Многоточечный датчик давления

 

Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить точность и чувствительность устройава. С двух сторон перфорированной диэлектрической пленки размещены сплошные диэлектрические пленкм. На внутренней поверхноаи каждой сплошной пленки нанесены металлизированные экраны 7 с зазором вокруг обкладок 2 и выводных проводников 4. Перфорированная пленка имеет более высокую диэлектричеа ую проницаемость и меньший модуль упругости, чем сплошные пленки. Нижняя сплошная пленка 82-3 раза толще верхней. Изменение давления приводит к колебанию толщины чувствительного элемента лод обкладками 7, вызывающему соответствующее изменение электрической емкости. Экраны 7 обеспечивают защиту чувствительного элемента от внешних электромагнитных помех и способствует снижению паразитных емкостных связей между обкладками 2 соседних датчиков. 3 иа фиг i Ы in s ON ОС О

(19) SU (11) 13566ОО А1 (51) 5 G 01 L 9 12

СОтОЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР)

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3955842/10 (22) 24.09.85 (46) 15.12.93 Бюл. Йя 45-46 (72) Казарян АА,; Чикин И.И. Лущейкин ГА; Шарафутдинова Д.И.; Трофимова АА:, 8ойтешонок Л.И. (54) МНОГОТОЧЕЧНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ (57) Изобретение относится к измерительной технике и позволяет повысить точность и чувствительность устройства. С двух сторон перфорированной диэлектрической пленки размещены сплошные диэлектрические пленки. На внутренней поверхности каждой сплошной пленки нанесены металлизированные экраны 7 с зазором вокруг обкпадок 2 и выводных проводников 4. Перфорированная пленка имеет более высокую диэлектрическую проницаемость и меньший модуль упругости, чем сплошные пленки. Нижняя сплошная пленка в 2- Э раза толще верхней. Изменение давления приводит к колебанию толщины чувствительного элемента под обкладками 7, вызывающему соответствующее изменение электрической емкости Экраны 7 обеспечивают защиту чувствительного элемента от внешних электромагнитных помех и способствует снижению паразитных емкостных связей между обкладками 2 соседних датчиков. 3 ип

1356680

МНОГОТОЧЕЧНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, содержащий перфорированную диэлектрическую пленку, соединенную с расположенными с двух ее сторон сплош- 45 ными диэлектрическими пленками с металлизированными обкладками и выводными проводниками, а также два металлизиро "ванных экрана, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и чувствитель- 50 ности, в нем металлизированные экраны

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления при аэродинамических испытаниях.

Целью изобретения является повышение точности и чувствительности.

На фиг,1 изображен датчик, общий вид; на фиг.2 — разрез А-А на фиг.1; на фиг.3— разрез Б-Б на фиг.1.

Датчик содержит пленку 1, обкладки 2 и

3, выводы 4 и 5, перемычки 6, экраны 7 и 8, изоляционный перфорированный слой 9 из диэлектрической пленки, токосъемные выводы 10 и слой клея между пленками 11.

На первую пленку 1 методом термического испарения через маски нанесены верхние обкладки 2, выводные проводники 4, перемычки 6 и вокруг них защитный экран

7. Нижние обкладки 3, вывод 5 и второй защитный экран 8 металлизированы на верхней поверхности второй пленки, Введенные экраны 7 и 8 позволяют снизить паразитные емкостные связи между обкладками соседних датчиков, а также между обкладчиками и землей. Экраны 7 и 8 также обеспечивают защиту от внешних электромагнитных помех и исключают накопление электрического заряда, обусловленного трибозлектрическим эффектом при аэродинамическом обтекании. Кроме того, такое расположение верхних и нижних обкладок одна относительно другой обеспечивает дополнительную зкранировку обкладок от внешних помех и защиту металлизированных экранов 7 и 8 от истирания при воздей-. ствии газового потока. П ри этом напряжение поляризации датчиков подаетФормула изобретения

30 ся на вывод 5 через перемычки 6. Смещение вывода 4 относительно вывода 5 позволяет ликвидировать их влияние на результаты измерения, Расстояние d между обкладками 2 и 3 и экранами 7 и 8, а также между выводами 4 и 5 и экранами 7 и 8 выбирается минимальным, исходя из технологических возможностей напыления, Между первым и вторым слоями пленки вставляется третья перфорированная пленка 9. Перфорированию подвергается часть пленки, находящаяся под обкладками датчика. Перфорируемый диэлектрик по своему содержанию отличается от пленки первого слоя так как имеет более высокую диэлектрическую проницаемость и меньший модуль упругости. Толщина третьей пленки выбрана больше, чем толщина остальных пленок.

Минимальная толщина перфорированной пленки обеспечивает высокую чувствительность, а минимальная толщина первой пленки — более низкий предел измеряемого давления.

Датчик давления rio принципу работы представляет собой преобразователь емкостного типа. При изменении давления изменяется толщина чувствительного элемента под обкладками 2 и 3, что приводит к соответству.ощему изменению электрической емкости. (56) Приборы и техника эксперимента, N 4, 1983, с, 220 — 221.

M.PORTENT et M.CHATANIER LES

CAPTEUPS PELLICULAIRED DE PRESSION

ЕТ LEURS APPLICATIONS, Аппе с. 1982, п.З, р, 177 — 186. расположены со стороны внутренней поверхности каждой сплошной диэлектрической пленки и нанесены на поверхность пленок с зазором вокруг обкладок и выводных проводников, при этом перфорированная пленка выполнена из материала с модулем упругости меньшим и с коэффициентом диэлектрической проницаемости большим, чем у материала верхней и нижней пленок, а толщина нижней пленки больше толщины верхней пленки в 2 - 3 раза.

1356680

Заказ 3351

Тираж Подписное

НПО "Поиск" Роспатента

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский ком инат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Составитель S, Казаков

Редактор Т. Лошкарева Техред М,Моргентал Корректор M. Керецл ан