Форвакуумный адсорбционный насос

Авторы патента:

F04B37/02 - для создания вакуума путем абсорбции и адсорбции (абсорбция или адсорбция вообще B01J)

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет исключить загрязнения откачиваемого объема адсорбционной пылью Входной конец трубки 7 отвода расположен в зоне днища 2, а выходной выведен за пределы корпуса 1. Пористая перегородка и слой стекловаты предотвращают попадание адсорбентной пыли в откачиваемый объем. Для очистки слоя стекловаты от пыли через продувочный вентиль 9 подают в насос сухой газ. 2 ил. (Л ОО to О5 ю

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛ ИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (su 4 F 04 В 37/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ фиг.1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3935113/25-06 (22) 26.07.85 (46) 30.07.87. Бюл. № 28 (71) Институт общей физики АН СССР (72) С. Н. Попов и В. П. Соловьев (53) 621.528.3 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1224440, кл. F 04 В 37/02, 1984. (54) ФОРВАКУУМНЫЙ АДСОРБЦИОННЫЛ НАСОС

„„SU„„1326772 А 1 (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет исключить загрязнения откачиваемого объема адсорбционной пылью„

Входной конец трубки 7 отвода расположен в зоне днища 2, а выходной выведен за пределы корпуса I. Пористая перегородка и слой стекловаты предотвращают попадание адсорбентной пыли в откачиваемый объем.

Для очистки слоя стекловаты от пыли через продувочный вентиль 9 подают в насос сухой газ. 2 ил.!

326772

Формула изобретения Риг. 2

Составитель В. Кряковкин

I r ;r lк rl>p М. 1ы.!ын Техред И. Верее Корректор A. Ильин

3 и и а з, 1 2 5 О, 2!) Тираж 574 Подписное

ВИИИПИ I îróä lðñòâr rlíoro комитета СССР по делам изобретений и oTêðûòèé! I 3035, Москва, ?K 35, Раугиская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

1!зобрстсние относится к вакуумной тех ике, а имешго и конструкциям адсорбционных вакуумных насосов погружного типа.

Цель изобретения вЂ” искгпочение загряз нения откачиваемого объема адсорбционной пылью.

На фиг. 1 представлен предлагаемый насос, продольный разрез; на фиг. 2 вЂ” узел входного патрубка с фильтром.

Форвакуумный адсорбционный насос содержит гофрированный вертикальный корпус 1 с днищем 2 и крышкой 3, снабженной входным патрубком 4, расположенную внутри корпуса 1 с образованием полости, заполненной адсорбентом 5, гофрированную цилиндрическую обечайку 6, соединенную торцами с днищем 2 и крышкой 3, и размещенный во входном патрубке фильтр. Насос дополнительно содержит размещенную в адсорбенте 5 трубку 7 отвода десорбируемого газа, входной конец которой расположен в зоне днища 2, а выходной выведен за пределы корпуса 1, и установленный между днищем 2 и крышкой 3 ограничитель 8 деформаций, входной патрубок 4 снабжен продувочным вентилем 9, размещенным перед фильтром, выполненным в виде последовательно расположенных по ходу откачиваемого газа пористой перегородки 10 и слоя 11 стекловаты.

Насос работает следующим образом.

Корпус 1 погружается в хладагент, например жидкий азот. Благодаря развитой поверхности корпуса 1 и обечайки 6 адсорбент 5 интенсивно охлаждается и поглощает поступающий через входной патрубок 4 газ. После насьццения адсорбента 5 кор пус 1 извлекается из хладагента и отогревается либо естественным путем (теплообменом с атмосферным воздухом), либо с по2 мощью нагревателя. Десорбируемый в результате отогрева газ отводится из полости, заполненной адсорбентом 5, в атмосферу.

Пористая перегородка 10 и слой 11 стекловаты предотвращают попадение адсорбционной пыли в откачиваемый объем. По мере загрязнения стекловаты возникает необходимость ее очистки от пыли, для чего в процессе отогрева насоса через продувочный вентиль 8 подают в насос сухой газ, !

О например азот.

Таким образом, предлагаемый насос позволяет исключить попадение адсорбционной пыли в откачиваемый объем.

Форвакуумный адсорбционный насос, содержащий гофрированный вертикальный корпус с днищем и крышкой, снабженной входным патрубком, расположенную внутри кор20 пуса с образованием полости, заполненной адсорбентом, гофрированную цилиндрическую обечайку, соединенную торцами с днищем и крышкой, и размещенный во входном патрубке фильтр, отличающийся тем, что, с целью исключения загрязнения откачиваемого объема адсорбционной пылью, насос дополнительно содержит размещенную в адсорбенте трубку отвода десорбируемого газа, входной конец которой расположен в зоне днища, а выходной выведен за преде30 лы корпуса, и установленный между днищем и крышкой ограничитель деформаций, входной патрубок снабжен продувочным вентилем, размещенным перед фильтром, а последний выполнен в виде последователь«о расположенных по ходу откачиваемого

З5 газа пористой перегородки и слоя стекловаты.

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить экономичность насоса путем использования для привода насоса энергии отходящих паров хладагента (ХА)

Устройство для автоматического регулирования насосной установки // 1288343

Изобретение относится к насосостроению и позволяет повысить производительность , установки при использовании в ней двух адсорбционных насосов

Вакуумный крионасос // 1285188

Криоадсорбционный насос // 1280188

Изобретение относится к области вакуумной техники и позволяет улучшить откачные характеристики насоса путем интенсификации адсорбента

Вакуумный сорбционный насос // 1268799

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные х-ки насоса и повысить его надежность

Вакуумный адсорбционный насос непрерывного действия // 1267043

Теплообменный элемент для термостатирования гранулированного активного агента // 1262103

Адсорбционный насос // 1262102

Изобретение относится к области вакуумной техники, в частности к адсорбционным насосам

Адсорбционная ловушка // 1262101

Адсорбционный насос // 1255744

Адсорбционный насос // 2101564

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Система для обработки полупроводникового изделия (варианты), встроенный геттерный насос и способ обработки полупроводникового изделия // 2125619

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия

Модуль и система геттеронасоса // 2138686

Способ вакуумирования гермообъема // 2140015

Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д

Геттерный насос квантового водородного генератора // 2183768

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Адсорбционный насос // 2186248

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Газопоглотительный насос // 2186249

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Адсорбционный насос // 2187694

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Адсорбционный насос // 2187695

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Адсорбционный насос // 2187696