Способ изготовления сегнетокерамической мишени
Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме путем ионного распыления мишеней. Цель изобретения повышение долговечности мишени достигается путем равномерной обработки участков материала мишени током в процессе ее изготовления. Для этого пропускают ток поочередно через участки металлизации, что позволяет устранить неоднородность в структуре керамики. По окончании обработки металлизации удаляют, например, химическим травлением или распылением в разряде на заслонку. Обработка мишени по частям позволяет получить более однородную проводимость в области всей распыляемой зоны, что приводит к повышению долговечности. В мишенях, изготовленных по данному способу, дуговые разряды начинают появляться только после 230-250 ч распыления в магнетронной системе, т.е. в 3 раза позже, чем в способе-прототипе.
Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме путем ионного распыления мишеней, а именно к способам изготовления мишеней. Целью изобретения является повышение долговечности мишени путем равномерной обработки участков материала мишени током в процессе ее изготовления. Пропускание тока поочередно через участки металлизации на мишени позволяет устранить неоднородности в структуре керамики. Локальные участки, в свою очередь, способствуют образованию дуговых разрядов, приводящих к пробою мишени, что снижает ее долговечность. Обработка объема мишени по частям позволяет получить более однородную проводимость в области всей распыляемой зоны, что приводит к повышению долговечности. П р и м е р. Проводили изготовление сегнетокерамической мишени из керамического титаната бария. Порошок титаната бария с предварительно добавленной связкой (поливиниловый спирт) формовали при давлении 49 
106 Па. Отформованную заготовку обжигали при температуре однократного спекания керамики титаната бария 1672 К в течение 2 ч. Обожженную заготовку дробили прессом, а затем дальнейшее измельчение проводили в агатовой мельнице. Из полученного порошка повторно формовали заготовку мишени размером 80 х 40 х 10 мм и обжигали пpи температуре 1533 К в течение 2 ч. Затем на всю распыляемую поверхность мишени наносили, например, через маску металлические (например, никелевые) электроды в виде секторов с дугой, не превышающей 10 мм. Превышение этого размера приводило к повышению неоднородности обработки объема мишени. После этого мишень устанавливали в вакуумной камере на катодный пьедестал, прогревали до 623-673 К, что обеспечивало электропроводность материала мишени, и поочередно пропускали через сектора от отдельных источников питания ток плотностью 83 мА/см2 в течение 9-12 ч в вакууме 6,65 Па. По окончании обработки металлизацию удаляли, например, химическим травлением или распылением в разряде на заслонку. Мишень была готова к использованию. В мишенях, изготовленных по данному способу, дуговые разряды начинают появляться только после 230-250 ч распыления в магнетронной системе, т.е. в 3 раза позже, чем в способе-прототипе.
Формула изобретения
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕГНЕТОКЕРАМИЧЕСКОЙ МИШЕНИ, включающий формовку материала мишени, обжиг, измельчение и повторную формовку с обжигом, обработку материала мишени в вакууме путем пропускания через него тока, отличающийся тем, что, с целью повышения долговечности мишени, перед обработкой материала мишени в вакууме проводят селективную металлизацию поверхности мишени, а пропускание тока осуществляют поочередно через участки металлизации с последующим их удалением.
