Проекционный объектив с увеличением - 1/5 @

 

Изобретение может быть использовано в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования.Цель изобретения - увеличение апертуры и улучшение коррекции аберраций. В объективе положительный мениск 4 обращен выпуклостью к плоскости предмета. На расстоянии 0,08 фокусного расстояния объектива от склеенных положительного 6 и отрицательного 7 менисков размещен отрицательный мениск 8, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, за которым на расстоянии 0,19 фокусного расстояния объектива установлен отрицательный мениск 9. Диафрагма удалена от шестого компонента на 0,058 фокусного расстояния объектива. Объектив ахроматизован и имеет апертуру 0,30, поле зрения 2у 20 мм. 2 ил. J 56189101112131 njjOCHQcmb азобра. WGHUM со о со со --J го fPaz.l

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (50 4 С 02 В 13/24

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Cff0Cfl7b едметод

Раг./ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3956786/24-10 (22) 27.08.85 (46) 15.04.87. Бюл. М- 14 (72) С.С. Черневич, И.Ф. Гуревич и Н.П. Сачок (53) 535.824.2 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 885953, кл. G 02 В 13/24, 1980.

Авторское свидетельство СССР

N 1195319, 1984. (54) ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ С УВЕЛИЧЕНИЕМ вЂ” 1/5" (57) Изобретение может быть использовано в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования. Цель изобретения — увеличение апертуры и

„„SU,» 1303972 А1 улучшение коррекции аберраций. В объективе полОжительный мениск 4 обращен выпуклостью к плоскости предмета.

На расстоянии 0,08 фокусного расстояния объектива от склеенных положительного 6 и отрицательного 7 менисков размещен отрицательный мениск 8, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, за которым на расстоянии

О, 19 фокусного расстояния объектива установлен отрицательный мениск 9.

Диафрагма удалена от шестого компонента на 0,058 фокусного расстояния объектива. Объектив ахроматизован и имеет апертуру 0,30, поле зрения

2у = 20 мм. 2 ил.

ПлРС®с щ

lD0ifpQьЖВ//йй

Ъ

/ /

/ Ъ

/ /

/

1303972

Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования для изготовления полупроводниковых приборов.

Цель изобретения - увеличение апертуры и улучшение коррекции аберраций для спектрального диапазона

404,6 + 5 нм.

На фиг.1 приведена оптическая схема объектива, а на фиг.2 — частотно-контрастные характеристики объектива.

Объектив состоит из четырнадцати линз, собранных в одиннадцать компонентов (фиг.1), первый из которых— отрицательный мениск 1, обращенный выпуклостью к плоскости предмета,второй — отрицательный мениск 2, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, третий — двояковыпуклая линза

3, четвертый — положительный мениск

4, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, пятый — положительный

25 мениск 5, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, шестой — отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета и склеенный из положительного 6 и отри-. цательного 7 менисков. 3а шестым ком- 30 понентом расположена диафрагма на расстоянии от него, равном 0,058 фокусного расстояния объектива. Седьмой компонент — отрицательный мениск 8, обращенный выпуклостью к плоскости 35 предмета, восьмой — отрицательный ме.ниск 9, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, девятый — положительный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета и 40 склеенный из двояковогнутой 10 и двояковыпуклой 11 линз, десятый— двояковыпуклая линза 12, одиннадцатый — положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета 45 и склеенный из положительного 13 и отрицательного 14 менисков.

Объектив ахроматизован и имеет высокую степень коррекции аберраций для h = 404,6 5 нм. Данный объектив

r имеет увеличение — 1/5, апертуру

0,30, поле зрения 2у = 20 мм, фокусI ное расстояние f = 118,67 мм.

Формула изобретения

Проекционный обьектив с увеличением — 1/5, включающий девять компо-, нентов и диафрагму, первый и второй из которых — отрицательные мениски, обращенные выпуклостью к плоскости предмета, третий — двояковыпуклая линза, четвертый — положительная линза, пятый — положительный мениск,обращенный выпуклостью к плоскости предмета, шестой — отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, склеенный из положительного и отрицательного менисков, седьмой — мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, склеенный из двояковогнутой и двояковыпуклой линз, восьмой — двояковыпуклая линза, а девятый — положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью увеличения апертуры и улучшения коррекции аберраций, за шестым компонентом на расстоянии, равном 0,080 фокусного расстояния объектива, введен отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, за которым на расстоянии, равном 0,19 фокусного расстояния объектива, введен отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, причем четвертый компонент выполнен в виде мениска, обращенного выпуклостью к плоскости прецмета, седьмой компонент — положительный, а диафрагма расположена за шестым компонентом на расстоянии, равном 0,058 фокусного расстояния объектива.

1303972 ъ (, съ

Редактор М. Петрова

Заказ 1307/47

Производственно-полиграфическое предприятие г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Составитель В. Архипов

Техред И.Попович Корректор М, Демчик

Тираж 522 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

М 1 (g

Ь

lg фо

% ь з М ; Ъ