Способ измерения отклонений от соосности отверстий

 

Изобретение относится -к измерительной технике, в частности к фотоэлектрическим способам измерения соосности отверстий . Целью изобретения является повышение точности измерения отклонения от соосности отверстий относительно и.х общей оси путем получения .минимумов интенсивности в центре дифракционных картин. Формируют пучок с плоским волновым фронтом, распространяюшийся вдоль оси отверстий, и устанавливают в нем объекты с отверстиями так, что отверстия перекрывают четное число зон волнового фронта. Получаемые от нижнего из отверстий дифракционные картины будут иметь минимум интенсивности в центре. По разности координат этих минимумов судят о величине несоосности. СО ел to to

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)4 GOl В ll 27

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

М А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (:И

hD

Ю

1Р

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3813625/24-28 (22) 20.11.84 (46) 15. I 1.87. Б юл. № 42 (71) Институт электроники АН БССР (72) В, К. Александров, Ю. Н. Биенко, Е. В. Галушко и В. Н. Ильин (53) 531.717.14 (088.8) (56) Вагнер E. Г., Митрофанов А. А., Барков В. Н. Лазерные и оптические методы контроля в самолетостроении. М.: Машиностроение, 1977, с. 66 — 69. (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ОТКЛОНЕНИЯ ОТ СООСНОСТИ ОТВЕРСТИЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике, в частности к фотоэлектри„,SU„„1352200 А 1 ческим способам измерения соосности отверстий. Целью изобретения является повышение точности измерения отклонения от соосности отверстий относительно их общей оси путем получения минимумов интенсивности в центре дифракционных картин. Формируют пучок с плоским волновым фронтом, распространяющийся вдоль оси отверстий, и устанавливают в нем объекты с отверстиями так, что отверстия перекрывают четное число зон волнового фронта. Получаемые от нижнего из отверстий дифракционные картины будут иметь минимум интенсивности в центре. По разности координат этих минимумов судят о величине несоосности.

1352200

Фар,чула изооретеная (оставигеан В. Бахтин

Реник ор,il. !1ов.хан аказ 5210,34 1 ирана ()77 Подяиснос

BHHHHH Государстненного комитета (.C(.Ð ilo де. ам изобретений и открытий

113035, Москвы, Ж--35, Раугнская наб., д. 4/5

I!ðîèçâoëcòBåHHî-ноаиграфияеское предприятие, г. Ужгород, уг«Проектная. 4

Изобретение относится к электронно-измерительной технике, в частности к фотоэлектрическим спосооам измерения соосности отверстий.

Целью изобретения является повышение тоЧности измерения отклонения от соосности отверстий относительно Нх обц(ей оси путем получения минимумов интенсивности в центре лифракционных картин.

Способ осуществляется следуюн(им обра:3OM.

Формируют пучок с плоским волновым фронтом монохроматического излучения. Помещают в него последовательно по ходу пучка обьекты -- диафрагмы с отверстиями, отклонение от соосности которых необходимо измерить. Перемещая обьекты вдоль пучка, перекрывают отверстиями ч TIIQL число

130,! 110Bol о фронта. 310 принодит явлеHHIo минимума интенсивности в центре дифракционны.(картин or каждого отверстия. Регистрируют полученные (ифракционные картины, определяют координаты минимумов интенсивности в их центрах и по разности этих координат судят о величине и направлении несоосностн отверстий.

Способ измерения отклонений от соосности отверстий, заключающийся в том, что

ОСВЕ1ЦаЮт ОтВЕРСтИЯ НУоКОМ МОНОХРОМатИЧЕСкого излучения с плоским волновым фронтом и регистриру1от дифракционные картины от каждого отверстия, по параметрам которых судят об отклонении от соосности, от.111чаю(ций(л тем, что, с целью повышения точности измерений, перекрывают отверстиями четное число зон во;нкозого фронта, в центре дифракционных картин определяют координаты минимума интеI!cHBI!ocTH, а в качестве параметра, характер11зую1цего величину отклонения от соосHîcòè, выбирак1т раз20 ность этих коорд11нат.