Способ контроля отклонения формы и расположения поверхностей

 

Изобретение относится к измерительной технике. Целью является обеспечение контроля деталей с поверхностями различной формы при сохранении точности контроля путем компенсащш набега фазы, возниканщей при прохождении пучка от исследуемого участка поверхности до стенки рабочей кюветы. Помещают контролируемую 2 и эталонную 3 детали в рабочую кювету с иммерсионной жидкостью с показателем п преломления и освещают их когерентным излучением. По ходу отраженных пучков помещают ком-- пенсационную кювету 4 с иммерсионной жидкостью с показателем п преломления , отличным от показателя п преломления жидкости в рабочей кювете , и толщиной, равной расстоянию от контролируемого участка поверхности деталей до стенки рабочей кюветы. Совмещают на фоторегистрирующем слое 9 отраженные пучки и записьшают на нем спеклограмму. После этого в компенсационной кювете 4 заменяют жидкость с показателем п преломления на жидкость с показателем п преломления , а в рабочей кювете - жидкость с показателем п преломления на жидкость с показателем n, преломления и вновь получают спеклограмму. Полученную двухэкспозиционную голограмму восстанавливают и по интерференционной картине судят о форме и расположении поверхностей деталей, ил. с (Л 00 о 4 СП

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5D 4 С 01 В 11/24 ли„ « ° «щ « ф я 1

13!

Nbi,i-.: i. ""

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСК0МУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 4122855/24-28 (22) 24.06.86 (46) 30.01.88. Бюл. Ф 4 (71) Челябинский политехнический институт им. Ленинского комсомола (72) С.Б.Артеменко, Ю.И. Островский, В.Г.Речкапов и А.А.Козлов (53) 531.717.2 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

В 1190675, кл. С 01 В 9/021, 1985. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ОТКЛОНЕНИЯ ФОРМЫ И РАСПОЛОЖЕНИЯ ПОВЕРХНОСТЕЙ ДЕТАЛЕй (57) Изобретение относится к измерительной технике. Целью является обеспечение контроля деталей с поверхностями различной формы при сохранении точности контроля путем компенсации набега фазы, возникающей при

„прохождении пучка от исследуемого участка поверхности до стенки рабочей кюветы. Помещают контролируемую

2 и эталонную 3 детали в рабочую кювету с иммерсионной жидкостью с

„„Я0.„1370454 A1 показателем и< преломления и освещают их когерентным излучением. По ходу отраженных пучков помещают ком-пенсационную кювету 4 с иммерсионной жидкостью с показателем п преломления, отличным от показателя и

1 преломления жидкости в рабочей кювете, и толщиной, равной расстоянию от контролируемого участка поверхности деталей до стенки рабочей кюветы.

Совмещают на фоторегистрирующем слое

9 отраженные пучки и записывают на нем спеклограмму. После этого в компенсационной кювете 4 заменяют жидкость с показателем п преломления на жидкость с показателем п„ преломления, а в рабочей кювете — жидкость с показателем и преломления на жидкость с показателем и < преломления и вновь получают спеклограмму. По! лученную двухэкспозиционную голограмму восстанавливают и по интерференционной картине судят о форме и расположении поверхностей деталей,1 ил.

1370454

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле отклонения формы поверхностей деталей и их взаимного расположения.

Цель изобретения — обеспечение контроля деталей с поверхностями различной формы при сохранении точности контроля путем компенсации изменения фазы световой волны, обусловленной прохождением ее от конт10 ролируемого участка поверхности до окна рабочей кюветы при изменении показателя преломления иммерсионной 15 жидкости в кювете.

На чертеже изображена оптическая схема регистрации спеклограмм, по которым осуществляется контроль.

Оптическая схема регистрации спек- 20 лограмм содержит рабочую кювету 1 с и".мерсионной жидкостью, в которой помещены контролируемая 2 и эталонная 3 детали, компенсационную кювету

4, расположенную по ходу отраженных ст деталей 2 и 3 световых пучков и имеющую толщину, равную расстоянию от окна рабочей кюветы 1 до контролируемых участков поверхности деталей 2 и 3, оптическую систему совмещения отраженных пучков, состоящую из линз 5 и 6, зеркала 7 и оборачивающей системы 8, и фоторегистрирующий слой 9.

Способ осуществляют следующим 35 образом.

Помещают контролируемую 2 и эталонную 3 детали в рабочую кювету 1 с иммерсионной жидкостью, имеющей показатель п, преломления, и освещают их 40 когерентным излучением. Устанавливают по ходу отраженных от поверхностей деталей 2 и 3 пучков когерентного излучения компенсационную кювету 4 с иммерсионной жидкостью с показате- 45 лем и; преломления. Совмещают на фоторегистрирующем слое 9 пучки, отраженные от эталонной 3 и контролируемой

2 деталей, и записывают на нем спеклограмму. После этого заменяют в ком- 50 пенсационной кювете 4 иммерсионную жидкость с показателем п. преломлеI ния на жидкость с показателем п, преломления, а в рабочей кювете 1 заменяют иммерсионную жидкость с показателем п„ преломления на жидкость с показателем и преломления и вновь на фоторегистрирующем слое 9 записывают спеклограмму. Полученную двухэкспозиционную спеклограмму восстанавливают и по интерференционной картине судят об отклонении формы и расположении поверхностей деталей

2и3.

Формула изобретения

Способ контроля отклонения формы и расположения поверхностей деталей, заключающийся в том, что помещают контролируемую и эталонную детали в рабочую кювету с иммерсионной жидкостью, освещают поверхности деталей когерентным излучением, совмещают на фоторегистрирующем слое пучки, отраженные от этих поверхностей, регистрируют спеклограмму, изменяют показатель преломления иммерсионной жидкоI сти в рабочей кювете вновь регистриФ руют спеклограмму, восстанавливают полученную двухэкспоэиционную спеклограмму и по интерференционной картине судят об отклонении формы и расположении поверхностей, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью обеспечения контроля деталей с поверхностями различной формы при сохранении точности контроля, перед регистрацией спеклограммы по ходу отраженных пучков устанавливают компенсационную кювету толщиной, равной расстоянию от исследуемого участка поверхности детали до стенки рабочей кюветы с иммерсионной жидкостью,показатель п преломления которой отличен от показателя п преломления иммерсионной жидкости в рабочей кювете, и после регистрации спеклограммы заменяют жидкость с показателем п преломления на жидкость с показателем и преломления, а в рабочей кювете - на иммерсионную жидкость с лцдсазателем n преломления.