Способ получения пленок твердых растворов и устройство для его осуществления

 

1. Способ получения пленок твердых растворов, включающий напыление на подложку из молекулярного пучка элементов твердого состава, образуемого при их нагреве в источниках, в сверхвысоком вакууме, отличающийся тем, что, с целью получения пленок с заданным профилем химического состава по толщине, на поверхность растущей пленки направляют монохроматический электронный пучок с энергией, в 1,5-3 раза превышающей энергию возбуждения характеристического рентгеновского излучения наиболее тяжелого химического элемента твердого раствора, под углом к поверхности подложки 1-5^o, регистрируют возбуждаемый в поверхностном слое пленки спектр рентгеновского излучения, сравнивают отношение интенсивностей характеристических линий элементов с заданными величинами и корректируют температуры испарителей.

2. Устройство для получения пленок твердых растворов, включающее вакуумную камеру с системой испарителей для элементов твердого раствора, манипулятор для закрепления подложки, снабженный нагревателем, электронную пушку и управляющую ЭВМ, выход которой подключен к входу системы управления температурой испарителей и подложки, отличающееся тем, что, с целью получения пленок с заданным профилем химического состава по толщине, устройство снабжено системой регистрации рентгеновского излучения растущей пленки, для вывода которого камера снабжена окном из бериллиевой фольги толщиной 10-100 мкм, выход системы подключен к входу ЭВМ, а электронная пушка установлена так, что ее оптическая ось пересекает поверхность пленки под углом 1-5^o.