К АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3926442/29-33 (22) 21.05.85 (46) 07.08.87. Бюл. У 29 (71) Новочеркасский политехнический институт (72) В.Я.Хентов, Л,Н.Великанова, В П.Ратькова, И,А.Болдырева, Ю,Н.Калашников, Ш.А.Фурман, П,Л,Литвинов, А.А.Метельников, В.М.Троицкий и Т.М,Иудина (53) 666.1.05(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

)1 278985, кл. С 03 С 23/00, 1969.

Грилихес С.Я,Полирование, Фравлеиие и обеэжиривание металлов, Л., Машиностроение, 1971 с,93. (54) TPABKIbHblA РАСТВОР (57) Иэобретение относится к области приборостроения при восстановлении оптического стекла, Целью иэобретения является обеспечение удаления с поверхности стекла тонкопленочных покрытий на основе SiO и оксидов

d-элементов 1Ч группы. Травильный раствор содержит ингредиенты в следующем соотношении, мас,ч: аэотная кислота 10"20; плавнковая кислота

2-5; вода остальное. Процесс ведут при комнатной температуре в течение

0 5-2 .мин, 2 табл, 1328364

Т а б л и ц а 2

Качество поверхности

Раствор

Класс чистоты

Коэффициент отражения после снятия после снядо нанесе- после ния снятия тия (1 2 1 2

6,8

4,2

4,8

4,2

4-5

Составитель О,Самохина

Техред А.Кравчук Корректор Л.Пилипенко

Редактор В.Патрушева

Заказ 3452/28 Тираж 633 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r, Ужгород, ул, Проектная, 4 до нанесения покрытия до нанесения покрытия

1,0 0,3 3,0 0,5

2,0 0,2 2,0 0,2

2,0 0,3 2,0 0,4

Похожие патенты:

Травильный раствор // 1321048

Изобретение относится к химии и может быть использовано при обработке кварца

Травитель сегнетоэлектрической керамики системы цирконата- титанатэ свинца // 988854

Раствор для травления титанового сплава // 983135

Раствор для травления шлифов // 883142

Травитель монокристаллов тугоплавких металлов // 881158

Раствор для выявления дислокацийв титане // 815023

Паста для травления титана и его сплавов // 630281

Раствор для травления защитных покрытий из титана и нитрида титана // 2350688

Изобретение относится к химической обработке поверхности металлов, в частности удалению защитного покрытия, состоящего из подслоя титана и слоя нитрида титана, нанесенного ионно-плазменным напылением

Состав для снятия оксидных пленок гафния и циркония // 1546445

Изобретение относится к химическому удалению оксидных пленок гафния и циркония с поверхности токонепроводящих изделий и может быть использовано в приборостроении для восстановления свойств оптических стекол

Применение поверхностно-активных веществ, содержащих по меньшей мере три короткоцепочечные перфторированные группы, для производства микросхем, имеющих рисунки с расстояниями между линиями менее 50 нм // 2584204

Описано применение поверхностно-активных веществ A, 1 мас.% водный раствор которых имеет статическое поверхностное натяжение <25 мН/м. Указанные поверхностно-активные вещества A содержат три короткоцепочечные перфторированные группы Rf, выбранные из группы, состоящей из трифторметила, пентафторэтила, 1-гептафторпропила, 2-гептафторпропила, гептафторизопропила и пентафторсульфанила, для производства микросхем. Способ фотолитографии с применением поверхностно-активных веществ A в иммерсионных фоторезистных слоях, фоторезистных слоях, подвергающихся воздействию актиничного излучения, проявляющих растворах для экспонированных фоторезистных слоев и/или в химических промывочных растворах для проявленных структурированных фоторезистов, содержащих структуры с расстояниями между линиями менее 50 нм и со значениями аспектного отношения >3. Посредством поверхностно-активных веществ A предотвращается разрушение структур, уменьшается размытие края изображения, удаляются дефекты в виде следов от воды и предотвращается их появление, а также уменьшаются дефекты вследствие удаления частиц. 2 н. и 13 з. п. ф-лы, 1 пр.