Графитовый тигель для получения монокристаллов карбида кремния

Авторы патента:

Шашков Ю.М.

Шушлебина Н.Я.

C23C16/30 - осаждение соединений, смесей или твердых растворов, например боридов, карбидов, нитридов

М136564

Класс 40Ь, 21

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная аруппа Л6 161

Ю. М. Шашков и H. Я. Шушлебина

ГРАФИТОВЫЙ ТИГЕЛЬ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ

КАРБИДА КРЕМНИЯ

Заявлено 16 февраля 1960 г. за М 654833, 22 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Б оллетене изобретенп1Ь> Ле 5 за 196| г.

Осуществление способа получения монокристаллов карбидов кремния кристаллизацией из расплава кремния затрудняется отсутствием подходящего материала тигля для расплавления кремния. Кварцевые тигли при перегреве, необходимом для выращивания монокристаллоз карбида кремния, размягчаются, что вызывает выбросы кремния; тигли даже из графита высокой плотности пропускают кремний.

Описываемый способ подготовки графитового тигля позволяет использовать последний для выращивания монокристаллов карбида кремния. Сущность способа заключается в том, что графитовый ти;ель подвергают нагреву до 1000 вЂ” 1200 в атмосфере предельных углеводородов, например в атмосфере гептана, в результате чего поверхность тигля и внутри и снаружи покрывается пироуглеродом, что повышает стойкость тигля.

Предмет изобретения

Графитовый тигель для получен ия монокристаллов карбида кремния путем выращивания из расплава кремния, î T.ë и ч а ю щ и и ся тем, что, с целью повышения стойкости тигля, его подвергают нагреву при

1000 вЂ” 1200 в атмосфере предельных углеводородов, например в гепта не.

Изобретение относится к режущему инструменту с алюмоксидным покрытием для механической обработки металлов со снятием стружки

Тело из цементированного карбида с покрытием и способ его изготовления // 2131328

Изобретение относится к созданию инструмента из цементированного карбида с износостойким покрытием, полученным осаждением из газовой фазы, который используется в металлообработке с образованием стружки

Режущий инструмент с окисным покрытием и способ его нанесения // 2131330

Пластина режущего инструмента и способ ее изготовления // 2173241

Изобретение относится к области порошковой металлургии, в частности к режущим инструментам, применяемым при токарной обработке, фрезеровании, сверлении и др

Способ получения поликристаллического сульфида цинка // 2221906

Изобретение относится к области ИК-оптики и касается разработки способа получения монолитных образцов поликристаллического сульфида цинка, используемых в оптике видимого и ИК-излучения в качестве материала для конструкционных оптических элементов

Электротехническая текстурованная листовая сталь с электроизоляционным покрытием и способ получения электротехнической текстурованной листовой стали // 2288297

Изобретение относится к области металлургии, а именно к электротехническим текстурованным листовым сталям

Устройство для нанесения тонких пленок полупроводников и диэлектриков // 2331717

Изобретение относится к области полупроводниковой нанотехнологии, к области тонкопленочного материаловедения, а именно к устройствам для нанесения тонких пленок и диэлектриков

Способ получения композиционного слоистого материала на основе твердого сплава // 2064526

Изобретение относится к области металлургии, к способам изготовления композиционных твердосплавных слоистых материалов

Способ нанесения комбинированных pvd/cvd/pvd покрытий на режущий твердосплавный инструмент // 2468124

Изобретение относится к области упрочнения режущего твердосплавного инструмента и может быть использовано в машиностроении, в частности в технологии металлообработки

Способ нанесения покрытия, содержащего оксид алюминия и карбид вольфрама // 1731763