо работку защитной пленки до 440-450 С, Значения остальных свойств остаются на том же уровне. Кроме того, предо
Температура варки, С
Температура размягчения, С
Температура получения оплавленного покрытия, С
Коэффициент теплового расширения, 10 град
Удельное электрическое сопротивление при 300 С, Ом -см
Шихты стекол готовят из оксидов висмута, цинка, свинца, диоксида кремния и борной кислоты, тщательно перемешивают и варят в платиновых о
5 тиглях при 1000+20 С в течение 1 ч. !
Готовую стекломассу отливают на стальную форму.
В таблице представлены составы предлагаемых стекол и их физикохимические характеристики. лагаемые стекла имеют коэффициент линейного расширения, укладыва55 ющийся в необходимые пределы: (50-52) ° 10 град .
Предлагаемые стекла могут быть использованы в качестве изолирующих слоев при производстве микросхем.
1284957 4 дующем соотношении компонентов, мас.Ж:
Формула изобретения
Составитель Г.Буровцева
Редактор Н.Егорова Техред А.Кравчук Корректор,А.Обручар
Заказ 7552/25 Тираж 428 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул,Проектная, 4
Стекло для изоляции приборов, включающее PbO, В О, Si0, ZnO, о т л и ч a io щ е е с я тем, что, с целью снижения температуры размягчения и температуры варки, оно дополнительно содержит Bi 0> при слеPb0
В,О, SiO
ZnO в1109
22,00-23,50
22,00-23,50
9 ° 50 10э50
41,00-42,00
2,50-3,50
