Устройство для контроля скорости травления деталей

 

Изобретение относится к области химии и может быть использовано для контроля скорости обработки в процессе размерного химического травления деталей. Цель изобретения - повы- 01ение точности контроля и надежности устройства в работе путем обеспечения неподвижности газособирающего сосуда . Устройство посредством скобы 1 крепления размещается на общей раме крепления изделий. На скобе 1 смонтированы обрабатываемая деталь 2, газособирающий сосуд 3, выполненный в виде секций 4, 5, 6. В скобе 1 выполнен вырез 7, образующий щель для входа выделяющегося с поверхности травления газа в нижнюю -часть секции (Л Ю iPus 1

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (04 С23Р108

ВСКОЙ ЗИАМ l3,", .,„1

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬС ТВУ

И% В %11 Я <

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4095406/22-02 (22) 14,07,86 (46) 07.12.87. Бюл. М 45 (72} В.Д.Бабункин, И.Л,Кунгурцев и Л.П.Пахтин (53) 621.794.41(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 603702, кл. С 23 F 1/08, 1978.

Авторское свидетельство СССР !

1 847001, кл. Г. 01 В 7/06, 1979. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ СКОРОСТИ ТРАВ!!ЕНИЯ ДЕТАЛЕЙ (57} Изобретение относится к области химии и может быть использовано для контроля скорости обработки в процессе размерного химического травления деталей. Цель изобретения — повьгшение точности контроля и надежности устройства в работе путем обеспечения неподвижности газособирающего сосуда. YcTp()HcTBU посредством скобы 1 крепления размещается на общей раме крепления изделий. На скобе 1 смонтированы обрабатываемая деталь 2, газособирающий сосуд 3, выполненный в ниде секций 4, 5, 6, В скобе 1 выполнен вырез 7, образующий щель для входа выделяющегося с поверхности травления газа в нижнюю часть секции

13

4. Защитный экран 8, выполненный в. виде пластины и жестко связанный с сосудом 3, исключает попадание rasa в сосуд с поверхности детали, расположенной ниже сосуда. Отверстие 9, предназначенное для выхода rasa, выполнено в верхней части секции 6.

Над ним расположена заслонка 10, которая посредством рычага 11 связана с сигнализатором, содержащим магнит

12, магнитоуправляемый контакт 13 и регистрирующий прибор 14. Иагнитоуправляемый контакт 13, соединенный с входом счетчика импульсов прибора

14, расположен на скобе 1. Газ, выделяющийся с поверхности детали, за57461 полняет секции сосуда 3. Периодически выходящий иэ секции 6 через отверстие 9 газ ударяет в заслонку 10, При этом рычаг 11 приближает магнит

12 к контакту 13, он срабатывает и прибор 14 сбрасывает показания цифрового измерителя временного интервала. Далее цикл понторяется. Поскольку эа данное время снимается определенный слой металла с детали, то показания измерителя времени дают информацию о скорости травления. Разброс времени заполнения газом сосуда не превыщает 2Х. Точность контроля скорости травления поныиается в 2,5 раза, 2 ил.

Изобретение относится к химии и может быть использовано для контроля скорости обработки н процессе размерного химического травления деталей.

Цель изобретения — поньппение точности контроля и надежности работы устройства путем обеспечения неподвижности гаэособирающего сосуда.

На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство, общий нид; на фиг.2— разрез А-А на фиг. 1.

Устройство содержит скобу 1, к которой прикреплена вертикально расположенная обрабатываемая деталь 2, газособирающий сосуд 3, жестко расположенный на скобе крепления 1 и выполненный в ниде последовательно соединенных между собой секций 4-6. Иа скобе 1 крепления выполнен сквозной вырез 7,образующий щель для входа выделяющегося с поверхности травления газа в нижнюю часть секции 4 газособирающего сосуда 3.

Защитный экран 8, выполненный в виде пластины и жестко связанный с газособирающим сосудом, исключает попадание газа н сосуд с поверхности детали, расположенный ниже сосуда.

Доступ раствора к зоне травления детали, ограниченной вырезом 7, осуществляется с боковых сторон экрана 8.

Отверстие 9, предназначенное для выхода газа, выполнено в верхней части секции 6 гаэособирающего сосуда

3. Над отверстием 9 размещена заслонка 10, которая посредством рычага 11 связана с сигнализатором, содержащим магнит 12, .магнитоупранляемый контакт !

3 и регистрирующий прибор 14.

Иагнитоуправляемый контакт (геркон) 13, электрически связанный с входом счетчика импульсов прибора !4, показывающего скорость травления, расположен н зоне действия магнита 12 и укреплен на скобе I.

Устройство работает следующим образом.

В исходном положении устройство посредством скобы 1 крепления размещается на общей раме крепления обрабатываемых деталей (не показано).

При помощи зажима на скобе крепления обрабатываемая деталь 2 закрепляется

?5 вертикально и вместе с устройством погружается:B раствор (магнит и геркон находятся ныше раствора). Б процессе травления газ, выделяющийся с участка детали, расположенного напротив выреза 7, постугает через него в секцию 4 газособирающего сосуда 3.

Газ скапливается в верхней части секций 4 и 5 сосуда, вытесняя из них раствор. По мере заполнения газом сосуда происходит постепенное пониже13

57461

А -A

Составитель Л.Груднева

Редактор Н.Рогулич Техред М.Ходанич Корректор А.Обручар

Заказ 5972/25

Тираж 937 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 ние уровня раствора в данных секциях.

В тот момент, когда уровень раствора доходит до уровня нижней границы перемычки между секциями 5 и 6, газ начинает поступать в секцию 6 и выходить наверх. Поскольку скорость .движения газа наверх через секцию 6 велиКа, то давление раствора в этой секции падает. Это приводит к нарушению динамического равновесия давления раствора между секциями 6 и 5, что вызывает резкое вытеснение раствором.газа из секций 4 и 5 через секцию 6. Выходящий из сосуда газ ударяет в заслонку 10 и перемещает ее вверх (для увеличения силы удара и задания периода между измерениями в пределах 1-2 мин объем секции 4 уве3 личен и составляет 200 см ). При этом рычаг 11 приближает магнит 12 к магнитоуправляемому контакту 13, который срабатывает, показывающий прибор 14 сбрасывает, показания цифрового измерения временного интервала. После выхода газа из сосуда (время выхода 1 с) заслонка 10 под действием собственного веса возвращается в исходное положение и прибором 14 начинается счет времени заполнения газом сосуда 3. Далее цикл повторяется. Поскольку за время заполнения сосуда газом с обрабатываемой детали снимается заранее известный слой металла, то при измерении данного времени получается информация о скорости обработки детали, 4

Конструкция данного устройства позволяет обеспечить постоянный перепад уровня раствора в сосуде до начала заполнения и в момент выхода га5 за из сосуда и следовательно получить высокую стабильность объема накапливаемого газа от цикла к циклу.

Разброс времени заполнения газом сосуда не превышает 2Е, 1р Таким образом, данное устройство позволяет повысить точность контроля скорости обработки деталей за счет исключения перемещения газособирающего сосуда в растворе и устранения благодаря этому зависимости времени заполнения сосуда от мешающих факторов.

Формула и з обретения

Устройство для контроля скорости травления деталей, содержащее скобу для крепления детали, газособирающий сосуд, заслонку и сигнализатор, смонтированные на скобе, о т л и ч аю щ е е с я тем, что, с целью повьгшения точности контроля и надежности работы устройства путем обеспечения неподвижности газособирающего сосуда, газособирающий сосуд выполнен в виде последовательно соединенных трех секций с отверстием для входа газа в нижней части первой секции и выходным отверстием в верхней части третьей

1 секции заслонка смонтирована над выУ ходным отверстием газособираюшего сосуда и посредством рычага соединена

35 с сигнализатором.