Неразрушающий способ контроля адгезии металла к диэлектрику

Авторы патента:

G01N27/46 - Исследование или анализ материалов с помощью электрических, электрохимических или магнитных средств (G01N 3/00-G01N 25/00 имеют преимущество; измерение переменных электрических или магнитных величин и исследование электрических или магнитных свойств материалов G01R)

Изобретение относится к способам контроля механической прочности соединений металл-диэлектрик и может быть использовано в микроэлектронике, полупроводниковой технике, кабельной промышленности и других областях. Способ позволяет упростить процесс измерения. Образец с ассиметрией, заложенной в нем либо в процессе технологии изготовления , либо в предварительно созданной анизатропии самого диэлектрика, подключают через переключатель полярности к измерителю тока. Помещают образец в условия повышенной влажности и регистрируют изменение направления тока при смене полярности включения образца, что позволяет судить об адгезии металла к диэлектрику . В условиях повышенной влажности происходит сорбция пленки на поверхности диэлектрика, при этом увеличивается ток, что повышает достоверность контроля адгезии металла к диэлектрику. 1 ил. Р 00 ГчЭ СО СО 1

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН д114 G01 N 27 46! !

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

1 4

М Ф

4Р

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

К ABT0PCH0MV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4034711/24-25 (22) 07. 03. 86 (46) 15.07.87. Бюл. № 26 (71) Томский политехнический институт им. С. М. Кирова (72) С. А. Зайдман (53) 620.179.4.543.25 (088.8) (56) Зайдман С. А. Твердотельный источник тока с высоким внутренним сопротивлением. вЂ” Приборы и системы управления, 1982, № 8, с. 25.

Авторское свидетельство СССР № 491085, кл. G 01 N 19/04, опублик. 1975. (54) НЕРАЗРУШАЮЩИЙ СПОСОБ КОНТРОЛЯ АДГЕЗИИ МЕТАЛЛА К ДИЭЛЕКТРИКУ (57) Изобретение относится к способам контроля механической прочности соединений металл-диэлектрик и может быть исполь„„SU„„1323940 А1 зовано в микроэлектронике, полупроводниковой технике. кабельной промышленности и других областях. Способ позволяет упростить процесс измерения. Образец с ассиметрией, заложенной в нем либо в процессе технологии изготовления, либо в предварительно созда нной анизатропии самого диэлектрика, подключают через переключатель полярности к измерителю тока. Помещают образец в условия повышенной влажности и регистрируют изменение направления тока при смене полярности включения образца, что позволяет судить об адгезии металла к диэлектрику. В условиях повышенной влажности происходит сорбция пленки на поверхности диэлектрика, при этом увеличивается ток, что повышает достоверность контроля адгезии металла к диэлектрику.

1 ил.

l323940

Формула изобретения

Составитель Е. Анисимов

Редактор А. Лежнина Техред И. Верес Корректор В. Бутяга

Заказ 2959/48 Тираж 776 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к способам определения прочности и может быть использовано в кабельной технике, микроэлектронике и полупроводниковой технике.

Целью изобретения является упрощение 5 процесса измерения.

На чертеже приведена принципиальная схема устройства для осуществления предлагаемого способа.

Диэлектрик 1, на который нанесены металлические электроды 2, зажимаются между токоотводящими электродами 3, которые подсоединены к измерительному прибору 4 через переключатель 5 полярности при этом образец помещен в камеру 6 влажности.

Способ осуществляют следующим образом.

Образец с асимметрией, заложенной в технологии изготовления его или в предварительно созданной анизотропии самого диэлектрика !, помещают в камеру 6 влажности, затем подсоединяют его к регистратору тока и в замкнутой цепи образец-измерительный прибор 4 регистрируют генерируемый образцом ток. Далее производят переключение полярности образца, поворачивая его на !80 или меняя местами токоподводящие проводники 3 измерительного прибора, что также можно сделать с помощью переключателя 5, после чего регистрируют смену направления тока, что явля- 30 ется гарантией генерации тока образцом, а следовательно, доказывает наличие хорошей адгезии металла к диэлектрику.

Контроль адгезии металлических покрытий на диэлектрическом основании данным способом можно проводить только для асимметричных структур металл вЂ” диэлектрик вЂ” металл. Такие ассиметричные структуры имеются в микроэлектронике, когда на диэлектрическую подложку (ситалл, керамика, сапфир, брокерит и т. д.) наносят резистивные пленки из алюминия или тантала, из золота или никеля и т. д., а также осуществляют многослойное покрытие с разным количеством слоев металла на каждой из сторон диэлектрика, или, если имеется градиент концентрации носителей заряда, вдоль самого диэлектрика.

Неразрушающий способ контроля адгезии металла к диэлектрику, при котором на образце измеряют электрические параметры, отличающийся тем, что, с целью упрощения процесса измерения, образец с асимметрией проводящих слоев или с анизотропией диэлектрика помещают в камеру влажности, регистрируют ток, генерируемый образцом, производят переключение полярности образца и по смене направления генерируемого тока судят об адгезии металла с диэлектриком.

Изобретение относится к области неразрушающего контроля и может использоваться для одновременного измерения толщины стенки и диаметра цилиндрических проводящих изделий

Проточная потенциометрическая ячейка // 1318902

Изобретение относится к технике электрохимического анализа и может быть использовано в качестве чувствительного элемента (детектора) потенциометрическйх анализаторов для определения концентрации (активности) ионов в растворе с помощью ионоселективных электродов

Способ оценки термостабильности воды // 1318901

Изобретение относится к водоподготовке и касается анализа технологических свойств воды

Способ определения химического состава и структуры веществ // 1318900

Изобретение относится к физикохимическому анализу, а именно к неразрушающим термоэлектрическим способам определения химического состава .и структуры вещества

Способ определения проницаемости твердых электролитов растворенными примесями металлических расплавов // 1310705

Изобретение относится к области металлургии черных и цветных металлов , а именно к рафинированию металлических расплавов от растворенных примесей, и может быть использовано для получения особо чистых металлов и сплавов.Цель изобретения - повышение точности определения проницаемости твердых электролитов примесями металлических раплавов

Способ определения доли ионной проводимости материалов // 1293615

Изобретение относится к области измеритель юн техники и может быть использовано для определения доли ионной проводимости материалов

Датчик для измерения контактной разности потенциалов // 1290180

Изобретение относится к технике электроизмерений

Электролит для электрокондуктометрического определения диоксида углерода в воздухе // 1288573

Способ потенциометрического определения озона в воде // 1286986

Изобретение относится к .области аналитической химии и может быть использовано для контроля качества питьевой воды

Электрохимический датчик для измерения концентрации глюкозы // 1281988

Устройство для определения наличия и толщины пленки электролита на поверхности металлических объектов // 2107891

Электрохимический анализатор физико-химических свойств материалов // 2112965

Стационарный ph-метр для контроля жидких сред // 2112975

Изобретение относится к измерительным приборам и может быть использовано для контроля жидких сред, например молочных продуктов

Способ измерения объемного содержания компонента многокомпонентной однородной смеси // 2119658

Сенсор паров ароматических углеводородов // 2119662

Изобретение относится к аналитическому приборостроению и может быть использовано для определения концентрации паров ароматических углеводородов в атмосфере промышленных объектов и при экологическом контроле

Способ контроля анизотропии прочности твердых материалов и изделий // 2134876

Изобретение относится к неразрушающему контролю и может быть использовано для контроля анизотропии прочности твердых металлических и строительных материалов и изделий

Способ определения ресурса работы несущего элемента из жаропрочного термически упрочняемого алюминиевого сплава в конструкции летательного аппарата // 2140071

Изобретение относится к области исследования физико-механических свойств металлов и может быть использовано при диагностировании фактического состояния конструкции летательного аппарата после определенной наработки в процессе профилактических осмотров самолета

Способ определения запаса прочности нагруженного материала // 2141648

Изобретение относится к неразрушающим методам анализа материалов путем определения их физических свойств, в частности предела прочности

Способ определения некомпенсированного электрического заряда материальных тел // 2145103

Изобретение относится к геофизике (гравиметрии, геомагнетизму), к общей физике и может быть использовано при определении взаимодействия материальных тел, при расчетах магнитной напряженности вращающихся тел, объектов, тяжелых деталей аппаратов, вращающихся с большой скоростью

Способ детектирования газовых смесей // 2146816

Изобретение относится к способам анализа смесей газов с целью установления их количественного и качественного состава и может быть использовано в газовых сенсорах