Травильный раствор

 

Изобретение относится к химии и может быть использовано при обработке кварца. С целью повышения качества обработки кварца травильный раствор содержит, об. % : плавиковая кислота 40 - 60; предельный спирт, выбранный из группы: бензиловый, изоамиловый, циклогексанол, изобутиловый и изопропиловый, 10 - 40, диметилформамид 10 - 40. 1 табл.

Изобретение относится к химии и может быть использовано при обработке кварца. Целью изобретения является повышение качества обработки кварца. Вводимые компоненты, образуют комплексы с молекулами фтористоводородной кислоты, что способствует поверхностному травлению, уменьшая преимущественное проникновение фтористоводородной кислоты по дефектам вглубь кристалла, т. е. уменьшается неоднородность травления. Спирт выбирают из группы: бензиловый, изоамиловый, циклогексанол, изобутиловый и изопропиловый. Перемешивание раствора способствует смене травителя и отводу продуктов реакции. Травитель получают простым смешиванием в обычных условиях. Полученные смеси используют для травления монокристаллического кварца с различными исходными по шероховатости поверхностями, R_a, мкм 0,02; 0,1; 0,16. После травления пластин кварца на глубину 15 мкм получена шероховатость поверхностей, указанная в таблице. Как видно из таблицы, у кварцевых пластин, предварительно прошедших шлифование порошком М-5 (R_а= 0,01 мкм) и М-10 (R_d= 0,16 мкм), после травления величина микронеровностей значительно уменьшается, а у полированных (R_d = 0,02 мкм) - увеличивается незначительно, т. е. травитель обладает полирующими свойствами. (56) Авторское свидетельство СССР N 329690, кл. C 09 K 13/00, 1970. Авторское свидетельство СССР N 628161, кл. C 09 K 13/06, 1976.

Формула изобретения

ТРАВИЛЬНЫЙ РАСТВОР, включающий плавиковую кислоту, предельный спирт и азотсодержащее соединение, отличающийся тем, что, с целью повышения качества обработки кварца, он содержит предельный спирт, выбранный из группы: бензиловый, изоамиловый, циклогексанол, изобутиловый и изопропиловый, а в качестве азотсодержащего соединения - диметилформамид при следующем соотношении компонентов, об. % : Плавиковая кислота 40 - 60 Предельный спирт 10 - 40 Диметилформамид 10 - 40

РИСУНКИ

Рисунок 1

MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе

Номер и год публикации бюллетеня: 11-2002

Извещение опубликовано: 20.04.2002        

---