Устройство для контроля шероховатости поверхности

 

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - повышение точности контроля за счет уменьшения влияния полупрозрачной пластины (ПП) на величину диффузно отраженного излучения (ОН). Устройство содержит источник 1 света, колли- , мирующую линзу 2, соосно расположенный с ней первый цилиндрический отражатель (ЦО) 7 с отверстиями 5 и 6, за которыми расположены соответственно фотоприемник (Ф) 3 сравнения и Ф 4 для регистрации зеркально ОИ, расположенный коаксиально с первым второй ЦО 12, в котором расположен источник 1 света, ПП 9, закрепленную на втором ЦО, Ф 11 для регистрации диффузно ОИ, рассеиватель 13. Кроме того, устройство снабжено фокусирующей линзой 14, установленной во втором ЦО 12. Зеркальная составлякмцая ОИ от контролируемой поверхности 15 поверхностью 10 ПП 9 направляется на Ф 4 для регистрации зеркально ОИ, диффузная составляющая ОИ, многократно отразившись от поверхностей первого 7 и второго 12 ЦО, почти вся (за исключением части ее, попадающей в отверстия 5 и 6 и на ПП 9, размеры которой соизмеримы с размером источника 1 света ) принимается Ф 11. 1 з.п. ф-лы, 1 ил. Ф (Л со го со оо о

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (19) . (11) (51)4 G 01 В 11/30

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

15, ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

Н ДBTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4000647/24-28 (22) 02.01.86 (46) 23.05.87. Бюл. Р 19 (71) Пензенский филиал Всесоюзного научно-исследовательского технологического института приборостроения (72) А.А. Климов, Н.И. Давыдов, M.Â. Иоффе и В.П. Гасан (53) 531.715.27(088.8) (56) А look at surface finish. — American Machinist, 1969, 1(- 18, р. 11-116.

Авторское свидетельство СССР

1(- 868348, кл. С 01 В 11/30, 21.01.80. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ (57) Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения— повышение точности контроля за счет уменьшения влияния полупрозрачной пластины (ПП) на величину диффузно отраженного излучения (ОИ). Устройство содержит источник 1 света, коллимирующую линзу 2, соосно расположенный с ней первый цилиндрический отражатель (ЦО) 7 с отверстиями 5 и 6, за которыми расположены соответственно фотоприемник (Ф) 3 сравнения и Ф 4 для регистрации зеркально ОИ, расположенный коаксиально с первым второй

U0 12, в котором расположен источник

1 света, ПП 9, закрепленную на втором ЦО, Ф 11 для регистрации диффузно ОИ, рассеиватель 13. Кроме того, устройство снабжено фокусирующей линзой 14, установленной во втором ЦО 12.

Зеркальная составляющая ОИ от контролируемой поверхности 15 поверхностью

10 ПП 9 направляется на Ф 4 для регистрации зеркально ОИ, диффузная составляющая ОИ, многократно отразившись от поверхностей первого 7 и второго 12 ЦО, почти вся (за исключением части ее, попадающей в отверстия

5 и 6 и на ПП 9, размеры которой соизмеримы с размером источника 1 света) принимается Ф 11. 1 s.ï. ф-лы, 1 ил.

1 131

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для контроля шероховатости поверхности.

Цель изобретения вЂ, повышение точ,ности контроля за счет уменьшения влияния полупрозрачной пластины на величину диффузно отраженного излучения.

На чертеже. изображена принципиальная схема устройства для контроля шероховатости поверхности.

Устройство содержит источник 1 света, коллимирующую линзу 2, фотаприемник 3 сравнения и фотоприемник 4 регистрации зеркально отраженного излучения, расположенные соответственно за первым и вторым отверстиями 5 и 6 в первом цилиндрическом отражателе 7, ось которого совпадает с оптической осью коллимирующей линзы 2, причем центр первого отверстия 5 находится на оси, пересекающей оптическую ось колпимирующей линзы 2 на поверхности

8 полупрозрачной пластины 9 со стороны источника 1 света, центр второго отверстия 6 находи гся на оси, пересекающей оптическую ось коллимирующей линзы 2 на поверхности 10 полупрозрачной пластины 9 со стороны коллимирующей линзы 2, фотоприемник 11 для регистрации диффузно отраженного излучения, расположенный на оптической оси коллимирующей линзы 2 за источником 1 света, установленным во втором цилиндрическом отражателе 12, . на котором под углом (например, 45 ) закреплена полупрозрачная пластина

9 и который расположен коаксиально с первым цилиндрическим отражателем 7, рассеиватель 13 для обеспечения равноме1>но! о расг>ределения !!ото!"." н фотоприемнике 1 1, блок обрабо гки сигналов с фотоприемников 3, 4 и 11 (не показ а.!(), 1(роме того, устройство снабжено установленной но втором ц!!х!индрическом отражателе 12 фокусирующей линзой 14, оптическа>! ось которой совпадает с осью, проходящей через центр первого отверстия 5.

Устройство работает следующим образо..!, Излучение, посылаемое источником

1 света, попадает на поверхность 8 полупро=-:рачной пластины 9 и раздваивается. Отраженный пучок фокусирующей линзой 14 собирается на фотопри.емнике ". Так как задний фокус фоку238О 2

40 света и коллимирующую линзу-, два ци45

5

30 сирующей линзы 14 находится на образующей первого цилиндрического отражателя 7, то размер первого отверстия 5 мал, а величина его определяется диаметром пятна сфокусированного луча источника 1 света.. Прошедший пучок коллимирующей линзой 2 проецируется на контролируемую поверхность

15. Источник 1 света расположен в фокальной плоскости колллимирующей линзы 2, поэтому освещение контролируемой поверхности 15 происходит параллельным пучком по нормали к ней.

Отраженное от поверхности 15 излучение делится на две составляющие: зеркальную и диффузную. Зеркальная составляющая проходит коллимирующую линзу 2 и после отражения от поверхности 10 полупрозрачной пластины 9 через второе отверстие 6 собирается на фотоприемнике 4 для регистрации зеркально отраженного излучения. Диффузная составляющая, многократно отразившись от.поверхности первого и второго цилиндрических отражателей

7 и 12, проходит рассеиватель 13 и попадает на фотоприемник 11 для регистрации диффузно отраженного излучения. Блок обработки сигналов с фотоприемников 3, 4 и 11 обрабатывает полученные сигналы с фотоприемников и выдает результат на отсчетное устройство (He показано). формула изобретения

1. Устройство для контроля шероховатости поверхности, содержащее последовательно расположенные источник линдрических отражателя, первый из которых установлен так, что его ось совпадает с оптической осью коллимирующей линзы, полупрозрачную пластину, расположенную между источником света и коллимирующей линзой под углом к оси последней, фотоприемник для регистрации зеркально отраженного излучения, фотоприемник для регистрации диффузно отраженного излучения, фотоприемник сравнения и блок обработки сигналов с фотоприемников, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности контроля, отражатели расположены коаксиально, в первом из них выполнены два отверс— тия так, что центр первого отверстия находится на оси, точка пересечения которой с оптической осью коллимирую1312380 положены за соответствующими отверстиями, а фотоприемник для регистрации диффузно отраженного излучения расположен на оптической оси коллимирующей линзы за источником света.

Составитель Л. Лобзова

РедактоР В. ПетРаш ТехРед А.Кравчук КоРРектоР А.ВоРович

Заказ 1960/38 Тираж 678 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4 щей линзы лежит на поверхности полупрозрачной пластины со стороны источника света, а центр второго отверстия находится на оси, точка пересечения которой с оптической осью коллимирующей линзы лежит на поверхности полупрозрачной пластины со стороны коллимирующей линзы, источник света установлен во втором отражателе, полупрозрачная пластина закреплена на этом отражателе, фотоприемник сравнения и фотоприемник для регистрации зеркально отраженного излучения рас2. Устройство по п.1, о т л и— чающе ес я тем, что оно снабжено фокусирующей линзой, установлен10 ной во втором отражателе так, что ее оптическая ось совпадает с осью, проходящей через центр первого отверстия.

Устройство для контроля шероховатости поверхности Устройство для контроля шероховатости поверхности Устройство для контроля шероховатости поверхности 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для комплексного контроля глянца различных плоских поверхностей

Изобретение относится к оптическому приборостроению и предназначено для измерения отклонения от прямолинейности

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле поверхностей объектов произвольной формы

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения двух параметров шероховатости полированных поверхностей

Изобретение относится к контрольно-измерительным устройствам, используемым для контроля неплоскостности объектов

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано , в .частности, для оценки шероховатости плоской поверхности в заданном диапазоне высот микронеровнос тей

Изобретение относится к измерительной технике и .может быть использовано для бесконтактного измерения параметров шероховатости сверхгладких анизотропных поверхностей , в частности поверхностей, обработанных алмазным точением

Изобретение относится к медицинской промышленности, в частности, к способу получения реактива для определения активированного парциального тромбопластинового времени (АПТВ) из отходов производства соевого лецитина

Изобретение относится к технике измерения и может быть использовано для контроля выпуска продукции с регламентированными параметрами шероховатости и волнистости в металлургической, машиностроительной, электронной, оптической, полиграфической промышленности, в самолетостроении, в технологиях нанесения покрытий

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройству для измерения поверхностей и профилей с помощью интерферометрии

Изобретение относится к области оптических измерений, прежде всего шероховатости поверхностей

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к измерительной технике с помощью оптоэлектронных приборов, и может быть использовано при производстве и эксплуатации деталей и устройств, имеющих наружную резьбу

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к измерительной технике с помощью оптоэлектронных приборов, и может быть использовано при производстве и эксплуатации деталей и устройств, имеющих внутреннюю резьбу

Изобретение относится к способу детектирования положения линии сгиба или аналогичной неровности на движущемся упаковочном полотне на подобном материале

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при определении шероховатости сверхгладких поверхностей, например плоских зеркал, полированных подложек и т.п

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам для контроля шероховатости поверхности изделия
Наверх