Способ герметизации цельнометаллического разъемного вакуумного соединения

 

Изобретение относится к урлотнительной технике, в частности к способу герметизации цельнометаллического разъемного вакуумного соединения , относящегося к вакуумной технике и предназначенного для использования в сверхвысоковакуумных клапанах и затворах. Целью изобретения является уменьшение требуемых мощностей автоматических приводных устройств и увеличение ресурса работы соединения. В способе герметизации к уплотнительной паре через упругий элемент прикладашают наименьшее усиление герметизации, определяемое гистерезисом натеканий, подключают к паре жесткий элемент, изменяющий свои линейные размеры при подключении источника энергии к содержащемуся в нем преобразователю немеханической энергии в механическую отключают упругий элемент, включают преобразователь, обеспечивая герметизацию соединения, после чего преобразователь отключают. 3 ил. (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (19)SU(iI) (50 4 F 16 J 15/10 ф 1 $ e"

999 ()

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

К А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3874430/31-08 (22) 19.03.85 (46) 23.02.87. Бюл. М- 7 (71) Московский институт электронного машиностроения (72) В.Б.Батраков и Б.Г.Львов (53) 62-762(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 1006843, кл. Р 16 К 51/02, 1983. (54) СНОС )Б ГЕРМЕТИЗАЦИИ ЦЕЛЬНОМЕТАЛЛИЧЕСКОГО РАЗЪЕМНОГО ВАКУУМНОГО

СОЕДИНЕНИЯ (57) Изобретение относится к уплотнительной технике, в частности к способу герметизации цельнометаллического разъемного вакуумного соединения, относящегося к вакуумной технике и предназначенного для использования в сверхвысоковакуумных клапанах и затворах. Целью изобретения является уменьшение требуемых мощностей автоматических приводных устройств и увеличение ресурса работы соединения. В способе герметизации к уплотнительной паре через упругий элемент прикладывают наименьшее усиление герметизации, определяемое

"гистерезисом" натеканий, подключают к паре жесткий элемент, изменяющий свои линейные размеры при подключении источника энергии к содержащемуся в нем преобразователю немеханической энергии в механическую отключают упругий элемент, включают преобразователь, обеспечивая герметизацию соединения, после чего преобразователь отключают. 3 ил.

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к способам многократно воспроизводимой герметизации сверхвысоковакуумных цельнометаллических уплотнительных пар, и может быть использовано в вакуумных клапанах и затворах.

Цель изобретения — повышение ресурса работы соединения и уменьшение мощности внешнего привода при увеличении быстродействия за счет уменьшения усилия герметизации.

На фиг, 1 показана зависимость натекания через уплотнительную пару от прикладываемой нагрузки ("гистерезис" натекания) на фиг. 2 — конструктивная схема связи элементов разъемного соединения при предварительном уплотнении; на фиг. 3— то же, при герметизации.

Герметизацию разъемного вакуумного соединения осуществляют следующим образом.

Один из элементов уплотнительной пары — диск 1 с уплотнителем, на-. пример, из меди в сверхвысоковакуумном клапане или затворе подводят с помощью автоматического привода к седлу 2, выполненному, например, из нержавеющей стали, и через упругий элемент 3 уплотняют наименьшим усилием Р„, сохраняющим задан - ное натекание через соединение после его герметизации (явление гистерезиса" натеканий). Усилие P„, при котором сохраняется допустимое натекание через уплотнение после его герметизации, составляет 1/3 — 1/4 часть от необходимого для достижения требуемого натекания усилия герметизации Р, . Усилия Р„ и Р„ зависят от деформационной схемы уплотнения, геометрии уплотнительной пары и ее материалов. Наименьшее усилие Р при прямом цикле уплотнения не обеспечивает герметизации уплотнительной пары, так как при этом не достигается требуемая величина натекания

Q через контакт уплотнительной пары.

Поэтому после его достижения к уплотнительной паре подводят жесткий элемент 4, содержащий преобразователь 5 энергии, например пьезоэлек91772 2 трический, и образующий жесткое замыкание между парой и внешним приводом (не показан), После этого включают преобразователь 5, который, расширяясь при подаче энергии от источника питания, воздействует на уплотнительную пару, создавая вследствие жесткого замыкания между парой и внешним приводом значительное уси10 лие герметизации P гарантирующее заданное натекание через соединение, после чего преобразователь 5 отключают.

После отключения преобразователя усилие Р„ уменьшается до усилия Р„, однако при этом вследствие "гистерезиса" натекания герметизация не нарушается.

Разгерметизация вакуумного .соединения осуществляется механическим отводом одного из элементов уплотнительной пары.

Формула изобретения

Способ герметизации цельнометаллического разъемного вакуумного соединения, заключающийся в механическом соединении элементов уплотнительной пары и сжатии их внешним приводом до герметизации с последующей частичной . разгрузкой, отличающийся тем, что, с целью повышения ресурса

35 работы соединения и уменьшения мощности внешнего привода при увеличении быстродействия, к уплотнительной паре прикладывают внешним приводом усилие уплотнения, равное наименьшему

40 усилию, при котором сохраняется заданное натекание через соединение после его герметизации, затем подводят к паре к жестким замыканием между ней и внешним приводом элемент т

45 изменяющий свои линейные размеры при подключения источника энергии к содержащемуся в нем преобразователю немеханической энергии в механическую, включают преобразователь

50 и создают усилие на уплотнительную пару, гарантирующее заданное натекание через соединение, после чего преобразователь отключают.

1291772

Щиг1

Составитель Г. Щуренко

Редактор О. Юрковецкая Техред Л.Сердюкова

Корректор Н ° Король

Заказ 218/37 Тирах 812

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35 Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4