Блок откачки вакуумной камеры электрофизической установки

 

СОЮЗ СОИЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ .

РЕСПУБЛИК (1% 0l) ($1)5 H О! J 4! 20

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ЬВ

°

° Ф аю

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

IlO. ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТЖ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (46) 15.02.90. Бюл. 1! 6 (2)) 39091:02/24-21 (22). !2.06.85 (72) Д. А. Карпов и Г. Л, Саксаганс кйй (53) 621.3.032.14(088.8) (56) Бендер Е. Д. Протяженные дуговые испарители титана. - Доклады второй Всесоюзной конференции по инженерным проблемам термоядерных реакторов, Л,, 1982 т. 4 с. 125.

Halana H. I. 6esign and construction of Vacuum System for Large CoIiiders usIng superconducting mognets.—

International Часик Congress 9 th

Hadrid, 1983, р. 283-295.."(54) БЛОК ОТКАЧКИ ВАКУУМНОЙ КАМЕРЫ

ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКОЙ УСТАНОВКИ . ($7) Изобретение относится к технике получения вакуума преимущественно в

1 ускорителе заряженных частиц. Целью изобретения является увеличение производительности и надежности блока 2 откачки вакуумной камеры 1 электрофизической установки. Для достижения цели на каждой из торцовых поверхностей каждого катода 6 выполнено углубление. При этом в углублении симметрично расположено не менее двух магнитов, разноименные полюса кото.рых направлены встречно друг другу.На чертеже также показаны источник

3 заряженных частиц, система 4 фокусировки пучка, мишень 5, защитный экран 7. Прн горении вакуумной дуги катодные пятна распыляют рабочую no- . I верхность катода, при этом пленка геттера напыляется на свободные поверхности блока 2 откачки и сорбкру" ют активные газы. 2 ил.

) !336845 2 двюкения катодных пятен, Движение в направлении острого угла возникает при индукции магнитного поля !О Тл

r и более, В данной конфигурации маг5 нитного поля единственно возможным является "противоамперово" движение катодных пятен, направленное к центру катода, Катодные пятна, возник)О шие на торце катода, выталкиваются с чего и локализуются на рабочей поверхности катода, хаотически перемещаясь по ней. Ширина рабочей поверхности зависит от величины индукции

15 магнитного поля на торцах катода.

Прн индукции -1О Тл она занимает

Э весь катод эа исключением небольших областей (-5 см) на торцах. При увеличении индукции можно сузить рабочую

20 область распыления, возможно также управлять ею при изменении величин индукции магнитного поля на торцах.

При горении вакуумиой дуги катодные пятна распыляют рабочую поверх25 ность катода, при этом пленка геттера напыляется на свободные поверхности блока откачки и сорбирует активные газы.

Формул а

Изобретение относится к технике получения вакуума преимущественно в ускорителе заряженных частиц.

Целью изобретения является увеличение производительности и надежности блока откачки вакуумной камеры электрофиэической установки.

Ца фиг. I изображена схема предлагаемого блока; на фиг, 2 представлен катод — источник геттерных пленок.

Вакуумная камера I электрофизической установки содержит встроенный блок 2 откачки вакуумной камеры, источник 3 заряженных частиц, систему .4 фокусировки пучка, мишень 5, В бгоке 2 откачки вакуумной камеры установлены катоды 6 электродугoF30I источника геттерных пленок, снабженные защитными экранами 7, На каждой иэ торцовых поверхностей каждого катода Ь выполнено углубление в котором расположена магнитная система 8, состоящая из постоянных магнитов 9, установленнь|х асимметричноразноимен-ными полюсами навстречу друг другу. Каждый катод 6 снабжен поджигающим ! устроиством О.

Блок работает следующим образом. ЗО

При возбуждении вакуумной дуги при помощи поджигающего электрода 1О между катодом 6-и стенками блока 2 откачки, служащими анодом, загорается вакуумный дуговой разряд, При этом

35 на торце катода 6 возникают катодные пятна, В магнитном поле движение какатодньГх пятен является направленным и описывается "принципом максимума" магнитногополя, согласнз которому это п движение можно разложить на составляющие. "противоамнероно" движение в направлении вектора (. х В) и движение в направлении острого угла, образованного при пересечении магнитных силовых линий с поверхности катода (правило Острого угла), "Противо.амперовон движение является определяющим и, возникает уже в очень слабых магнитных полях (5 IО Тл). При увеличении индукции магнитного поля возрастает скорость направленного

I изобретения

Блок откачки вакуумной камеры злектрофизической установки, преимущественно ускорителя заряженных частиц, содержащий корпус, герметично соединенной с камерой, в котором размещен источник геттерных пленок с цилиндрическими катодами и защитные экраны; о, т л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения производительности и надежности, на каждой из торцовых поверхностей каждого катода выполнено углубление, в котором осесимметрично расположено не менее двух магнитов разноименными полюсамн навстречу один другому,, вектор намагниченности которых находится в плоскости, перпендикулярной оси ч Ф катода, а вектор — t f x В), где ток разряда,  — индукция магнитного поля, на боковой поверхности направлен к его центру.

1336845

Составитель О. Дикова

Редактор Т„ Юрчикова Техред И.Попович Корректор М. Пожо

Заказ 501

Тираж 391 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

Il3035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная,