Уплотнительный узел сверхвысоковакуумного клапана

 

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для использования в клапанных цельнометаллических соединениях. Целью изобретения является повышение надежности и быстродействия при одновременной возможности автоматического регулирования натекания через контакт уплот- . не«ия за счет электропластического эффекта . Предложенное устройство содержит запорный диск 1, седло 2 и прокладку 4, размещенную между ними, причем уплотнительные поверхности диска 1 и седла 2 выполнены из электроизолирующего материала 3, прокладка 4 соединена в диаметрально противоположных точках с электродами 5, п одключенными к внешнему источнику импульсного тока. Подобное выполнение устройства позволяет резко снизить сопротивление материала прокладки пластическому деформированию и управлять этим процессом, что обеспечивает достижение поставленных целей. 1 з.п. ф-лы, 3 ил. С/) Ю N5 Фиг.1

СОЮЗ COBE ГСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) А1 (51) 4 F 16:K 51/02 49/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ДBTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Фиг.!

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3950365/31-08 (22) 06.09.85 (46) 23.05.87. Бюл. № 19 (71) Московский институт электронного машиностроения (72) Б.Г.Львов (53) 621.646(088 ° 8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 905569, кл. F 16 К 49/00.

Рот А. Вакуумные уплотнения.

M. Энергия, 1971, с. 349, с.6-29.

Спицын В.И., Троицкий О.А.

Электропластическая деформация металлов. — M. Наука, 1985, с. 5-31. (54) УПЛОТНИТЕЛЬНЫЙ УЗЕЛ СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНОГО КЛАПАНА (57) Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для использования в клапанных цельнометаллических соединениях. Целью изобретения является повышение надежности и быстродействия при одновременной возможности автоматического регулирования натекания через контакт уплотнения за счет электропластического эффекта. Предложенное устройство содержит запорный диск 1, седло 2 и прокладку 4, размещенную между ними, причем уплотнительные поверхности диска 1 и седла 2 выполнены из электроизолирующего материала 3, прокладка 4 соединена в диаметрально противоположных точках с электродами 5, подключенными к внешнему источнику импульсного тока. Подобное выполнение устройства позволяет резко снизить сопротивление материала прокладки пластическому деформированию и управлять этим процессом, что обеспечивает достижение поставленных целей. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.

1 i 31229

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в ходится в диапазоне 0,1-100 Гц, что определяет скорость деформирования пластичного уплотнителя медного клапана менее 1 мм/с (нижний предел час. тоты повторения обусловлен тем, что герметизация может осуществляться в результате действия одиночного импульса, верхний предел обусловлен тем, что для эффективного действия электропластического эффекта к приходу каждого из последующих импульсов должно быть обеспечено накопление неравновесных групп дислокаций).

Вследствие электропластического эффекта, в основе которого лежит электрон-дислокационное взаимодействие, приводящее к срыву дислокаций с препятствий и к увлечению их движущимися электронами проводимости, существенно, на десятки и сотни процентов, понижается сопротивление материала прокладки пластическому деформированию. В результате герметизация уплотнительного стыка, заключающаяся в заполнении пластически деформированным металлом прокладки 4 микроканалов, образованных микронеровностями уп;".отняемых -поверхностей, происходит при усилии Р, значительно меньшем, чем при известных способах, при этом устраняются недостатки, связанные с нагревом уплотнителя при закрытии и открытии клапана °

Так как каждый из импульсов тока вызывает элементарную пластическую деформацию, то управляя частотой следования импульсов или их амплитудой и длительностью, регулируют натекание через уплотнительный контакт клапанного соединения, что упрощает эксплуатацию клапана. формула изобретения уплотняющих узлах сверхвысоковакуумной коммутационной аппаратуры.

Целью изобретения является повышение надежности работы и быстродействия при одновременной возможности автоматического регулирования натекания через контакт уплотнения за счет злектропластического эффекта.

Применение данного уплотнительного узла позволяет повысить надежность в 1,5-2 раза, увеличить быстродействие в 10-100 раз и упростить 1 эксплуатацию клапана.

На фиг. 1 показан уплотнительный узел сверхвысоковакуумного.клапана; на фиг, 2 — разрез А-Л на фиг. 1; на фиг. 3 — вариант уплотнительного уз- Zp ла сверхвысоковакуумного клапана.

Устройство состоит из запорного диска 1 и седла 2 с электроизолирующими покрытиями 3, например,, из алюмосиликатных стекол. На седле 2 раз- 25 мещена прокладка 4 из пластичного токопроводящего металла, например из меди, которая контактирует в диаметрально противоположных точках с электродами 5, соединенными электрическими цепями с источником 6 импульсного тока (фиг. 2), расположенным вне вакуумного клапана.

Прокладка 4 и электроды 5 (фиг.3) выполнены в виде металлической плен- ки, например, из золота или меди, нанесеннной на электроизолирующее покрытие 3. Уплотнительная поверхность диска 1 выполнена из нержавеющей стали 7 и изолирована от основания диска 1 покрытием 3.

При герметизации уплотнительного стыка (диск 1 — прокладка 4) внешним приводом (не показан) развивается усилие Р, которое уплотняет стык разь- 4 емного соединения клапана. При этом на прокладку 4 подаются импульсы тока плотностью 10 — 10 А/мм (при

3 Ф плотности тока, меньшей 10 А/мм, действие электропластического эффек50 та незначительно, а плотность тока больше 10 А/мм трудно реализуема

4 генератором импульсного тока) и длительностью 10 -10 с (при длитель-4 ности импульса больше 10 с может возникнуть разогрев металла, а дли-6 тельность импульса меньше 10 трудно реализуема генератором импульса).

Частота повторения импульсов тока на1. Уплотнительный узел сверхвысоковакуумного клапана, содержащий запорный диск и седло с уплотнительными поверхностями, прокладку из токопроводящего материала, размещенную между ними и соединенную с электродами, подключенными к внешнему источнику, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности и быстродействия, уплотнительные поверхности диска и седла выполнены из электроизолирующего материала, а прокладка выполнена из металла с низким удельным электрическим сопротивлением и непосредственно соединена 131

2294 пульсного тока.

А-A

Составитель Т.Г1аксимкина

Редактор И.Николайчук Техред Н.Глущенко Корректор А.Тяско

Заказ 1952/34 Тираж 812 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г.Ужгород, ул.Проектная, 4 с электродами в диаметрально противоположных точках, в качестве внешнего источника использован источник им4

2.Узелпоп.1,отличаюшийся тем, что уплотнительные поверхности диска и седла покрыты слоем металла.