Преобразователь давления

 

Изобретение может быть использовано при измерении давления жидких и газообразных сред в условиях изменяющейся температуры окружающей и рабочей среды. Цель изобретения - повышение точности за счет уменьшения температурной погрешности. Выделяемая на нагревательных резисторах 3 мощность идет на разогрев и поддержание температуры мембраны 2 и ее основания на уровне тарировочной температуры . Уменьшение перепадов температуры на пластине 1 снижает термические напряжения,-И за счет этого повышается точность измерения. 1 ил. (Л со 05 СО Si

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

ССЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

„„SU„„1326915 А1

cd 4 0 01 Ь 9/04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОЧИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPblTVI4

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

21) 4016293/24-10

° °

22) 04.11.85 (46) 30.07.87. Бюл. У 28 (72) Г.С,Ранченко и О.П,Корниенко (53) 531.787 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

11 1000804, Кл, G 01 L 9/04,,1983.

Патент США Н 3886799, кл. 73-398, 1975. ких и газообразных сред в условиях изменяющейся температуры окружающей и рабочей среды. Цель иэобретеиия— повышение точности за счет уменьшения температурной погрешности. Выделяемая на нагревательных резисторах

3 мощность идет на разогрев и поддержание температуры мембраны 2 и ее основания на уровне тарировочной температуры. Уменьшение перепадов температуры на пластине 1 снижает термические напряжения,.и эа счет этого повышается точность измерения. 1 ил, (54) ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ (57) Изобретение может быть использовано при измерении давления жидОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ:.

)3269)5

Формул а и з î бр е т е н ия точке.

Составитель A,Ñâåð÷êàí

Техред А. Кравчук Корректор Е. Рошко

Редактор А,Ревин

Заказ 3272/36 Тираж 7?8 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

))3035, Москва, Ж-35, Раушская наб„, Д,4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул, Проектная, 4

Изобретение относится к приборостроению, в частности к первичным измерительным преобразователям давления которые используются при изме9

5 рении давления жидких и газообразных сред в условиях изменяющейся температуры окружающей и рабочей сред.

Цель изобретения — повышение точности измерений эа счет уменьшения температурной погрешности.

На чертеже изображена конструкция . предлагаемого преобразователя давления, Преобразователь давления содержит полупроводниковую пластину 1 с мем браной 2 и четырьмя реэистивными нагревателями (резисторами) 3, соединенными паралельно и имеющими общую точку 4, и контактные площадки 5.

На мембране расположены термореэисторы 6, а на основании мембраны расположен датчик ? температуры.

Схема стабилизации температуры .пластины представляет собой прапор- 26 циональный регулятор.

Преобразователь давления работает следующим образом.

В исходном состоянии при тарировочной температуре, равной или боль- ЗО шей максимально возможной температуры окружающей или контролируемой сре— ды, ток через нагревательные резисторы не протекает. Выходной сигнал пре образователя в результате тарировки ЗВ будет пропорционален измеряемому дав,лению. При выключенном устройстве стабилизации температуры и уменьшеФ нии температуры окружающей или контролируемой среды выходной сигнал 40 преобразователя будет отличаться от выходного сигнала при тарировочной температуре, вследствие температурной зависимости сопротивления и коеффициента тензочувствительности термореэисторов 6. При включенном устройстве стабилизации и датчике 7 температуры поступает сигнал на пропорциональный регулятор, который регупирует величину тока, протекающего через нагревательные резисторы 3.

Выделяемая на нагревательных резисторах 3 мощность, идет на разогрев и поддержание температуры мембраны и ее основания на уровне тарировочной температуры, Существенное уменьшение перепадов температуры на пластине снижает термические напряжения, за счет чего повышается точность измерений, Преобразователь давления, содержащий полупроводниковую пластину с основанием и квадратной мембраной, на которой расположены тенэорезистивный мост и нагревательный элемент, и датчик температуры, о т л и ч а— ю шийся тем, что, с целью повышения точности измерений за счет уменьшения температурной погрешности, в нем нагревательный элемент выполнен в виде четырех резисторов, расположенных по диагоналям квадратной мембраны, причем один конец каждого резистора расположен на основаI нии„ а другой соединен с другими резисторами в центре мембраны в общей