Способ приготовления железомеднохлоридного травильного раствора на основе водоацетонитрильной смеси
Изобретение относится к способам приготовления травильных растворов , а именно к размерному травлению меди и ее сплавов. Цель изобретения - повьшение скорости травления меди, которая достигается увеличением стабильности раствора. Готовят концентрированный раствор хлорного железа в ацетонитриле (2,1-2,2 М/л), в расчетное количество этого раствора добавляют водоацетонитрильную смесь, затем растворяют хлорную медь, причем содержание воды в готовом растворе составляет 3,8-13,8 М/л. Хлорное железо и хлорную медь применяют в виде кристаллогидратов. Скорость травления меди в готовом травильном растворе составляет 72,8 мг/см - мин. 1 табл. i (Л С со ел ел ISD со.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ
РЕСПУБЛИН (51)4 С 23 F 1 00
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ
3cppgy „
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ kflg g@r ау, (21) 3993457/22-02 (22) 09.10.85 (46) 07.06.87. Бюл. Ф 21 (71) Московский химико-технологический институт им. Д.И. Менделеева и
Горьковский политехнический институт им. А.А. Жданова (72) А.В. Кучеренко, А.Г. Атанасянц, Л.И. Молвина, Т.С. Ганженко, В.И.Шумилов и В.И. Кучеренко (53) 621.794.42(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
И - 9221.78, кл. С 23 F 1/00, 1982.
„„SV„„1315523 А1 (54) СПОСОБ ПРИГОТОВЛЕНИЯ ЖЕЛЕЗОМЕДНОХЛОРИДНОГО ТРАВИЛЬНОГО РАСТВОРА
НА ОСНОВЕ ВОДОАЦЕТОНИТРИЛЬНОЙ СМЕСИ (57) Изобретение относится к способам приготовления травильных растворов, а именно к размерному травлению меди и ее сплавов. Цель иэобретения— повышение скорости травления меди, которая достигается увеличением стабильности раствора. Готовят концентрированный раствор хлорного железа в ацетонитриле (2,1-2,2 М/л), в расчетное количество этого раствора добавляют водоацетонитрильную смесь, затем растворяют хлорную медь, причем содержание воды в готовом растворе сй составляет 3,8-13,8 М/л. Хлорное жеЖ лезо и хлорную медь применяют в виде кристаллогидратов. Скорость травления меди в готовом травильном раство- ( ре составляет 72,8 мг/см .мин.
1 табл.
1315523
Концентрация, M/ë
Скорость травления мг/см мин, по спо2, собу
Пример
Соотношение
112 0 водно тцетонитрильной смеси
FeC1, CuC1Z HZ 0 извест- предлагаеному мому
1 0,5 0,4 13,8 0,4:1
18,6
21,2
3,8 0:1
2 0,5 0,4
16,4
19,1
3 0,5 1,0 11,0 0,2:1
22,2
19,7
27,3
72,8
4 1,0 0,5
5 1,7 0,9
9,0 0,1. 1
13,8 0,5:1
23,5
62,9
62206
13,8 0:1
41,1
49,2
7 1,2 1,0 13,0 0,3:1
60,3
52„6
Изобретение относится к способам приготовления травильных растворов, а именно к размерному травлению меди и ее сплавов.
Целью изобретения является повышение скорости травления за счет увеличения стабильности раствора.
Пример 1, Готовят два. раствора одинакового состава, М/л:
FeC1 0,5
CuCl 0,4
Н 0 13,8
Ацетонитрил до I л
По известному способу готовят концентрированный раствор FeC13 в ацетонитриле концентрацией 3,0 М/л, затем в мерную колбу отбирают 166,7 мл этого раствора (0,5 М EeClg) вносят навеску 53,8 r CuClz (0,4 М), добавляют 248 мл воды (13,8 М) и доводят до метки ацетонитрилом.
По предлагаемому способу готовят концентрированный раствор FeC1 6HzO в ацетонитриле концентрацией 2,2 M/ë, затем в мерную колбу отбирают 227 мл
f раствора (0,5 М РеС1 ), разбавляют водоацетонитрильной смесью при соотношении Н О : AH = 0,4:1 до содержания воды 13,0 M/ë, в полученном растворе хлорного железа растворяют навеску 68y47 CuClz 2Hz0 (0,4 М СпС1 ).
До метки доводят ацетонитрилом.
После этого образец марки M I погружают в приготовленные растворы.
Травление ведут при 25 С без перемешивания. Скорость травления меди в растворе, приготовленном по предлагаемому способу, 21,2 мг/с» .мин, а по известному 18,6 мг/см мин.
В остальных примерах испытания проводят аналогично.
5 Данные опытов сведены в таблицу, Таким образом, иэ результатов таблицы видно, что предлагаемый способ приготовления травильного раствора позволяет повысить скорость травления меди в среднем на 157. Это обеспечит увеличение производительности травильных установок за счет уменьшения времени травления и повысит качество. травления.
Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я
Способ приготовления железомедноZp хлоридного травильного раствора на основе водоацетонитрильной смеси, включающий получение концентрированного раствора хлорного железа в ацетонитриле, растворение хлорной меди, 25 добавление воды и ацетонитрила, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения скорости травления за счет увеличения стабильности раствора, хлорное железо и хлорную медь
3р используют в виде кристаллогидратов, раствор хлорного железа готовят с концентрацией 2,1-2,2 М/л и доводят до необходимой концентрации водоацетонитрильной смесью и в полученном составе растворяют хлорную медь, причем содержание воды в готовом травильном растворе составляет 3,813,8 М/л.
