Способ изготовления полупроводниковых термосопротивлений
.% !343О7
Класс 21с, 55о, 1:)7r::0
3 с,; г (I
А. иоты
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ )1 дц дрСКОМ СВИДЕ1ЕЛЬСТ У! ((>дписна» яру)>па ЛР 91
T. Н. Егорова, Е. В. Курлина и И. Т. Шефтель
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ
ТЕРМОСОПРОТИВЛ ЕНИЙ.3я)(и, I(H() )6 !13с24 fl I(()A(>IT((fl();i(. If>
С посоо из> oTOI31«п ив Ilo 1vIIPoi30QIIII>(oBJ)tx 1(.Рмосоп(Зотин ч(. H !! и и(— гем оожига смеси окисей или гидратных соедин«ний титана и друго (> мсталла при температуре 1450 — 1550, 0 тл и ч а ю (ци и с я тем, что, с целью обесп«чения высокой стабильности при JI08»1111eHHtix темперятураХ В ПрЕдЕЛаХ дО 600, В КаЧЕСтВЕ ВтОрОгго КОМП(ИП Нта Прин II)IJ(>T OVtt«ii или и!дрятнос соединение кобальта, )! 88cTli0 tI3I 0ToBJI8HIJ(I10 lh li1)oI30+HJIJ(o8blx 1«РмосollPÎTtll3,1(. нпй
-!утем обжига при температуре 300-- 1650" смеси окисей пли гпдрятных
«()единений титана с цинком, кадмием или оериллием.
Предлагается, с целью получения термосопротивл«HHII, <>тличяюцихся высокой стабильностью при повышенных температурах в цр«де.!ах до 600, использовать смесь окисей цли J JIJTpaTJI»ix соединений тцгяна и кс>бальта, цодвергасму>о обжигу JipH темпер ITyp«!450 — 1550 .
Кобальто-титановы«термосопротивл«ния целесообрязнс> изготов.!ять в виде миниатюрных бусинок с платинов t>III выводами. Одной и 3 (>сновных операций техно))огического процссса является обжиг этих мсинок, который проводится при температуре 1450 — -1550 в зависимости
<>т состава материала, Технологически наиболес удооны сопротнвленил, 8 которых молекулярное отношени«000: T(0> составляет 1 или 0.5.
Эти сопротивления обжигаются при температур«1450"-, прп которой материал оплавлястся и прочно спекастся с платиновыми выводами. Г10«ле основного обжига бусинки подвергаются дополнительному окпслс—
«HJo путем прогрева па воздухе прп (3i00 в течение двух !асов с целью перс водя всего титана в ч«т>)!рехв(>л«нт!30(состоянис
